犐犆犛２３．１６０

犑７８

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜７７７４—２００７／犐犛犗５３０２：２００３

代替ＧＢ／Ｔ７７７４—１９８７

真空技術渦輪分子泵性能參數的測量

犞犪犮狌狌犿狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔—犜狌狉犫狅犿狅犾犲犮狌犾犪狉狆狌犿狆狊—

犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳狆犲狉犳狅狉犿犪狀犮犲犮犺犪狉犪犮狋犲狉犻狊狋犻犮狊

（ＩＳＯ５３０２：２００３，ＩＤＴ）

２００７１２０２發布２００８０６０１實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局

發布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜７７７４—２００７／犐犛犗５３０２：２００３

前言

本標準等同采用ＩＳＯ５３０２：２００３《真空技術渦輪分子泵性能參數的測量》（英文版）。

為便于使用，本標準還做了下列編輯性修改：

———“本國際標準”一詞改為“本標準”；

———“本文”一詞改為“本標準”；

———“引用文件”一詞改為“規范性引用文件”；

———刪除ＩＳＯ５３０２：２００３的前言。

本標準代替ＧＢ／Ｔ７７７４—１９８７《渦輪分子泵性能測試方法》。

本標準附錄Ａ為資料性附錄。

本標準由中國機械工業聯合會提出。

本標準由全國真空技術標準化技術委員會（ＳＡＣ／ＴＣ１８）歸口。

本標準起草單位：北京中科科儀技術發展有限責任公司、成都南光機器有限公司、沈陽真空技術研

究所。

本標準主要起草人：鄒蒙、李奇志、孟祥菊、張勤德、王斌、李劍輝、范林東、李春影。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：

———ＧＢ／Ｔ７７７４—１９８７。

Ⅰ

書

犌犅／犜７７７４—２００７／犐犛犗５３０２：２００３

真空技術渦輪分子泵性能參數的測量

１范圍

本標準規定了渦輪分子泵性能參數的測量方法，它適用于所有規格和所有型式的渦輪分子泵。

包括：

ａ）帶機械或磁軸承的；

ｂ）帶或不帶附加牽引級的。

注：由于渦輪分子泵需要前級泵支持，下列曲線將作為對體積流率入口壓力的曲線補充，以完全確定其性能：

———流量曲線；

———壓縮比曲線；

———入口壓力變化曲線。

包括全部有關區域和各種氣體。

２規范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＩＳＯ３５２９２真空技術詞匯第２部分：真空泵及相關術語

３術語和定義

ＩＳＯ３５２９２確立的以及下列術語和定義適用于本標準。

３．１

臨界前級壓力犮狉犻狋犻犮犪犾犫犪犮犽犻狀犵狆狉犲狊狊狌狉犲

狆ｃ

當泵仍能保持其壓縮比狆２／狆１≥２，且清潔氣流流通時的最高前級壓力狆２。

注：狆１是入口處（高）真空壓力。

３．２

最大流量犿犪狓犻犿狌犿狋犺狉狅狌犵犺狆狌狋

犙ｍａｘ

泵能連續抽氣而不損傷或毀壞的最高氣體負荷，單位為帕升每秒（Ｐａ·Ｌ／ｓ）［毫巴升每秒（ｍｂａｒ·Ｌ／ｓ）］。

注：這個極限參數取決于泵的設計，大多數情況下，這個參數以泵規定位置的最高溫度來給出。犙ｍａｘ值取決于被抽

氣體、所使用的前級泵以及冷卻條件等。

３．３

體積流率狏狅犾狌犿犲犳犾狅狑狉犪狋犲

狇Ｖ

在理想條件下，單位時間從測試罩流過泵入口的氣體體積。

注１：出于實際測量的原因，泵對給定氣體的體積流率通常約定為等于該氣體的流量與給定點的平衡壓