標準解讀

《GB/T 34972-2017 電子工業用氣體中金屬含量的測定 電感耦合等離子體質譜法》是一項國家標準，旨在規定使用電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）技術對電子工業中使用的氣體里所含有的金屬雜質進行定量分析的方法。該標準適用于檢測氬氣、氦氣、氮氣、氧氣等常見電子工業氣體中的多種金屬元素，如鈉、鎂、鋁、鐵等。

在執行過程中，首先需要準備樣品，即從待測氣體中收集足夠量的樣本用于后續測試。采樣方法和容器的選擇需遵循特定要求以避免污染或損失。接著，通過適當的預處理步驟將目標金屬元素轉化為適合ICP-MS分析的形式。這可能包括但不限于溶解、稀釋或其他化學轉化過程。

對于儀器操作而言，《GB/T 34972-2017》詳細描述了如何設置ICP-MS設備參數來確保準確度與靈敏度達到最佳狀態。此外，還提供了關于校準曲線建立、背景扣除以及干擾校正等方面的指導原則。這些措施有助于提高測量結果的可靠性和重復性。

該標準也強調了質量控制的重要性，建議采用空白試驗、加標回收率測試及使用已知濃度的標準物質來進行驗證實驗。這樣不僅可以評估方法的有效性，還能及時發現并糾正潛在的問題。


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....

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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2017-11-01 頒布
  • 2018-02-01 實施
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GB/T 34972-2017電子工業用氣體中金屬含量的測定電感耦合等離子體質譜法_第1頁
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文檔簡介

ICS7104040

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T34972—2017

電子工業用氣體中金屬含量的測定

電感耦合等離子體質譜法

Determinationofmetalcontentingases—

Inductivelycoupledplasmamassspectrometrymethod

2017-11-01發布2018-02-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34972—2017

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位上海市計量測試技術研究院西南化工研究設計院有限公司高麥儀器公司廣東

:、、、

華特氣體股份有限公司北京華宇同方化工科技開發有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司上海華愛

、、、

色譜分析技術有限公司中昊光明化工研究設計院有限公司

、。

本標準主要起草人陳鷹姜陽周鵬云牛艷東傅鑄紅杜漢盛江羅許軍洲方華常俠

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34972—2017

電子工業用氣體中金屬含量的測定

電感耦合等離子體質譜法

1范圍

本標準規定了應用電感耦合等離子體質譜儀測定電子工業用氣體中金屬元素含量的方法金屬元

。

素測定范圍見表

1。

本標準適用的電子工業用氣體種類氧氮氬氦氫氨氯化氫硅烷高純氯六氟化硫三氯化

:、、、、、、、、、、

硼三氟化氮氧化亞氮六氟乙烷六氟丁二烯等氣體

、、、、。

本標準適用的電子工業用氣體取樣狀態氣態

:。

表1金屬元素測定范圍

元素測定范圍元素測定范圍

/(μg/L)/(μg/L)

Li0.0001~100.0Ce0.0005~100.0

Be0.0005~100.0Pr0.0005~100.0

Na0.0001~100.0Nd0.0005~100.0

Mg0.0005~100.0Pm0.0005~100.0

Al0.001~100.0Sm0.0005~100.0

K0.001~100.0Eu0.0005~100.0

Ca0.001~100.0Gd0.0005~100.0

Sc0.001~100.0Tb0.0005~100.0

Ti0.0001~100.0Dy0.0005~100.0

V0.0001~100.0Ho0.0005~100.0

Cr0.0005~100.0Er0.0005~100.0

Mn0.0001~100.0Tm0.0005~100.0

Fe0.001~100.0Yb0.0005~100.0

Co0.0005~100.0Lu0.0005~100.0

Ni0.001~100.0Hf0.0005~100.0

Cu0.0005~100.0Ta0.0005~100.0

Zn0.0001~100.0W0.001~100.0

Ga0.001~100.0Re0.0005~100.0

Ge0.001~100.0Os0.0005~100.0

Rb0.0005~100.0Ir0.0001~100.0

Sr0.0001~100.0Pt0.001~100.0

Y0.0001~100.0

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