標準解讀

GB/T 29056-2012《硅外延用三氯氫硅化學分析方法 硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測定 電感耦合等離子體質譜法》是一項國家標準，專門針對用于制造半導體材料的三氯氫硅中微量雜質元素（包括硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻）含量測定的方法進行了詳細規定。該標準采用電感耦合等離子體質譜技術作為檢測手段，這是一種能夠提供高靈敏度與準確度分析結果的技術，適用于對上述多種金屬及類金屬元素進行同時或單獨定量分析。

標準首先明確了適用范圍，即其內容適用于通過ICP-MS（電感耦合等離子體質譜儀）來測量三氯氫硅樣品中特定痕量元素的濃度。接著，它描述了整個實驗流程，從樣品準備到最終的數據處理都有具體指導，包括但不限于取樣方式、溶解過程、內標選擇、儀器條件設定等方面。此外，還提供了關于如何校準儀器以及建立校正曲線的具體步驟，這對于保證測試結果的一致性和可靠性至關重要。

對于每種待測元素而言，標準都給出了推薦的同位素比值、干擾校正策略及最低檢測限等關鍵參數。這些信息幫助實驗室工作人員在實際操作過程中根據具體情況做出適當調整，以達到最佳分析效果。同時，也強調了質量控制的重要性，建議定期使用已知濃度的標準溶液進行系統性能驗證，并通過參與能力驗證計劃等方式確保長期穩定性與準確性。

此標準為相關行業提供了統一且科學有效的測試依據，有助于提高產品質量控制水平，促進國內外技術交流與合作。


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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2012-12-31 頒布
  • 2013-10-01 實施
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GB/T 29056-2012硅外延用三氯氫硅化學分析方法硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測定電感耦合等離子體質譜法_第1頁
GB/T 29056-2012硅外延用三氯氫硅化學分析方法硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測定電感耦合等離子體質譜法_第2頁
GB/T 29056-2012硅外延用三氯氫硅化學分析方法硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測定電感耦合等離子體質譜法_第3頁

文檔簡介

ICS31030

L90.

中華人民共和國國家標準

GB/T29056—2012

硅外延用三氯氫硅化學分析方法

硼鋁磷釩鉻錳鐵鈷鎳

、、、、、、、、、

銅鉬砷和銻量的測定

、、

電感耦合等離子體質譜法

Trichlorosilaneforsiliconeitax—Determinationofboronaluminium

py,,

hoshorusvanadiumchromemananeseironcobaltnickel

pp,,,g,,,,

coerarsenicmolbdenumandantimoncontent—Inductivel

pp,,yyy

coupledplasmamassspectrometricmethod

2012-12-31發布2013-10-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T29056—2012

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位南京中鍺科技股份有限公司南京大學現代分析中心南京大學國家計劃新

:、、863

材料源研究開發中心

MO。

本標準主要起草人鄭華榮劉新軍龔磊榮張莉萍黃和明陳逸君虞磊

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T29056—2012

硅外延用三氯氫硅化學分析方法

硼鋁磷釩鉻錳鐵鈷鎳

、、、、、、、、、

銅鉬砷和銻量的測定

、、

電感耦合等離子體質譜法

警告———使用本標準的人員應有正規實驗室工作的實踐經驗本標準并未指出所有可能的安全問

。

題使用者有責任采取適當的安全和健康措施并保證符合國家有關法規規定的條件

。,。

1范圍

本標準規定了用電感耦合等離子體質譜儀測定硅外延用三氯氫硅中硼鋁磷

(ICP-MS)(SiHCl3)、、、

釩鉻錳鐵鈷鎳銅鉬砷銻等痕量元素含量的方法

、、、、、、、、、。

本標準適用于硅外延用三氯氫硅中硼鋁磷釩鉻錳鐵鈷鎳銅鉬砷銻等含量

(SiHCl3)、、、、、、、、、、、、

的測定各元素測定范圍見表

。1。

表1

元素測定范圍質量分數w

()/%

B0.000000001~0.000002

Al0.000000001~0.000002

P0.000000001~0.0000002

V0.0000000005~0.000002

Cr0.000000001~0.000002

Mn0.000000001~0.000002

Fe0.000000001~0.000002

Co0.0000000005~0.0000002

Ni0.000000001~0.000002

Cu0.000000001~0.000002

Mo0.0000000005~0.0000002

As0.000000001~0.000002

Sb0.000000001~0.000002

2方法提要

乙腈能與一些金屬氯化物生成穩定絡合物于三氯氫硅中加入乙腈在常溫下用氮氣載帶揮發分

。,,

離基體殘留的用氫氟酸溶解轉化為

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