厚膜混合集成電路21、靜念園林好，人間良可辭。22、步步尋往跡，有處特依依。23、望云慚高鳥，臨木愧游魚。24、結(jié)廬在人境，而無車馬喧；問君何能爾？心遠(yuǎn)地自偏。25、人生歸有道，衣食固其端。厚膜混合集成電路厚膜混合集成電路21、靜念園林好，人間良可辭。22、步步尋往跡，有處特依依。23、望云慚高鳥，臨木愧游魚。24、結(jié)廬在人境，而無車馬喧；問君何能爾？心遠(yuǎn)地自偏。25、人生歸有道，衣食固其端。中北大學(xué)微米軸米故術(shù)研覽中心(Q厚薄膜混合集成電路授課教師:何常德(電子與計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)學(xué)院)TelO)E-mail:hechangdegmailMicroandNanoTechnologyResearchCenter,NorthUniversityofChina,Taiyuan,Shanxi,030051參考書目※《混合微電路技術(shù)手冊(cè)-村料、工藝、設(shè)計(jì)試驗(yàn)和生產(chǎn)》.[美]JamesjLicariLeonardr.Enlow著.電子工業(yè)出版社,2004年※《半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)》.施敏.安徽大學(xué)出版社2005年※《硅集成電路工藝基礎(chǔ)》.關(guān)旭東,北京大學(xué)出版社,2003年“生成”一詞，在“現(xiàn)代漢語詞典”中的一條“解釋”為“（自然現(xiàn)象的）形成”，說明生成教學(xué)與預(yù)設(shè)是一個(gè)矛盾運(yùn)動(dòng)的過程。生成教學(xué)過程需要把“靜態(tài)”與“動(dòng)態(tài)”、“彈性預(yù)設(shè)”與“目標(biāo)生成”交織在一起。課堂教學(xué)在生成性思想指導(dǎo)下教學(xué)流程是變化的，具有不確定性和開放性，這就要求教師能憑借自身的智慧和素養(yǎng)，根據(jù)教學(xué)動(dòng)態(tài)靈活的調(diào)控，引導(dǎo)學(xué)生主動(dòng)學(xué)習(xí)，不斷更新教學(xué)流程，完成或超越預(yù)設(shè)的目標(biāo)。這就要求教師把控好四個(gè)原則：針對(duì)性、適度性、開放性、探索性，以及教學(xué)三個(gè)環(huán)節(jié)：彈性預(yù)設(shè)、課堂的組織與調(diào)控、教學(xué)反思。一、彈性預(yù)設(shè)是生成教學(xué)的基礎(chǔ)預(yù)設(shè)與生成是矛盾的統(tǒng)一體，生成的基礎(chǔ)是預(yù)設(shè)，但又是預(yù)設(shè)的升華。雖然僅有“剛性”的預(yù)設(shè)也能體現(xiàn)課堂效率，但會(huì)使課堂進(jìn)入程序化，缺乏個(gè)性和靈性，讓整個(gè)課堂呈現(xiàn)一種“靜態(tài)”。只有精心充分的“彈性”預(yù)設(shè)，讓課堂以“動(dòng)態(tài)”的形式展現(xiàn)，才會(huì)有生成的最佳效果。這種“彈性”預(yù)設(shè)隱含著生成教學(xué)的形成，給師生留有足夠的拓展空間，促進(jìn)師生共同體的積極參與和情感交流，它寬容課堂中的“突發(fā)”事件、為學(xué)生多樣性和創(chuàng)造性提供舞臺(tái)。1.編制動(dòng)態(tài)的導(dǎo)學(xué)案教師備課重點(diǎn)對(duì)象是備學(xué)生。在課前，教師只能是在了解學(xué)生近階段學(xué)習(xí)情況的基礎(chǔ)上，做一種預(yù)設(shè)和猜測(cè)。要在精心準(zhǔn)備的導(dǎo)學(xué)案中，讓學(xué)生了解教師的設(shè)計(jì)意圖，明確上課內(nèi)容，做到有的放矢的高效學(xué)習(xí)。彈性預(yù)設(shè)具有高度的不確定和開放性，既要點(diǎn)名教學(xué)目標(biāo)，又要留有思維的拓展空間，以促進(jìn)有效生成。