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犑７８

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２１２７２—２００７

蒸汽流真空泵性能測量方法

泵液返流率和加熱時間的測量

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２００７１２０２發布２００８０６０１實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局

發布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２１２７２—２００７

前言

本標準修改采用ＤＩＮ２８４２７：１９８３《泵液蒸汽壓低于１ｍｂａｒ的擴散泵和蒸汽射流真空泵驗收規則》

（德文版）。

根據需要，本標準在采用ＤＩＮ２８４２７：１９８３時進行了修改。這些技術性差異用垂直單線標示在它

們所涉及的條款的頁邊空白處。在附錄Ａ中給出了本標準與ＤＩＮ２８４２７：１９８３技術性差異及其原因的

一覽表，以供參考。

為便于使用，本標準還做了下列編輯性修改：

———“本驗收規則”一詞改為“本標準”；

———刪除了ＤＩＮ２８４２７：１９８３的前言。

本標準附錄Ａ為資料性附錄。

本標準由中國機械工業聯合會提出。

本標準由全國真空技術標準化技術委員會（ＳＡＣ／ＴＣ１８）歸口。

本標準負責起草單位：蘭州真空設備有限責任公司。

本標準參加起草單位：遼寧真龍真空設備制造有限公司、沈陽真空技術研究所。

本標準主要起草人：溫發蘭、徐玉江、許艷巧、林森、王學智。

Ⅰ

書

犌犅／犜２１２７２—２００７

蒸汽流真空泵性能測量方法

泵液返流率和加熱時間的測量

１范圍

本標準規定了蒸汽流真空泵泵液返流率和加熱時間的測量方法。

本標準適用于下列蒸汽流真空泵：擴散泵、擴散噴射泵（以下簡稱為泵）。泵工作室溫為（２０±５）℃，

泵工作液蒸汽壓低于１００Ｐａ。

２術語和定義

下列術語和定義適用于本標準。

２．１

泵液返流率犫犪犮犽狊狋狉犲犪犿犻狀犵狉犪狋犲狅犳狆狌犿狆犳犾狌犻犱

泵按規定條件工作時，在單位時間內通過泵入口單位面積，并與被抽氣體流動方向相反的泵液質量

流量。

２．２

加熱時間犺犲犪狋犻狀犵狋犻犿犲

泵的加熱時間，系指開始接通泵的加熱器電源，到泵起抽氣作用時的時間間隔。

２．３

測試罩狋犲狊狋犱狅犿犲

是個裝在泵入口具有規定形狀和尺寸的容器，試驗氣體通過它進入泵內，其上裝有壓力測量裝置。

３泵液返流率的測量

３．１裝置

３．１．１測試罩

如圖１所示，測試罩為圓筒形鐘罩式容器，罩的內徑犇與泵口內徑相等，罩體上蓋可為圓形、錐形

或斜坡形。罩的軸向尺寸為１．５犇。試驗氣體的進口在罩的軸線上，并與連接法蘭的距離為犇，進氣口

的排列應使氣體自背離泵口的方向進入測試罩。測量壓力的規管連接管在距離連接法蘭０．５犇處，其

軸線應垂直于測試罩的軸線，測試罩的軸線應垂直于泵入口法蘭平面。

測試罩應設有調節罩壁溫度的裝置，如外表面繞焊水冷管或其他水冷裝置等。

３．１．２測量法蘭

如圖２所示，用一個內表面開設有斜槽的法蘭收集返流的泵液，法蘭內徑與泵口及測試罩內徑

相等。

３．１．３測量管

如圖２所示，用以測量返流的泵液量的器具，是一個帶有刻度的玻璃制測量管，管的刻度誤差應不

大于±５％。測量管的上端有一軟管接頭，側面有一分支