第五章空間光調制器（SpatialLightModulator

）光學信息處理的理論基礎光學頻譜分析系統和空間濾波相干光學信息處理非相干光學信息處理白光信息處理光學信息處理的實際應用空間光調制器光信息的采集和顯示技術光信息傳輸技術光信息存儲技術

5.1概述光波頻率高，可允許信號本身有很寬的帶寬。光波是獨立傳播，兩束或多束光可以在空間交叉而互不干擾。信息可以多通道并行或交叉傳播。光波荷載信息的特點：光波以并行方式傳遞所載荷的信息。信息處理具有大容量、高速度的特點。一.空間光調制器的基本結構與分類

空間光調制器：即SpatialLightModulator(SLM)，是一種對光波的空間分布進行調制的器件。相位振幅（強度）頻率（波長）偏振態光波的特性空間光調制器的輸出光信號是隨控制信號變化的空間和時間的函數。即表示在時刻t

，空間光調制器在（x，y）處的復數透過率。

空間光調制器結構的基本特點在于：它是由許多基本的獨立單元組成的一維線陣或二維陣列。

每個單元都可以獨立地接收光信號或電信號的控制，并按此信號改變自身的光學性質（相位、振幅、頻率、偏振態），從而對通過它的光波進行空間調制。這些獨立單元稱為空間光調制器的像素。控制像素的光電信號稱為：寫入信號（光信號或電信號）

照明整個器件并被調制的輸入光波稱為：讀出光經過空間光調制器后出射的光波稱為：輸出光寫入光或寫入電信號應含有控制調制器各個像素的信息。把這些信息分別傳送到相應像素位置上去的過程稱為尋址。采用寫入光實現的尋址過程，稱為光尋址；采用寫入電信號實現的尋址過程，稱為電尋址。寫入光讀出光反射式光尋址輸出光寫入光讀出光透射式光尋址輸出光按照讀出光工作方式的不同分為反射式或透射式寫入電信號讀出光透射式電尋址讀出光反射式電尋址輸出光輸出光寫入電信號寫入信號尋址方式尋址速度空間分辨率光尋址二維光強分布并行尋址快高電尋址時間串行信號串行尋址慢低

空間光調制器的分類按照讀出方式的不同分為：反射式SLM透射式SLM按照輸入控制信號的方式：光尋址(OA-SLM)電尋址(EA-SLM)按照在系統中的位置區分：input-SLMprocessor-SLM

output-SLM按照工作原理的不同分為：電光效應SLM聲光效應SLM磁光效應SLM光折變效應SLM

空間光調制器是光學信息處理系統與外界信息交換的界面或接口，是光學信息處理、光互連、光計算及光學神經網絡等技術中最基本的功能器件之一。

空間光調制器的主要材料和物理效應空間光調制器物理效應選用材料1電光效應SLMKerr效應Pockels效應液晶、硝基苯、KDP2磁光效應SLMFaraday效應Cotton效應YIG、GGG3聲光效應SLM聲光效應LiNbO3、LiTaO34光折變效應SLM光折變效應Bi12SiO20、BaTiO35電子躍遷吸收SLM半導體光吸收GaAs、InGaAs/InP6機械效應SLM材料宏觀形變多晶硅、鋁膜7熱效應SLM材料溫度特性熱塑薄膜、液晶8光致聚合物SLM光化學反應聚醋酸乙烯酯常用的空間光調制器電尋址空間光調制器薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）磁光空間光調制器（MOSLM）數字微反射鏡器件（DMD）

硅基底上的液晶空間光調制器（LCOS）量子阱空間光調制器（QWSLM）光尋址空間光調制器鐵電液晶空間光調制器（FLC-SLM）液晶光閥（LCLV）

、陰極射線管-液晶光閥（CRT-LCLV）微通道板空間光調制器（MSLM）Pockels效應讀出光調制器（PROM）二.空間光調制器的功能輸入器件將待處理信息轉換為光信息處理系統要求的輸入形式。主要實現以下幾種轉換：電-光轉換串行-并行轉換非相干光-相干光轉換波長轉換處理和運算功能器件放大器乘法器與算術運算對比度反轉模擬數字轉換三.空間光調制器的基本性能參數1.輸入-

輸出特性曲線2.靈敏度特性曲線靈敏度指定值靈敏度閾值靈敏度輸出光寫入信號理想輸出模擬輸出IHILIt3.對比度動態范圍4.灰階數5.調制傳遞函數調制傳遞函數調制度定義為6.分辨率指通過器件后輸出光所能分辨的最大空間頻率7.空間帶寬積（SBP）空間帶寬積＝

分辨率平方×工作面積8.單幅信息容量N

為灰階數指當空間光調制器的所有像素都受到寫入信號的調制并保持穩定時，輸出光所能攜帶的最大信息容量。9.響應速度指寫入信號作用到器件直至輸出光產生所需的時間當寫入信號撤除后，被調制量減小到最大值的a倍時所需的時間。10.幀頻指空間光調制器在單位時間里所能處理的圖像幀數11.信息流量信息流量＝