如在編制人教版必修四《正弦函數(shù)、余弦函數(shù)的性質(zhì)》導(dǎo)學(xué)案中，設(shè)置“我們以前研究基本函數(shù)時(shí)，是從哪幾個(gè)角度研究的？試舉例說明?！边@樣的問題，不僅點(diǎn)名了本節(jié)重點(diǎn)是正弦函數(shù)、余弦函數(shù)性質(zhì)的五個(gè)方面（定義域、值域、單調(diào)性、奇偶性、周期性），更重要的是讓學(xué)生體會(huì)如何研究一個(gè)未知函數(shù)（由基本函數(shù)構(gòu)成的復(fù)雜函數(shù)）的方法，并預(yù)留了對(duì)稱性和各性質(zhì)間關(guān)系的研究。課堂在展現(xiàn)時(shí)，可以由學(xué)生自主提出研究性質(zhì)的先后順序及方法，或由學(xué)生自主分組討論，讓課堂呈現(xiàn)多樣化，讓學(xué)生積極融入課堂中，激發(fā)他們主動(dòng)參與和體驗(yàn)成功的喜悅。課前彈性預(yù)設(shè)不是一成不變的，要根據(jù)學(xué)生已有的知識(shí)結(jié)構(gòu)和技能，及時(shí)調(diào)整。成功的彈性預(yù)設(shè)可以在教學(xué)實(shí)施過程中完成預(yù)設(shè)的教學(xué)目標(biāo)及重難點(diǎn)，促進(jìn)教學(xué)過程的“動(dòng)態(tài)”性，使課堂教學(xué)更貼近學(xué)生，有利于學(xué)生的思維發(fā)展，提高課堂效率。2.讓數(shù)學(xué)文化融入學(xué)生心中數(shù)學(xué)課堂不僅是要關(guān)注學(xué)生知識(shí)與技能技巧，更應(yīng)該關(guān)注數(shù)學(xué)文化，它能讓學(xué)生理解數(shù)學(xué)本質(zhì)，感悟數(shù)學(xué)的思想和精神，欣賞數(shù)學(xué)美，提高數(shù)學(xué)學(xué)習(xí)興趣。如：很多學(xué)生在高中數(shù)學(xué)第一課“1.1集合”學(xué)完后，不知道為什么要上這部分內(nèi)容，而且感覺與以前學(xué)習(xí)的內(nèi)容嚴(yán)重脫節(jié)。如果我們?cè)趯?dǎo)學(xué)案中，設(shè)置“請(qǐng)同學(xué)們先了解數(shù)學(xué)史上的三大危機(jī)是什么？”這樣的問題，不僅讓學(xué)生能積極主動(dòng)的課前預(yù)習(xí)，感受數(shù)學(xué)的發(fā)展過程，而且能明確為什么要學(xué)習(xí)集合，甚至?xí)寣W(xué)生感嘆：牛頓還是一個(gè)非?！芭！钡臄?shù)學(xué)家。二、課堂的組織與調(diào)控是生成教學(xué)的核心1.教師預(yù)設(shè)適度的問題問題的設(shè)置在于有效而不是新奇，適度的問題可以讓學(xué)生對(duì)課堂產(chǎn)生親切感，能夠活躍學(xué)生的思維，讓學(xué)生動(dòng)手得出結(jié)論，同時(shí)數(shù)學(xué)的思維和方法，可以在問題中自然生成，有利于學(xué)生創(chuàng)造性能力的培養(yǎng)。在聽評(píng)某市舉辦的優(yōu)質(zhì)課中，課題為“平面與平面平行的判定”（此節(jié)內(nèi)容《課程標(biāo)準(zhǔn)》要求：通過直觀感知、操作確認(rèn)，歸納出判定定理）。諸多選手中，近半成在引入課題時(shí)一味追求新奇，如“別墅房頂”；“四葉直升機(jī)起飛”；“手捧裝有部分水的魚缸”等。華麗的引入，讓學(xué)生和評(píng)委眼花繚亂，不知所云。由此看出，選手確實(shí)花了很多的時(shí)間和精力在備課中，但卻違背了直觀感知，在此不如就直接引用課本是的模型――長(zhǎng)方體模型。簡(jiǎn)單、直觀很容易讓學(xué)生感知。2.教師要?jiǎng)?chuàng)造良好的課堂氛圍高中數(shù)學(xué)的生成教?W是否高效，關(guān)鍵取決于教師的綜合素質(zhì)和人格魅力，而不在于學(xué)生的已有程度。