標(biāo)準(zhǔn)解讀
GB/T 14602-1993 是一項中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn),全稱為《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)中使用的氯化氫氣體的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運輸和儲存要求,旨在確保氯化氫氣體的質(zhì)量滿足電子工業(yè)生產(chǎn)中的特定需求。
標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽:
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范圍:明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)生產(chǎn)中作為原料或工藝氣體使用的氯化氫氣體。
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規(guī)范性引用文件:列出了實施本標(biāo)準(zhǔn)時所直接引用或參考的其他標(biāo)準(zhǔn)文件,這些文件對于理解和執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)的具體要求至關(guān)重要。
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術(shù)語和定義:對標(biāo)準(zhǔn)中涉及的專業(yè)術(shù)語進(jìn)行了解釋,幫助讀者準(zhǔn)確理解各項要求。
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技術(shù)要求:
- 純度:規(guī)定了氯化氫氣體的最低純度要求,以確保其在電子元件制造過程中的高純度應(yīng)用。
- 雜質(zhì)含量:詳細(xì)列出了可能存在的雜質(zhì)元素及其最大允許含量,如水、氧、氮、砷、磷等,以防止這些雜質(zhì)影響半導(dǎo)體材料的性能和成品率。
- 物理狀態(tài):包括氣體的壓力、溫度條件下的物理狀態(tài)要求,確保氣體的穩(wěn)定性和安全性。
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試驗方法:詳細(xì)描述了如何通過化學(xué)分析、氣相色譜等方法檢測氯化氫氣體的純度及雜質(zhì)含量,確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。
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檢驗規(guī)則:規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗項目、抽樣方法、判定規(guī)則等,確保每批次產(chǎn)品的質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)要求。
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包裝、標(biāo)志、運輸和儲存:
- 包裝:要求使用耐腐蝕材料的容器進(jìn)行密封包裝,以防止氣體泄漏和外界污染。
- 標(biāo)志:需明確標(biāo)注產(chǎn)品名稱、規(guī)格、批號、生產(chǎn)日期、有效期、生產(chǎn)廠家等信息,便于追溯和安全使用。
- 運輸:提供了運輸過程中應(yīng)遵循的安全措施,以防泄漏和事故。
- 儲存:指明了儲存條件,如溫度、壓力限制及避光、干燥等環(huán)境要求,以保持氣體品質(zhì)。
實施意義:
該標(biāo)準(zhǔn)的制定與執(zhí)行,對提升我國電子工業(yè)用氯化氫氣體的質(zhì)量控制水平、保障電子元器件的高性能生產(chǎn)、促進(jìn)電子行業(yè)技術(shù)進(jìn)步具有重要意義。它為生產(chǎn)商、用戶及檢測機(jī)構(gòu)提供了一套統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)依據(jù),有利于維護(hù)市場秩序和產(chǎn)品質(zhì)量安全。
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- 被代替
- 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替,建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 14602-2014
- 1993-08-26 頒布
- 1994-07-01 實施


文檔簡介
UDC661G86中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T14602-—93電子工業(yè)用氣體氯化氫Gasesforelectronicindustry-Hydrogenchloride1993-08-26發(fā)布1994-07-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/r14602-93電子工業(yè)用氣體氯化氫Gasesforelectronicindustry-Hydrogenchloride主題內(nèi)客與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氯化氫的技術(shù)要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運輸、財存和安全要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氫、氯為原料合成的氯化氫和以工業(yè)氯化氫為原料經(jīng)凈化制得的瓶裝液態(tài)氯化氫。氯化氫主要用于電子工業(yè),在集成電路生產(chǎn)中用于蝕刻、鈍化、外延等工藝。也可用于金屬治煉、光導(dǎo)通訊和科學(xué)研究等領(lǐng)域。分子式:HCI相對分子質(zhì)量:36.461(按1989年國際相對原子質(zhì)量)2引用標(biāo)準(zhǔn)GB190危險貨物包裝標(biāo)志GB4845氮氣檢驗方法GB7144氣瓶顏色標(biāo)記GB7445氫氣氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定GB8984氣相色譜法3技術(shù)要求氯化氫的質(zhì)量應(yīng)符合下表的技術(shù)要求。氯化氫純度,10-99.9944二氧化碳含量,10-復(fù)含量,10-氧+氬含量,10-經(jīng)類含量,10-水合量,10-·S復(fù)含量,10-10:本指標(biāo)系瓶裝產(chǎn)品的氣體質(zhì)量指標(biāo),保證期6個月。表中純度和含量系體積分?jǐn)?shù).4檢驗方法4.1氯化氫純度
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