單幅信息容量×幀頻12.存儲（記憶）時間5.2液晶光閥一.液晶的光電特性1.液晶結構液晶是一種介于各向同性液體和各向異性晶體之間的物質狀態。在一定溫度范圍內，它既有液體的流動性、粘度、形變等機械性質，又具有晶體的熱（熱效應）、光（光學各向異性）、電（電光效應）、磁（磁光效應）等物理性質。按液晶分子排列的有序性區分，可分為三類：近晶相液晶向列相液晶膽甾相液晶近晶相液晶近晶相液晶具有宏觀的電學各向異性和光學各向異性。近晶相液晶分子具有二維空間的層狀規則性排列，各層間則有一維的順向排列。一般而言，近晶相液晶分子的黏度大，對電場的應答速度慢，較少應用于顯示器，多用于光記憶材料方面。近晶相液晶向列相液晶向列相液晶向列相液晶分子的排列比較雜亂、不再分層，但分子取向大體一致，因此具有一維空間的規則排列。向列相液晶的粘度小，應答速度快，是最早被應用的液晶，普遍應用于液晶電視、筆記本電腦以及各類型顯示元件上。膽甾相液晶膽甾相液晶

膽甾相液晶分子的排列呈螺旋平面層狀排列，層與層之間相互平行，分子在各個層面上為向列型，兩相鄰層面上的分子長軸方向依次轉過一定角度。當兩個平面上的分子長軸方向相同時，這兩個平面之間的距離稱為一個螺距（pitch）。

膽甾相液晶液晶螺距的長度會隨著溫度的不同而改變，因此會產生對不同波長的選擇性反射，呈現不同的顏色變化，常用于溫度傳感器。目前空間光調制器中應用最多的是向列相液晶，液晶分子取向可通過外界條件來控制。一種方法是通過電磁場控制，另一種是通過液晶表面處理方式控制。對基片表面處理，可使液晶分子平行于基片且分子長軸方向沿同一方向排列。基片基片向列相液晶2.雙折射效應

方解石雙折射現象

一束光入射到各向異性的介質后出現兩束折射光線的現象。

液晶具有光學各向異性，沿分子長軸方向上的折射率不同于沿短軸方向上的折射率，因此光束在通過液晶時會出現雙折射現象。3.扭曲效應向列相液晶扭曲形變示意圖由于液晶的扭曲形變而使特定方向線偏振光的偏振方向旋轉一個角度的現象，稱為扭曲效應。4.混合場效應外加電場對于液晶分子的扭曲形變有顯著影響，在中等強度電場作用下，液晶同時出現雙折射效應和扭曲效應的現象，稱為混合場效應。V起偏器檢偏器橢圓偏振透射光出射光非偏振入射光線偏振入射光混合場效應原理示意圖（V>

Vc）在外加電場作用下，入射的線偏振光通過液晶后，變成含有兩個正交偏振方向的分量（o光和e光）的橢圓偏振光。由于液晶分子的傾斜對于正、逆方向傳播的光的非對稱性，經反射后再次通過液晶盒的偏振光，可以有一部分通過檢偏器，透過的光強與外加電壓的大小有關。液晶盒二.光學尋址液晶光閥1.液晶光閥的結構液晶透明電極寫入光讀出光/輸出圖像玻璃襯底玻璃襯底光電導層光阻擋層基片透明電極介質反射膜~V這種液晶光閥的主要功能是實現圖像的非相干-相干轉換。液晶透明電極寫入光讀出光/輸出圖像玻璃襯底玻璃襯底光電導層光阻擋層基片透明電極介質反射膜~V2.液晶光閥的工作原理

對寫入光圖像上的暗區，光電導層上光照很少、交流阻抗很大，外電壓主要分配到光電導層上，而液晶層上電壓較小，不足以產生有效的電光效應，仍保持45°扭曲排列結構，則讀出光在相應暗區像素上基本沒有受到調制作用，輸出光保持較小輸出；對寫入光圖像上的亮區，光電導層阻抗較小，外電壓大部分落在液晶層上，由于混合場效應，使該區輸出光達到最大輸出。對于寫入光圖像上其他照度區域，輸出光中相應像素的輸出光強介于最大值與最小值之間，這樣輸出光的光強空間分布就按照寫入光圖像的空間分布所調制。結構緊湊、在室溫下操作；驅動電壓低、功耗小；造價低、性能穩定；寫入圖像靈敏度高、輸出圖像對比度高。優點響應速度較慢；空間分辨率不夠高，僅適用于一般的圖像處理。缺點

