標準解讀

GB/T 37385-2019《硅中氯離子含量的測定 離子色譜法》是一項國家標準，旨在提供一種使用離子色譜技術來測定硅材料中氯離子含量的方法。該標準適用于電子級多晶硅、單晶硅等硅基材料中微量到痕量級別的氯離子濃度分析。

根據此標準，首先需要對樣品進行預處理。通常情況下，會將硅樣品溶解于適當的溶劑中（如氫氟酸與硝酸混合溶液），以確保其中可能存在的氯離子能夠完全釋放進入溶液。接下來是通過過濾或離心的方式去除不溶性殘留物，得到澄清透明的測試液。

然后，采用離子色譜儀作為主要檢測工具，利用其高效分離不同種類陰離子的能力，特別是對于Cl-這類常見無機陰離子具有非常好的選擇性和靈敏度。在實際操作過程中，需按照儀器說明書設置合適的運行條件，包括流動相的選擇與配制、柱溫控制以及檢測器參數調整等，以保證獲得準確可靠的分析結果。

此外，為了保證數據的有效性，標準還規定了質量控制措施，比如定期校準設備、使用已知濃度的標準溶液進行方法驗證實驗，并且要求每批次樣品分析時都應包含空白對照和平行樣測試，以此來評估方法的精密度和準確性。

最后，根據實驗測得的數據計算出樣品中的氯離子含量，并將其報告為單位質量硅材料中含有多少微克(μg)或者毫克(mg)的氯離子。整個過程強調了科學嚴謹的態度以及對細節的關注，以確保最終結果的可靠性。


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....

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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2019-03-25 頒布
  • 2020-02-01 實施
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GB/T 37385-2019硅中氯離子含量的測定離子色譜法_第1頁
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文檔簡介

ICS77040

H17.

中華人民共和國國家標準

GB/T37385—2019

硅中氯離子含量的測定離子色譜法

Testmethodforchloridecontentofsilicon—Ionchromatographymethod

2019-03-25發布2020-02-01實施

國家市場監督管理總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T37385—2019

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分技術委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位江蘇中能硅業科技發展有限公司新特能源股份有限公司亞洲硅業青海有限

:、、()

公司新疆協鑫新能源材料科技有限公司蘇州漢譜埃文材料科技有限公司有色金屬技術經濟研究院

、、、。

本標準主要起草人王桃霞劉逸楓劉曉霞劉源君耿全榮梁博松魯文鋒胡議允賈芬

:、、、、、、、、、

張佳偉陳飛劉國霞邱艷梅宗冰李素青

、、、、、。

Ⅰ

GB/T37385—2019

硅中氯離子含量的測定離子色譜法

1范圍

本標準規定了硅中氯離子含量的離子色譜測定方法

。

本標準適用于測定棒狀塊狀顆粒狀和片狀硅中氯離子含量的測定測定范圍為至硅

、、。1.0μg/g

中氯離子的最大固溶度

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

固體化工產品采樣通則

GB/T6679

分析實驗室用水規格和試驗方法

GB/T6682—2008

3方法原理

將樣品放置在高溫管式爐中進行加熱樣品熔化后其中的氯元素以氯離子的形式釋放出來使用裝

,,

有水的鼓泡吸收瓶進行吸收后用離子色譜儀測定吸收液中的氯離子含量

,。

4干擾因素

41高溫管式爐中樣品管樣品容器的材質純度會影響測試結果如果純度不夠高溫下樣品管樣品

.、,,、

容器中的雜質會揮發出來

。

42高溫管式爐中樣品管樣品容器應保持潔凈使用前應進行充分煅燒確保樣品空白穩定后再進行

.、,,

樣品的分析

。

43高溫管式爐需設置冷卻系統保證樣品管管線密封良好

.,。

44樣品的煅燒過程需在氬氣氛圍下進行樣品冷卻至室溫后才能停止氬氣確保樣品不被氧化

.,,。

45氬氣的純度和流速會對測試結果產生一定影響氬氣的純度不夠可能導致樣品被氧化氬氣流速

.。,

過小樣品容器中的氯離子不能被充分帶走氬氣流速過大可能引起氯離子不能被充分吸收

,。

5試劑和材料

51水除非另有說明本測試方法中的水應符合中一級水的要求

.:,GB/T6682—2008。

52氯離子標準溶液濃度為

.:1000μg/mL。

53氬氣氬氣的體

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