教學(xué)中，教師以學(xué)生為主體，善于從學(xué)生的角度對(duì)待知識(shí)和技能的處理，設(shè)計(jì)整節(jié)課的教學(xué)環(huán)節(jié)；在問題的解決中，讓學(xué)生獲得知識(shí)和技能，激發(fā)他們學(xué)習(xí)的熱情和不斷進(jìn)取的開拓精神；在討論設(shè)疑的環(huán)節(jié)中，讓學(xué)生勇于提出自己的問題，提高他們的創(chuàng)新思維能力；創(chuàng)造寬松、民主的良好課堂氣氛，幫助學(xué)生融入課堂，讓他們能夠在教師的引導(dǎo)下自由發(fā)揮，從而激發(fā)學(xué)習(xí)的興趣。如：采用類比法研究雙曲線的性質(zhì)中，就有同學(xué)提出：“我們學(xué)過的反比例函數(shù)是否是雙曲線？”，“拋物線能否稱為雙曲線的一支？”等問題。姑且不去討論問題的嚴(yán)密性和正確性，也不討論是否超出預(yù)期目標(biāo)和課程綱要，但有一點(diǎn)：“學(xué)生思考了，學(xué)生提出問題了，學(xué)生感受到課堂的平等性?！边@就成功了。3.教師在課堂中要善于利用學(xué)生資源，促進(jìn)學(xué)生成長(zhǎng)常聽說這樣一句話“在課堂教學(xué)中，學(xué)生回答有錯(cuò)誤或偏離主題，不是教學(xué)事故，而是一個(gè)學(xué)生成長(zhǎng)的契機(jī)。”教師不要害怕教學(xué)中出現(xiàn)超出自己預(yù)設(shè)的問題，即使出現(xiàn)了意外的問題，也不能進(jìn)行扼制或搪塞。在課堂教學(xué)中，教師不可能把所用的問題都考慮全面，一旦出現(xiàn)問題，教師要獨(dú)居慧眼，善于識(shí)別，并關(guān)注學(xué)生的情感和意志，把一些意見和建議綜合起來，讓其成為學(xué)生生成的途徑。如：本人在上橢圓定義時(shí)，讓學(xué)生舉例說明生活中的橢圓，每次都有學(xué)生回答“雞蛋”。這明顯是一個(gè)錯(cuò)誤的回答，但不能批評(píng)，至少學(xué)生勇于思考，回答就是一種成長(zhǎng)；而且這是學(xué)生認(rèn)知的不足造成的，畢竟橢圓是平面問題，而雞蛋是空間問題。三、課后反思促進(jìn)生成教學(xué)的高效性和持久性周恩來曾說過“要讓我寫自己的歷史，我就寫我的錯(cuò)誤?！痹诮虒W(xué)反思中，我們也應(yīng)該向周恩來先生學(xué)習(xí)，要在反思中呈現(xiàn)自己的不足，它是我們教師自我成長(zhǎng)的核心和動(dòng)力。教學(xué)反思是對(duì)課堂教學(xué)的進(jìn)一步思考，從而改善教學(xué)方法，注重學(xué)生成長(zhǎng)，自我提升的過程，它應(yīng)包含：課前預(yù)設(shè)是否需要改進(jìn)？課堂效率如何？學(xué)生是否有所成長(zhǎng)？教學(xué)目標(biāo)是否完成？實(shí)驗(yàn)課是初中化學(xué)教學(xué)和學(xué)習(xí)的重要內(nèi)容，做好化學(xué)實(shí)驗(yàn)課的教學(xué)工作，有利于學(xué)生更好地學(xué)習(xí)和理解化學(xué)概念，提高學(xué)生分析問題和解決問題的能力。因此，在教學(xué)中需要重視采取相應(yīng)的策略，以優(yōu)化初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)課程設(shè)計(jì)，提高教學(xué)質(zhì)量和學(xué)生的學(xué)習(xí)效果。一、初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)課優(yōu)化設(shè)計(jì)的必要性由于受到師資隊(duì)伍、教學(xué)觀念等因素的影響，目前在初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)課程教學(xué)中存在著一些問題與不足，主要表現(xiàn)在以下兩個(gè)方面。這種問題的存在越來越不適應(yīng)初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)教學(xué)的實(shí)際需要，需要采取相應(yīng)的策略對(duì)實(shí)驗(yàn)課進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。