標準解讀

《GB/T 34612-2017 藍寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線測量方法》是一項國家標準，旨在規定了使用X射線雙晶衍射技術對藍寶石單晶材料進行質量評估的具體操作流程與要求。該標準適用于通過X射線雙晶衍射搖擺曲線來測定藍寶石晶體的完整性、缺陷密度以及晶體取向等關鍵參數。

根據此標準，首先需要準備適當的樣品，確保其表面平整且無污染。對于實驗設備而言，應選擇具有足夠分辨率和穩定性的X射線衍射儀，并配備適合于藍寶石檢測的特定幾何配置。此外，還需要確定正確的入射角、掃描速度以及其他相關參數以獲得最佳測試效果。

在實際測量過程中，按照設定好的條件進行數據采集，獲取到的搖擺曲線反映了樣品內部結構信息。通過對這些曲線特征點（如半高寬）的分析，可以定量地評價藍寶石晶體的質量特性。例如，較小的半高寬值通常意味著更高的晶體完整性和更低的位錯密度。

最后，基于上述步驟得到的結果，可進一步應用于藍寶石材料的選擇、加工及應用領域中，為提高產品質量提供科學依據。


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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2017-10-14 頒布
  • 2018-05-01 實施
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文檔簡介

ICS77040

H21.

中華人民共和國國家標準

GB/T34612—2017

藍寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線

測量方法

MeasurementmethodforX-raydoublecrystaldiffractionrockingcurve

ofsapphirecrystals

2017-10-14發布2018-05-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34612—2017

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分技術委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位中國科學院上海光學精密機械研究所上海大恒光學精密機械有限公司中國科

:、、

學院新疆理化技術研究所新疆紫晶光電技術有限公司江蘇浩瀚藍寶石科技有限公司丹東新東方晶

、、、

體儀器有限公司

。

本標準主要起草人杭寅徐民潘世烈張方方趙興儉郭宏鶴趙松彬

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34612—2017

藍寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線

測量方法

1范圍

本標準規定了藍寶石晶體射線雙晶衍射搖擺曲線的測量方法

X。

本標準適用于藍寶石晶體射線雙晶衍射搖擺曲線的測量

X。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導體材料術語

GB/T14264

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

χ軸χaxis

傾斜樣品的軸由入射射線衍射射線束構成的衍射平面與樣品表面相交而成

,X、X。

32

.

χ角χangle

樣品某晶面與樣品表面的夾角

。

33

.

φ角φangle

樣品臺繞樣品表面法線旋轉的角度

。

34

.

φ掃描φscan

連續改變角并記錄衍射強度的測量模式

φ。

35

.

ω角ωangle

入射射線與樣品表面夾角

X。

36

.

ω掃描ωscan

連續改變ω角并記錄衍射強度的測量模式

。

4方法提要

41晶體是由空間間距為d的一系列平行的離子原子或分子平面構成當一束平行的單色射線

.、。X

射入該平面且射線在相鄰平面間的光程差為其波長的整數n倍時就會產生衍射反射當入

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