標準解讀
GB/T 14601-1993 是一項中華人民共和國國家標準,全稱為《電子工業用氣體 高純氨》。該標準規定了電子工業領域所使用的高純度氨氣的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和儲存要求,旨在確保高純氨氣的質量滿足電子工業的特定需求。
標準內容概覽:
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范圍:明確了本標準適用于電子工業生產中作為工藝氣體使用的高純氨。規定了其適用的純度等級和技術指標,適用于產品的生產、檢驗及驗收過程。
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規范性引用文件:列出了實施本標準時所直接引用或參考的其他標準和文件清單,這些文件對于完全理解并執行標準內容是必要的。
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術語和定義:對標準中涉及的專業術語進行了解釋,確保讀者對關鍵概念有統一的理解。
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要求:
- 純度要求:詳細規定了高純氨氣中主要雜質(如水、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳等)的最大允許含量,以ppm(百萬分之一)為單位。
- 物理化學性質:包括外觀、密度、沸點、熔點等指標,確保產品符合電子工業應用的基本物理特性要求。
- 包裝容器:對用于盛裝高純氨的容器材質、清潔度、密封性等提出了具體要求,以防止外界污染。
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試驗方法:描述了如何通過化學分析、氣相色譜等方法測定高純氨中的各種雜質含量,以及檢驗其物理性質的方法,確保檢驗結果的準確性和可重復性。
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檢驗規則:規定了產品出廠前的檢驗項目、抽樣方法、判定規則等,包括例行檢驗和型式檢驗的具體要求。
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標志、標簽、包裝、運輸和儲存:
- 標志與標簽:要求在包裝上清晰標注產品名稱、規格、批號、生產日期、有效期、生產廠家等信息。
- 包裝:強調了包裝材料應能有效保護產品不受污染和損壞,并符合安全要求。
- 運輸:提供了運輸過程中應遵守的安全措施和注意事項,以防止泄露和保證安全。
- 儲存:說明了適宜的儲存條件,如溫度、濕度、避光等,以保持產品質量穩定。
實施意義:
該標準的制定和實施,為電子工業用高純氨氣的生產和質量控制提供了統一的標準依據,有助于提升電子元件和半導體器件的制造質量,保障電子產品的性能和可靠性,同時促進了相關行業的規范化發展。
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文檔簡介
UDC661G86中華人民共和國國家標準CB/T14601-93電子工業用氣體高純氨Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia1993-08-26發布1994-07-01實施國家技術監督局發布
中華人民共和國國家標準CB/T14601-93電子工業用氣體高純氨Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia主題內容與適用范圍本標準規定了電子工業用氣體高純氮的技術要求,試驗方法,檢驗規則及產品的包裝、標志、運輸、廣存及安全要求。本標準適用于瓶裝高純氮。該產品主要用于半導體工業,氮化硅的化學氣相淀積,也可用于硅或氧化硅的氮化。分子式:NH:相對分子質量:17.031(按1989年國際相對原子質量)S引用標準GB1900危險貨物包裝標志GB5099鋼質無縫氣瓶GB5831氣體中徽量氧的測定比色法氣體中微量氧的測定GB6285電化學法GB7144氣瓶顏色標志GB7445氫氣GB8980高純氮GB8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB10625高純氮中微量氮的測定電子遷移氣相色譜法GB14606氣體中總烴的測定火焰離子化檢瀏法3技術要求電子工業用氣體高純氨的質量應符合下表的技術要求。氨的純度,10-99.999氧含量,10-4氮含量,10-一氧化碳含量,10-經(C~C,)含量,10-水含量,10-總雜質含量10-住:純度及含量均以體積分數表
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