標準解讀
《GB/T 31093-2014 藍寶石晶錠應力測試方法》是一項國家標準，旨在規范藍寶石晶錠內部應力的測量過程。該標準詳細描述了采用X射線衍射法測定藍寶石單晶中殘余應力的方法，適用于評估通過不同工藝生長或加工后的藍寶石晶體內部是否存在及存在多少應力狀態。
標準首先界定了適用范圍，并對相關術語進行了定義，比如“殘余應力”指的是材料在沒有外加載荷的情況下內部存在的應力；而“X射線衍射法”則是指利用X射線與物質相互作用時發生的散射現象來分析樣品結構的技術。接著，文件列舉了執行本測試所需的各種設備及其技術要求，包括X射線衍射儀、樣品架等，并強調了實驗環境條件的重要性。
對于樣品準備部分，《GB/T 31093-2014》給出了具體的指導原則，如選擇合適尺寸和形狀的樣品以確保能夠準確反映整個藍寶石晶錠的應力分布情況。此外，還規定了如何正確地固定樣品以及設置適當的測量參數，例如掃描角度范圍、步長大小等，這些都是為了保證數據采集的有效性和可靠性。
在數據處理方面，該標準提供了一套完整的計算流程，從原始XRD譜圖獲取到最終應力值的確定都做了明確指示。其中包括使用特定軟件進行峰位識別、擬合曲線繪制等步驟，并給出了基于彈性理論計算應力的具體公式。同時，《GB/T 31093-2014》也提醒使用者注意誤差來源，建議通過多次重復實驗來提高結果準確性。
最后，標準還包含了報告編寫指南，指出了一份完整測試報告應該包含哪些內容，比如實驗日期、儀器型號、樣品信息、測試條件、原始數據記錄、處理過程說明以及最終得出的結論等。這有助于確保每次測試結果都能被清晰記錄并便于后續查閱或比較。
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- 現行
- 正在執行有效
- 2014-12-22 頒布
- 2015-09-01 實施
文檔簡介
ICS7704010
H22..
中華人民共和國國家標準
GB/T31093—2014
藍寶石晶錠應力測試方法
Testmethodforstressofmonocrystallinesapphireingot
2014-12-22發布2015-09-01實施
中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布
中國國家標準化管理委員會
中華人民共和國
國家標準
藍寶石晶錠應力測試方法
GB/T31093—2014
*
中國標準出版社出版發行
北京市朝陽區和平里西街甲號
2(100029)
北京市西城區三里河北街號
16(100045)
網址
:
服務熱線
:400-168-0010
年月第一版
20152
*
書號
:155066·1-50902
版權專有侵權必究
GB/T31093—2014
前言
本標準按照給出的規則起草
GB/T1.1—2009。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會和全國半導體設備和材料標準
(SAC/TC203)
化技術委員會材料分會共同提出并歸口
(SAC/TC203/SC2)。
本標準起草單位協鑫光電科技江蘇有限公司中國科學院上海光學精密機械研究所北京合能
:()、、
陽光新能源技術有限公司
。
本標準主要起草人劉逸楓魏明德徐養毅杭寅肖宗杰
:、、、、。
Ⅰ
GB/T31093—2014
藍寶石晶錠應力測試方法
1范圍
本標準規定了藍寶石單晶晶錠的應力測試方法
。
本標準適用于經過加工后直徑為的向藍寶石晶錠的應力測試其他尺寸藍
50.8mm~200mmc,
寶石晶錠以下簡稱晶錠的應力測試可參照使用
()。
2規范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
半導體材料術語
GB/T14264
3術語和定義
界定的術語和定義適用于本文件
GB/T14264。
4方法提要
藍寶石為單軸晶體軸為光軸使用典型的會聚平面偏振光干涉試驗裝置晶體的光軸與切面垂
,c。,
直并且和儀器的光軸平行在會聚光的情況下會產生干涉形成錐光圖錐光圖由黑十字和同心圓狀
,,,,。
的干涉色圈組成干涉色圈以黑十字交點為中心光軸出露點成同心環狀干涉色圈的多少取決于晶
,(),,,
體的雙折射率的大小及厚度
。
當晶體局部規則的結構被破壞產生的應力使得該位置上的光軸方向發生改變光束通過此位置
,,
時所得到的錐光圖中的黑十字變形因此可以通過觀察晶體各個位置的錐光圖來檢測晶體的應力
,,。
5干擾因素
51晶錠內部有氣泡包裹物等會影響應力的判斷
.、。
52晶錠加工過程中引起的內部裂紋會影響應力的判斷
.。
6試驗設備
應力儀其典型光路如圖所示儀器的光學系統由光源發出的光速通過隔熱片聚光
,1。(1)(2)、
鏡反射鏡和起偏鏡變為平面振鏡在通過發散鏡臺面玻璃后投射到被測試樣上最
(3)、(4)(5),
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