ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標準

GB/T2591512—2021/ISO14644-122018

.:

潔凈室及相關受控環境第12部分

:

監測空氣中納米粒子濃度的技術要求

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part12Secificationsfor

:p

monitoringofaircleanlinessbynanoscaleparticleconcentration

ISO14644-122018IDT

(:,)

2021-10-11發布2022-05-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T2591512—2021/ISO14644-122018

.:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

監測

4………………………3

檢測報告

5…………………3

附錄資料性以凝結粒子計數器進行監測的參照方法

A()……………5

附錄資料性粒子計數效率和分割粒徑

B()……………8

參考文獻

……………………10

GB/T2591512—2021/ISO14644-122018

.:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是潔凈室及相關受控環境的第部分已經發布了以下

GB/T25915《》12。GB/T25915

部分

:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監測

———2:;

第部分檢測方法

———3:;

第部分設計建造啟動

———4:、、;

第部分運行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風罩手套箱隔離器微環境

———7:(、、、);

第部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

———9:;

第部分按化學物濃度劃分表面潔凈度等級

———10:;

第部分監測空氣中納米粒子濃度的技術要求

———12:。

本文件等同采用潔凈室及相關受控環境第部分監測空氣中納米粒子濃

ISO14644-12:2018《12:

度的技術要求

》。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國潔凈室及相關受控環境標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位中天道成蘇州潔凈技術有限公司中國電子工程設計院有限公司蘇州蘇信環

:()、、

境科技有限公司蘇州市計量測試院江蘇蘇凈工程建設有限公司江蘇嘉合潔凈科技有限公司中國標

、、、、

準化協會國家納米科學中心中國合格評定國家認可中心南京天加環境科技有限公司美埃中國環

、、、、()

境科技股份有限公司中電投工程研究檢測評定中心有限公司吳江市華宇凈化設備有限公司常州祥

、、、

明智能動力股份有限公司北京恒泰建業工程項目管理有限公司賀氏蘇州特殊材料有限公司

、、()。

本文件主要起草人王堯姜偉康蔡杰孫玉澄王其祥王大千姜皓遐朱蘭翟傳明蔣乃軍

:、、、、、、、、、、

邴紹同石小雷高正吳小泉葉偉強張敏董玉平郝胤博惠旅峰肖軼群

、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T2591512—2021/ISO14644-122018

.:

引言

是采用系列國際標準各部分設置與國際標準保持一致擬由個部分

GB/T25915ISO14644,,15

構成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級目的是區分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監測目的是指導監測粒子污染以避免可能產生的污染

———2:。,

風險

。

第部分檢測方法目的是指導對潔凈室內各種污染和相關環境要素的檢測

———3:。。

第部分設計建造啟動目的是指導潔凈室的設計建造啟動

———4:、、。、、。

第部分運行目的是指導潔凈室的運行

———5:。。

第部分詞匯目的是統一規范技術術語

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風罩手套箱隔離器微環境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級目的是區分空氣化學污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級目的是區分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學物濃度劃分表面潔凈度等級目的是區分表面化學污染程度

———10:。。

第部分監測空氣中納米粒子濃度的技術要求目的是提出納米級別的粒子污染的檢測

———12:。

要求

。

第部分達到粒子和化合潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產生的粒子和化學污染的風險

。

第部分按粒子污染濃度評估設備適用性目的是通過對相關設備可能在潔凈室產生粒子

———14:。

污染的測試確定設備的適合性

,。

第部分按化學污染物濃度評定設備及材料的適合性目的是通過對相關設備可能在潔凈

———15:。

室產生化學污染的測試確定設備的適合性

,。

第部分提高潔凈室和空氣凈化裝置能效目的是節約潔凈室運行的能源消耗

———16:。。

潔凈室及相關受控環境將污染物控制在適當的水平以便完成對污染敏感的活動航空航天微電

,。、

子制藥醫療器械食品醫療衛生等行業的產品和工藝受益于對懸浮污染物的控制

、、、、。

僅限于粒徑大于的粒子分級但在這個文件中包含小于納米粒

GB/T25915.3—2010100nm。100

子的資料性內容且將小于的粒子稱為超微粒子而不是本文件所稱的納米粒子

,100nm,。

納米技術是最近才形成的領域一般涉及大約尺寸范圍的物質為改善產品的性

,1nm~100nm。

能其特征尺寸越來越小成為其趨勢如微電子及與健康有關的許多工業現已生產納米尺度的產品

,,,。

有關粒徑特性的背景性文獻見參考文獻

[1]~[18]。

Ⅱ

GB/T2591512—2021/ISO14644-122018

.:

潔凈室及相關受控環境第12部分

:

監測空氣中納米粒子濃度的技術要求

1范圍

本文件給出了監測粒徑限值不超過的納米尺度粒子濃度的技術要求

0.1μm(100nm)“”。

本文件給出的監測技術要求主要用于動態

“”。

注1本文件提及的納米尺度粒子是指所有在維上納米片維上納米纖維或維上納米粒子具有納米

:“”1()、2()3()

尺度的納米物質

。

注2請注意潔凈室內粒子的實際特性是由粒子的來源及其物理特性所決定的

:,。

注3本文件未考慮健康與安全事項

:。

2規范性引用文件

本文件沒有規范性引用文件

。

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

和在以下網址維護用于標準化的術語數據庫

ISOIEC:

可從獲取

———IECElectropedia:/;

在線瀏覽平臺可從獲取

———ISO:/obp。

31通用

.

311

..

潔凈室cleanroom

空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間其設計建造到運行均使進入產生滯留于房間的粒子

,、、、

受控

。

注1規定了按空氣懸浮粒子濃度劃