中華人民共和國國家計量技術規范

JJF1535—2015

微機電(MEMS)陀螺儀校準規范

CalibrationSpecificationforMEMSGyroscopes

2015-06-15發布2015-09-15實施

國家質量監督檢驗檢疫總局發布

JJF1535—2015

??

微機電(MEMS)陀螺儀???????????????

??

??

??

校準規范?—?

?JJF15352015?

??

CalibrationSpecificationfor??

?????????????

??

??

MEMSGyroscopes

歸口單位全國慣性技術計量技術委員會

:

主要起草單位南京理工大學

:

中航工業北京長城計量測試技術研究所

參加起草單位中國電子科技集團公司第十三研究所

:

本規范委托全國慣性技術計量技術委員會負責解釋

JJF1535—2015

本規范主要起草人

:

裘安萍南京理工大學

()

施芹南京理工大學

()

董雪明中航工業北京長城計量測試技術研究所

()

參加起草人

:

朱欣華南京理工大學

()

吝海鋒中國電子科技集團公司第十三研究所

()

JJF1535—2015

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術語

3……………………(1)

陀螺儀

3.1MEMS……………………(1)

零偏重復性B

3.2r……………………(1)

零偏穩定性B

3.3s……………………(1)

零偏溫度靈敏度B

3.4t………………(1)

零偏加速度靈敏度B

3.5a……………(1)

角度隨機游走系數

3.6…………………(2)

帶寬B

3.7w……………(2)

概述

4……………………(2)

計量特性

5………………(2)

校準條件

6………………(3)

校準環境條件

6.1………………………(3)

校準用設備

6.2…………(3)

校準項目和校準方法

7…………………(4)

校準項目

7.1……………(4)

校準方法

7.2……………(5)

校準結果表達

8…………(11)

復校時間間隔

9…………(12)

附錄微機電陀螺儀主要參數不確定度評定示例

A(MEMS)……(13)

附錄校準證書內頁格式

B……………(16)

Ⅰ

JJF1535—2015

引言

陀螺儀按照特定的類型大部分都有專用的校準規范或測試方法陀螺儀作

,MEMS

為一種新型傳感器廣泛應用于國民經濟各領域依據陀螺儀校準的實際情況

,。MEMS,

參照TM科里奧利原理振動陀螺儀的標準技術規范格式指

IEEEStd1431—2004《IEEE

南和試驗方法

》(IEEEStandardSpecificationFormatGuideandTestProcedureforCo-

編寫本規范

riolisVibratoryGyros)。

本規范為首次發布

。

Ⅱ

JJF1535—2015

微機電(MEMS)陀螺儀校準規范

1范圍

本規范規定了微機電陀螺儀以下簡稱陀螺儀的校準項目和

(MEMS)(MEMS)

校準方法適用于單敏感軸陀螺儀多敏感軸陀螺儀可以參照執行

,MEMS,MEMS。

2引用文件

本規范引用了下列文件

:

優先數和優先數系

GB321—2005

慣性技術術語

GJB585A—1998

光纖陀螺儀測試方法

GJB2425A—2004

TM科里奧利原理振動陀螺儀的標準技術規范格式指

IEEEStd1431—2004IEEE

南和試驗方法

(IEEEStandardSpecificationFormatGuideandTestProcedureforCori-

olisVibratoryGyros)

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規范

,()。

3術語

確立的以及下列術語定義和符號適用于本

GJB585A—1998、GJB2425A—2004、

規范

。

陀螺儀

3.1MEMSMEMSgyroscopes

微電子與微機械相結合的基于高頻振動的質量被基座帶動旋轉時存在哥氏效應原理

的微型化速率陀螺儀

。

零偏重復性B

3.2rbiasrepeatability

在同樣的條件下及規定的時間間隔內多個工作周期的陀螺儀零偏之間的

,MEMS

一致程度重復性一般包括逐日和逐次重復性用零偏的標準偏差或零偏變化量表

。。

示

,°/h,°/s。

零偏穩定性B

3.3sbiasstability

一個工作周期內