標準解讀

《GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法》相比于《GB 1558-1983》，主要在以下幾個方面進行了調整和更新：

  1. 標準性質變化：從標準編號上的差異可以看出，《GB 1558-1983》是一個強制性國家標準（GB），而《GB/T 1558-1997》變更為推薦性國家標準（GB/T）。這意味著后者雖然依舊為國家標準，但在具體應用中為企業或實驗室提供了更多選擇空間，非強制執行。

  2. 技術內容更新：《GB/T 1558-1997》在測量原理、儀器設備、樣品制備、測試步驟及數據處理等方面可能融入了新的研究成果和技術進步，以提高測量的準確性和可重復性。例如，可能對紅外光譜儀的性能要求、測試波長的選擇、背景扣除方法等細節進行了優化或明確。

  3. 精度與誤差要求調整：新標準可能會根據技術發展和實際應用需求，對測量結果的精度和允許誤差范圍進行重新評估和定義，以更符合當前技術水平下的測量要求。

  4. 適用范圍擴展或明確：《GB/T 1558-1997》可能對硅材料中代位碳原子含量的適用類型、濃度范圍或特定應用領域進行了更詳細的規定或擴展，使得標準的應用更加廣泛且針對性更強。

  5. 術語和定義的規范：隨著科學進步，一些專業術語可能有了新的定義或解釋，新標準會對此進行更新，確保術語使用的準確性和一致性。

  6. 試驗方法的改進：包括但不限于樣品預處理技術、測量條件的標準化、數據分析方法的優化等，旨在提高檢測效率和降低人為誤差。

  7. 參考文獻與國際接軌：新標準可能引用了更多最新的國內外研究成果和國際標準，增強了標準的科學性和國際兼容性。

這些變更反映了自1983年以來，在硅材料中代位碳原子含量測定領域的理論研究、技術進步以及標準化工作的發展情況，旨在為相關行業提供更為準確、可靠、高效的測量方法。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現行標準GB/T 1558-2009
  • 1997-12-22 頒布
  • 1998-08-01 實施
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文檔簡介

ICS29.045H21中華人民共和國國家標準GB/T1558-1997硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法Testmethodforsubstitutionalatomiccarboncontentofsiliconbyinfraredabsorption1997-12-22發布1998-08-01實施國家技術監督局發布

GB/T1558-1997前本標準等效采用ASTMF123—91《硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法》對我國標準GB1558—83《測定硅品體中代位碳含量的紅外吸收方法》進行修訂而成的。本標準對GB1558—83中半值寬度的定義和試樣厚度的要求按ASTMF123—91作了修訂。本標準在編寫時略去了ASTMF123-91的第5章“意義和用途”,將ASTMF123的第8章“取樣”和第9章“測試樣品和參比樣品"合并為本標準的第7章“試樣制備"以使標準簡單、明了。本標準從1998年8月1日起實施。本標準生效之日起，同時代替國家標準GB1558—83.本標準的附錄A是提示的附錄。本標準由中國有色金屬工業總公司提出本標準由中國有色金屬工業總公司標準計量研究所歸口本標準由峨眉半導體材料廠負責起草。本標準主要起草人：梁洪、劉文魁、吳福立本標準1979年6月首次發布,1997年第二次修訂。

中華人民共和國國家標準硅中代位碳原子含量GB/T1558一1997紅外吸收測量方法代替GB1558-83Testmethodforsubstitutionalatomiccarboncontentofsiliconbyinfraredabsorption范圍本標準規定了硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法本標準適用于載流子濃度小于5×10"m～"、室溫電阻率大于0.10·cm的硅單品中代位碳原子濃度的測定。由于碳也可能存在于間隙位置，因而本方法不能測定總碳濃度。本標準也適用于硅多品中代位碳原子濃度的測定。其晶粒界間區的碳同樣不能測定。本標準測量碳原子濃度的有效范圍為：室溫下從硅中代位碳原子濃度1×10""at·cm-（200PPba）到碳原子的最大溶解度,77K時下限降到5×10"at·cm-(100PPba).2引用標準下列標準包含的條文，通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。在標準出版時所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性：GB/T6618—1995硅片厚度和總厚度變化的測試方法3定義本標準采用以下定義。3.1基線basiclinc從參比圖譜吸收峰兩側最大透過率處作出的一條切線，用來計算吸收系數“。見圖1。3.2碳濃度carbondensity在本方法中,是指占據晶格替代位置的碳原子的體密度。根據比耳定律,它與吸收系數成正比，單位是at·cmn-。3.3半值寬度fullwidthathalfmaximum半峰高處的吸收帶寬度。見圖1。3.4參比樣品referencespecimen在本方法中，是指與被測試樣的厚度及表面制備相同，載流子濃度不大于被測試樣的載流子濃度碳濃度小于1×

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