混合場效應液晶光閥是一種光學并行尋址器，主要功能是實現圖像的非相干-相干轉換。三.電尋址液晶光閥TFT矩陣尋址等效電路數據線柵極源極漏極液晶掃描線單個像素電路圖1.矩陣尋址液晶光閥的結構電尋址的空間光調制器多采用矩陣尋址的方案。通常在一塊玻璃板上，形成互相絕緣的行電極和列電極，在它們的交點上用大規模集成電路技術制作薄膜晶體管（TFT）。TFT的柵極、源極和漏極分別連接行電極、列電極和顯示像素。在另一塊玻璃板的表面，所有像素共用一個電極，兩塊玻璃板之間充以扭曲型或超扭曲型液晶。2.矩陣尋址液晶光閥的工作原理當某一像素的行、列電極同時加上電信號時，TFT型場效應管接通，該像素透光。順序選通各行電極，并同步地選通列電極，就可以控制各像素的明暗，電壓的大小可控制灰階。行電極列電極全彩色薄膜晶體管液晶顯示器照射空間光調制器的光波的透過率在每一個像素局部受到電信號的調制，稱為矩陣尋址。

液晶光閥是一種比較成熟的空間光調制器，具有多種用途。在光學信息處理系統中：可作為圖像輸入、波長變換、串行電信號與并行電信號（或圖像）變換器，以及輸入尋址器；可用于實時變化的光互連、并行的光學邏輯運算、光學數字運算、光學矩陣運算等有關數學運算；可用于圖像處理，如邊緣增強、圖像相減、光學相關和實時圖像識別等。5.3Pockels

讀出光調制器泡克爾斯讀出光調制器（簡稱PROM）是利用BSO等晶體的光電導特性和線性電光效應制成的光尋址空間光調制器。一.PROM的結構IrIoIw絕緣層雙色介質反射層（對藍光透明，對紅光反射）透明電極BSO反射式PROM的結構示意圖二.PROM的基本工作原理1.擦除與激發V0+-V0+-+-V0V0VVV0xVPROM的工作過程（擦除與激發）示意圖加電壓光照短路擦除+-O2.寫入絕緣層雙色介質反射層透明電極BSOIrIoIw（藍光）將載有輸入圖像信息的藍光作為寫入光，它將成像在BSO晶片的右表面上。在圖像的亮區，由于光電導效應產生電子-空穴對，電子在內電場作用下向BSO

的左側表面遷移，正、負電荷分離后形成的附加電場將抵消一部分內電場，使這些區域的電壓降減小；在圖像的暗區，由于電子-空穴對很少，電壓降變化較小，甚至基本保持V0不變。這樣原來圖像的空間光強分布，經BSO

的光電導效應轉換為空間電壓分布，即把圖像信息“寫入”了PROM。電壓V與曝光量E成指數關系，即

BSO上暗區壓降大，亮區壓降迅速減小。3.讀出

將紅光作為讀出光，由左側射入PROM

，并分解為相互垂直的兩個線偏振分量。由于BSO晶片的雙折射，它們在晶片中的相位延遲不同，經雙色反射層反射后，它們再次通過BSO晶片，且相位延遲的差異加倍，最后由左方射出，形成輸出光；輸出光波面各處的偏振態受到按寫入圖像形成的電場（電壓）分布的調制。PROM的工作過程對于理想的PROM

器件，在寫入圖像的暗區，讀出光兩次經過BSO晶片獲得最大的光強透過率；在寫入圖像的亮區，讀出光的透過率很低，因此PROM

輸出的是對比反轉圖像。BSO晶片外電場內電場BSO的擦除和激發光電導效應空間電場（電壓）分布線性電光效應光強分布5.4微通道板空間光調制器微通道板空間光調制器（簡稱MSLM）是通過寫入端的微通道板實現對寫入圖像的增益，利用縱向電光效應對讀出光進行調制的空間光調制器。一.MSLM的結構1.光電陰極光電陰極的作用是將光學圖像轉換成電圖像。2.微通道板微通道板由半導體微孔玻璃構成的陣列，具有電子倍增功能。3.柵極柵極是一種網格狀電極，作用是對由微通道板射出的電子加速。IrIoIw透明電極真空室窗口真空室窗口光電陰極微通道板接地電極柵極真空隙介質膜反射鏡電光晶體板透明電極真空室微通道板空間光調制器結構圖二.MSLM的工作過程相干

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非相干光圖像（寫入光）光電轉換光電子圖像微通道板增強、柵極加速電荷圖像電光晶體板空間調制、檢偏器相干光圖像（振幅

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強度調制）三.MSLM器件的特點1.輸入輸出可具有很寬的光譜響應范圍；2.可在弱光下工作，記錄強度僅為的可見光圖像；3.選擇高阻的電光調制材料和介質膜，可使器件具有很長的存儲時間。4.二次電子發射特性使MSLM

具有靈活的信息處理能力。5.5磁光空間光調制器磁光空間光調制器（簡稱MOSLM）是利用法拉第旋光效應對讀出光進行調制的電尋址空間