ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T14600—2009

代替

GB/T14600—1993

電子工業用氣體氧化亞氮

Gasforelectronicindustry—Nitrousoxide

2009-10-30發布2010-05-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

犌犅／犜１４６００—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３《電子工業用氣體氧化亞氮》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３相比主要變化如下：

———修改電子工業用氧化亞氮的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的第１章，本版的第１章）；

———修改規范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的第２章，本版的第２章）；

———修改技術指標內容（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的第３章，本版的第３章）；

———增加電子工業用氧化亞氮采樣安全要求（見４．１．２）；

———增加尾氣處理的要求（見４．３）；

———修改一氧化碳、二氧化碳、烴Ｃ１～Ｃ５、氮、氧含量檢驗方法的檢測限和標準樣品的規定

（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的４．４、４．５、４．６、４．７、４．８，本版的４．５、４．６、４．７、４．８）；

———修改水分含量的檢驗方法（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的４．７，本版的４．１１）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。

本標準起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設計院、大連光明化工研究院。

本標準主要起草人：周澤義、孫福楠、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３。

Ⅰ

書

犌犅／犜１４６００—２００９

電子工業用氣體氧化亞氮

１范圍

本標準規定了氧化亞氮的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于電子工業中化學氣相淀積工藝。

分子式：Ｎ２Ｏ。

相對分子質量：４４．０１２８（按２００５年國際相對原子質量計算）。

２規范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業用化學產品采樣安全通則

ＧＢ５０９９鋼質無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

ＧＢ１１６４０鋁合金無縫氣瓶

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規定

氣瓶安全監察規程

３技術要求

氧化亞氮的質量應符合表１的要求。

表１技術指標

項目指標

－２

氧化亞氮（Ｎ２Ｏ）純度（體積分數）／１０≥９９．９９９４９９．９９７

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分數）／１０＜０．５２

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分數）／１０－６＜０．１１

－６

烴Ｃ１～Ｃ５（以甲烷計）含量（體積分數）／１０＜０．１１

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分數）／１０＜３１０

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分數）／１０＜０．５２

－６

水（Ｈ２Ｏ）含量（體積分數）／１０＜１．０３

－６

氨（ＮＨ３）含量（體積分數）／１０＜供需雙方商定５

一氧化氮（ＮＯ）含量（體積分數）／１０－６＜供需雙方商定１

－６

二氧化氮（ＮＯ２）含量（體積分數）／１０