ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標準

GB/T34878—2017/ISO278952009

:

真空技術閥門漏率測試

Vacuumtechnology—Valves—Leaktest

(ISO27895:2009,IDT)

2017-11-01發布2018-05-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34878—2017/ISO278952009

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

符號

4………………………4

要求

5………………………4

測試方法

6…………………4

閥板檢漏

6.1……………4

閥體檢漏

6.2……………6

氣動閥在驅動壓縮空氣壓力最小和最大狀態下的檢漏可選項

6.3()………………8

手動閥在最小和最大力矩驅動條件下的檢漏可選項

6.4()…………8

工作溫度范圍內的檢漏可選項

6.5()…………………8

烘烤后漏率測試可選項

6.6()…………8

測試報告

7…………………8

參考文獻

………………………9

Ⅰ

GB/T34878—2017/ISO278952009

:

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用真空技術閥門漏率測試

ISO27895:2009《》。

與本標準規范性引用文件中的國際文件有一致性對應關系的我國文件如下

:

真空技術氦質譜檢漏儀校準

———GB/T18193—2000(ISO3530:1979,IDT)。

本標準由中國機械工業聯合會提出

。

本標準由全國真空技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC18)。

本標準起草單位北京衛星環境工程研究所合肥智海光電技術有限公司安徽皖儀科技股份有限

:、、

公司上海真空閥門制造有限公司川北真空科技北京有限公司湖南玉豐真空科學技術有限公司北

、、()、、

京朗禾科技有限公司威海智德真空科技有限公司沈陽真空技術研究所

、、。

本標準主要起草人孫立臣劉恩均孟冬輝閆榮鑫洪曉鵬史紀軍劉磊黃文平章東林

:、、、、、、、、、

陳博昊周毅徐曦林樂忠張春元張海峰孫立志汪力王玲玲

、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T34878—2017/ISO278952009

:

引言

真空閥門是真空系統中最常用的部件閥門制造商依據其自身的測試方法提供技術參數用戶則根

,,

據這些技術參數選擇閥門閥門的密封漏率是其最基本的一項技術參數但測試方法不同可能導致測

。,

試結果出現較大差異如閥門漏率從內部充氣到檢漏測試過程中漏率是不斷變化的因此檢漏測試時間

,,

的選擇對測試結果的影響很大但直到本標準發布以前依然沒有一個用于規范真空閥門漏率測試方法

,,

的國家標準

。

泄漏主要有種形式

3:

實漏例如氣體通過較大的裂紋和孔泄漏

a),;

虛漏在系統內由于氣體或蒸氣的放出所引起的壓力增加

b),,;

滲漏氣體從密度大的一側通過固體結構材料上存在的直徑可與原子相比的微孔向密度小的

c),

一側滲入擴散通過的過程例如通過橡膠材料滲透

、、,。

虛漏不適用于本標準規定的方法進行測試因此在進行閥門設計和選擇閥門材料時宜將虛漏風

。,

險降至最低

。

Ⅳ

GB/T34878—2017/ISO278952009

:

真空技術閥門漏率測試

1范圍

本標準規定了真空系統中用于控制氣流或真空壓力的真空閥門的漏率測試方法適用于關閉后對

。

于示漏氣體密封漏率小于-53的真空閥門的漏率測試也適用于閥體的漏率測試可作

1×10Pa·m/s,,

為真空閥門檢驗的依據

。

本標準適用于真空閥門在允許操作壓力范圍壓差烘烤溫度操作溫度和壽命周期等規定技術條

、、、

件下整個工作過程的漏率測試在上述條件下閥門的測試漏率低于制造商給定的標稱漏率

,。

注1受所安裝的真空設備閥門安裝面表面精度的影響大型和無閥體真空閥門安裝后的測試漏率與單獨測試數據

:,

可能存在差異

。

注2依據本標準獲得的測試漏率為對真空閥門個體進行單獨測試所得可能與將閥門安裝在真空設備上測得的數

:,

據存在差異

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

真空技術氦質譜檢漏儀校準

ISO3530(Vacuumtechnology—Mass-spectrometer-typeleakde-

tectorcalibration)

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

漏率leakrate

q

真空閥門技術在規定條件下通過閥體閥座或封填材料上的裂縫小孔或間隙等部位的示漏氣

<>,、、

體流量

。

注1改寫定義

:ISO3530:1979,2.5.1。

注2漏率單位為帕斯卡立方米每秒

:。

注3可用質譜型檢漏儀測量示蹤氣體的漏率漏率取決于氣體種類壓差和溫度

: