國內掃描電鏡升迭代，貼息政策下國產有望加速掃描電鏡—表面科學儀器，主要應用于微區形貌分析掃描電鏡是一種用高辨率微區形貌分析大精密儀器它可以利聚焦很窄的高能電子來描樣品來觀察物質觀貌表征體子射出的電子束經過聚焦后匯聚成點光源；點光源在加速電壓下形成高能電子束高能子經兩電透鏡聚成徑小光點在過后級掃描線的磁鏡子束光狀描方逐點擊樣表發出同度電信此子號被品上不信接器器接過電增步傳到腦示實時像錄進分綜合而言，掃描電鏡具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強、放大倍數范圍寬及測品在維空內行轉傾等特前被泛于生命理法地科學以工生等域微觀研究。圖表1：掃描電鏡原理圖（以次級電子作為電子信號舉例）資料來源：Antpeia，中郵證券研究所圖表2：氮化硅掃描電鏡成像圖（半導體領域） 圖表3：癌細胞掃描電鏡成像圖（生命科學領域）資料來源：中科科儀官網，中郵證券研究所 資料來源：中科科儀官網，中郵證券研究所掃描電鏡按照電子槍種類可分為鎢燈絲/六硼化鑭燈絲/熱場發射/冷場發掃描電鏡子的特亮子散布常的子鎢燈熱射硼鑭熱射場冷場射發電鏡分率亮等能指通要于發掃描鏡但用件更為嚴、格為貴。圖表4：掃描電鏡分類（按電子槍種類劃分）資料來源：Antpeia，聚束科技，中郵證券研究所圖表5：四類電子槍性能和參數對比亮度交叉斑工作溫度逸出功電流密度電子槍分辨率使用壽命小時)(/cm2s(μm)((eV)（/cm）鎢燈絲1E520-402650-7504.4-4.53nm1.3100左右六硼化鑭燈絲1E67-151750-8502.0-2.92.5nm25>500熱場電子槍1E8-1E90.01-0023004.1<1nm50K10000冷場電子槍5E80.02-0041750-8002.5-2.91nm500>1000資料來源：中科科儀官網，中郵證券研究所掃描電鏡的核心性指為分辨率成而是指分兩之最小離對區分析而是能析最小域掃電的辨率通過定像兩顆（或域的小來確的在知大數的條件把圖上的最間除放倍所得值為辨據分辨率的不同場發射掃電鏡可以分為極高（XHR超高分（UHR辨（HR、入門級（EL）四個級別。圖表6：掃描電鏡分類（按分辨率劃分）資料來源：鋼研納克公眾號，中郵證券研究所注：六硼化鑭燈絲掃描電鏡未在此圖中展示產業鏈下游方面，我國的掃描電鏡主要應用于主要用于紡織、化工、印染儀器料學科等多材工域最應用市場2020年場達40.其為物醫學域2020年場比為33.5。圖表7：2020年中國掃描電鏡下游消費結構33%22224%408%335%材料、化工 生物、醫藥 教學及研究 其他資料來源：華經產業研究院，中郵證券研究所我國掃描電鏡市場規模約19億，進口依賴度高2020年我國電子顯微鏡場規模約為26.13億元據SDI統215-020年全電顯鏡場模分為108226/24/2545268/297萬元，復合長達.7。以中表科儀市規模比為子微規模占比進行估算，則可知015200年中國電子顯微鏡市場規模分別為230/25/20/33/38/30百萬元復增達10若以222/2/1日美元兌民匯換，20年國子微市規模為6.13億。圖表8：全球電子顯微鏡市場規模呈穩健增長 圖表9：我國電子顯微鏡市場規模呈穩健增長20020010010050

6%4%2%0%215216217218219220

3300300 14300 8%3211500

215216217218219220

1118%6%4%2%0%全球電子顯微鏡市場規模（百萬美元，左軸同比增速（%，右軸）資料來源：SDI，中郵證券研究所

中國電子顯微鏡市場規模（百萬美元，左軸同比增速（%，右軸）資料來源：SDI，中郵證券研究所注：中國電鏡市場規模計算方式為：全球電鏡市場規模中國表面科學儀器市場規模/全球表面科學儀器市場規2020年我國掃描電鏡市規模約為19.34億元。球電顯鏡見透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡、反射電子顯微鏡三類，根據智研咨詢整理2021掃電顯鏡其中大種，比達74右假定220年電子微占與021相同則簡測得到020中掃電市模為1934元。26%74%圖表10：掃描電鏡是電子顯微鏡中最大的種類，占比達74左右26%74%掃描電子顯微鏡 其他資料來源：智研咨詢，中郵證券研究所掃描電鏡進口依賴高海外廠商市場份額超90體份方化器對201H2的內描電中情進了完全計從量看儀器國儀器其的標數分為9/33占比為92/44額來口描鏡中標為1975.8萬國掃電的標866.5萬占亦為92與4要意是然兩占相并意著國掃電與口描電的價仿造該現的因要國聚束以75.5元高價標1臺描再疊低量數影才造成產量比國金額比近結。4%4%圖表11：2021H2國產掃描電鏡與進口掃描電鏡中標數占比（不完全4%4%

圖表12：2021H2國產掃描電鏡與進口掃描電鏡中標金占比（不完全統計）92%進口數量占比 國產數量占比 其他數量占比

92%4%4%進口金額占比 國產金額占比 其他金額占比4%4%資料來源：化工儀器網，中郵證券研究所注：其他屬于品牌或金額不具代表性的類

資料來源：化工儀器網，中郵證券研究所注：其他屬于品牌或金額不具代表性的類事實上國內廠商所占額應比化工儀器網進的不完全統計高一些科科作國掃電引領于1975年功制我第臺描鏡年成研我第臺發射掃電中科儀眾披司于021年11月月售發掃描鏡鎢絲描數就到2訂單未化儀統計入。圖表13：中科科儀2021M11單月銷售掃描電鏡數量達12臺資料來源：中科科儀公眾號，中郵證券研究所賽默飛、日立、蔡司為最受歡迎的三個品牌。經工儀器網的不完統計數量面賽飛以19的銷數位第，次是立共中標16第三蔡，計標2套金方默仍是一可計的金為845.7萬約占39二蔡金為513.3萬約占4第三日，4228，占20。圖表14：2021H2主要品牌掃描電鏡中標數量（臺） 圖表15：2021H2主要品牌掃描電鏡中標金額占比（）4%3192531925161213%39%20%24%賽默飛 日立 蔡司 其他海外品牌 國內品牌 賽默飛 日立 蔡司 其他海外品牌 國內品牌資料來源：化工儀器網，中郵證券研究所 資料來源：化工儀器網，中郵證券研究所國內廠商研發持續發力，產品升級迭代實現跨越發展⑴鋼研納克——場射描電鏡鋼研克公納微于11月后產分辨HR場射旗機—FE-50列極分（H場發掃電顯鏡-2050款品計便各所重FE-050重于合析征力而FE-200多重極的高辨像力。圖表16：鋼研納克先后發布FE-1050系列、FE-2050X產品資料來源：鋼研納克公眾號，中郵證券研究所FE-1050系列與FE-2050X的推出，代表著我掃電鏡技術與國際先術的差距大幅減小。FE-100列為內一臺備搭聚離FB力多束電平經得個國頂高研所單先我的描平代低高辨（nm@1k）段。FE-200X作國首主研的高（HR發射描子微將具備全電壓段亞納米（≤1.0m）的極致分辨能力，媲美進口掃描電鏡頂品它問將我在掃電技分設計國先術的技術距此的5幅縮到到5年實跨式質發。圖表17：FE-1050系列與FE-2050X的產品定位資料來源：鋼研納克公眾號，中郵證券研究所以FE-1050系列為例性能參數并不遜色至于同級別國際產18舉了E-150C與立蔡日電的款同別品性參從表中以出在能標上FE-050C與級產品本平在分指標上至于級產在析力關數如本間小存儲能力智化析面E-105C具優圖表18：性能參數方面，FE-1050系列并不遜色甚至優于同級別國際產品指標參數日立500卡爾蔡司ima300日本電子JS-I800L納克微束F1050C發射類型choty場發射choty場發射choty場發射choty場發射1kV2.0nm1.6nm1.3nm1.5nm分辨能力15kV-1.0nm0.7nm1.0nm加速電壓30kV1.2nm500~0kV1.0nm20~3kV-10~3kV0.8nm(STE)20~3kV束斑電流200nAx3p~2nA300nAx5p~3nA放大倍率18x1,00,00x10x1,00,00x10x2,00,00x10x1,00,00x運動平臺5軸自動5軸自動5軸自動5軸自動XY行程100x50m125x125m70x50m140x140m圖像存儲最大)5,12x384032kx2k5,12x384024kx2k真空系統2xIP-1TP1xIP-1TP2xIP-1TP2xIP-1TP資料來源：鋼研納克產品發布會，中郵證券研究所FE-1050系列和FE-2050X還擁有KCU平臺概念開架構，支持多種應環境，存在未來繼續級可能。同臺設開的FE-050系（同層和F-200系（電層兩設具非好塊通性后升潛行業內首先提出的關鍵可通用化模組（KU）概念使得新的第三方附件模塊成變得常松進入小級開發潛以E-150系列例其備有27口，于期塊級應用展。圖表19：FE-1050系列和FE-2050X擁有KCU平臺概念開發架構，支持多種應用環境資料來源：鋼研納克公眾號，中郵證券研究所⑵國儀量子——鎢絲描電鏡國儀量子于11月下旬推了世界上首臺分辨達到2.5納米的鎢燈掃描電鏡——SEM3300。燈掃描電鏡具有性價比高易于維護、操作相對簡以及對地求小特便大使用但以來鎢絲描鏡分辨率都滯前難實用戶更分率追國量電顯鏡團隊針這技瓶開了科攻過析制鎢絲描鏡辨主要因創在筒增加根陽直物極的10V壓管高技術)的解決方案，并實現了在所有電壓段的分辨率均大幅度超越普通鎢燈絲電鏡EM300在20kV率到2.n普絲電提了6了目前界分率高鎢燈掃電時EM330任電下出優的辨—在V分率到nm相通鎢絲鏡了2倍；在1kV分率到nm相比通燈電提了3此足多分析試求。同時，國儀量子還推出了鎢燈絲掃描電鏡SEM200和場發射掃描電SEM4000。鎢絲描鏡SEM200是款作挑人簡不單產人人敢人都為目打場射電鏡EM400一針析型戶求全產具有子流分速快的大過00的電束，束大連續調有于擇合適成和譜件。圖表20：SEM3300是世界上首臺分辨率達到2.5納米的鎢燈絲掃描電鏡資料來源：國儀量子產品推介會，中郵證券研究所貼息政策刺激掃描電鏡需求，國產有望加速科學儀器屬于典型“脖子行政策支度有望持續加高端器自主可控大勢所趨有望加快推進學儀是家略心技量一國科創能力綜國的現作為技新必基要成學器國化與主已成我科行展的動是業來的然向因此央政高重國科儀器發展先出多政支產學器。圖表21：近年科學儀器相關政策梳理（部分）發布法律法規及政策時間“十三五”國家戰略

發布單位 相關主要內容加強先進適用環保裝備在冶金、化工、建材、食品等重點領域性新興產業發展劃》《儀器儀表行業“三五”發展規劃》《高端智能再制行動計劃（0-0年《加強“從0到”

6 國務院6 中國儀器儀行業協會7 工信部科技部、國

應用，加速發展體外診斷儀器、設備、試劑等新產品。以國家重點產業安全、自主、可控為契機，推進重點產品核技術自主化進程，力爭基本形成國家大型工程項目、重點應領域自控系統和精密測試儀器的基本保障能力和重大科技項所需自控系統和精密測試儀器的基礎支撐能力。提出了要加強智能再制造關鍵技術創新與產業化應用、推動能化再制造裝備研發與產業化應用、加快智能再制造標準研等八大任務。加強重大科技基礎設施和高端通用科學儀器的設計研發，聚焦礎研究工作方案》

發改委等

高端通用和專業重大科學儀器設備研發工程化和產業化研究推動高端科學儀器設備產業快速發展。“十四五”規劃 1 全國人大 明確提出要“加強高端科研儀器設備研發制造”。《儀器儀表行業“四五”規劃建議》

1 中國儀器儀行業協會

加強高端儀器儀表的發展步伐，優先推進部分行業有一定技儲備和產業化基礎、市場有一定需求規模的高端產品的發展，集中力量解決部分國家急需解決的高端儀器儀表卡脖子和自主可控的問題，部分彌補行業在高端產品的明顯短板。資料來源：相關政府網站，中郵證券研究所貼息政策有望帶動描鏡需求，加速國產奏。202年9月國決定部分領域備新造款段性政息加社服務信支政面高業、醫院九領的備置和新規估為.7月財部等部下發關加部領設備新造款政息工的知對02212/31前10領設更改款息2.5個分限2度200億望中短期內激描鏡求加速奏。圖表22：貼息政策下，高校招標場發射掃描電鏡節奏加快時間高校招標項目預算金額（萬元）202212/2武夷學院場發射掃描電鏡5502022//30北京理工大學聚焦電子束離子束雙束掃描電鏡13002022//29清華大學冷場發射（生物）掃描電鏡系統4502022//29清華大學配有能譜和EBSD功能的掃描電鏡原位力學測試系統3602022//28上海交通大學原子力掃描電鏡聯用儀5502022//28上海交通大學冷凍雙束掃描電鏡7402022//28哈爾濱工業大學掃描電鏡聯用系統（航天尖兵）17022022//27復旦大學場發射掃描電鏡5002022//26天津大學超高分辨冷場發射掃描電鏡3802022//25上海交通大學原位微納熱力分析型聚焦離子束/電子束掃描電鏡8252022//25華南理工大學熱場發射掃描電子顯微鏡6002022//25中國地質大學冷凍掃描電鏡4802022//25華南理工大學聚焦離子束場發射掃描電子顯微鏡8802022//25北京航空航天大學普通場發射掃描電鏡、鎢燈絲掃描電鏡3002022//25華南理工大學雙束聚焦離子束場發射掃描電鏡5502022//25中山大學場發射掃描電鏡2002022//25中山大學掃描電鏡+陰極熒光聯用系統7762022//25中山大