1.實(shí)驗(yàn)缺乏主動(dòng)性和創(chuàng)造性。一些老師在化學(xué)實(shí)驗(yàn)教學(xué)中堅(jiān)持以老師為中心的理念，先給學(xué)生以化學(xué)實(shí)驗(yàn)的結(jié)論，然后再講述，并得出這種結(jié)論，化學(xué)實(shí)驗(yàn)課缺乏主動(dòng)性和創(chuàng)造性，忽視了對(duì)學(xué)生能力的培養(yǎng)，不利于學(xué)生實(shí)驗(yàn)操作能力的提高和學(xué)生化學(xué)知識(shí)的掌握。2.忽視培養(yǎng)學(xué)生的動(dòng)手操作能力。盡管大部分化學(xué)任課老師認(rèn)識(shí)到了實(shí)驗(yàn)的重要性，并在教學(xué)中采取了相應(yīng)的措施培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)驗(yàn)操作能力。但是，一部分老師仍然對(duì)這一問題不重視，他們甚至認(rèn)為化學(xué)實(shí)驗(yàn)沒有存在的必要性，使得一些學(xué)生實(shí)驗(yàn)之前不認(rèn)真預(yù)習(xí)，對(duì)基本理論知識(shí)缺乏了解，因而實(shí)驗(yàn)動(dòng)手能力差，缺乏對(duì)實(shí)驗(yàn)的探究能力，難以實(shí)驗(yàn)教學(xué)的目標(biāo)。二、初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)課優(yōu)化設(shè)計(jì)的策略為了應(yīng)對(duì)當(dāng)前初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)教學(xué)中存在的不足，結(jié)合教學(xué)目標(biāo)和教學(xué)要求，筆者認(rèn)為在教學(xué)中可以采取以下策略優(yōu)化實(shí)驗(yàn)課程設(shè)計(jì)。1.引起學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣，讓學(xué)生更好地參與到實(shí)驗(yàn)當(dāng)中。初中學(xué)生具有好奇心強(qiáng)的特點(diǎn)，在化學(xué)實(shí)驗(yàn)中，如果注重采取相應(yīng)的策略，讓學(xué)生觀察化學(xué)實(shí)驗(yàn)中所發(fā)生的的細(xì)微變化，可以引起學(xué)生的好奇心和探究欲望，使學(xué)生更好地參與到實(shí)驗(yàn)當(dāng)中。例如，在如何鑒別二氧化碳這一實(shí)驗(yàn)當(dāng)中，可以采取以下策略：實(shí)驗(yàn)前教師拿出一瓶透明的液體對(duì)學(xué)生說，我給你們變一個(gè)魔術(shù)，往里面吹口氣，里面的液體會(huì)立即變成牛奶。這時(shí)候，學(xué)生會(huì)被老師將要表演的魔術(shù)所吸引，將注意力集中到老師的操作當(dāng)中。接下來老師往石灰水里吹氣，熟石灰與二氧化碳發(fā)生反應(yīng)生成沉淀使得液體的顏色變成“牛奶”。通過這種方式，學(xué)生進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的興趣被激發(fā)起來了，對(duì)這章節(jié)需要掌握的知識(shí)也充滿了渴望。2.注重啟發(fā)講解，模仿實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)。在講解課文內(nèi)容的時(shí)候，要向?qū)W生傳授化學(xué)實(shí)驗(yàn)方法和化學(xué)研究方法，讓學(xué)生從中得到啟發(fā)，然后讓學(xué)生模仿實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，更好地參與到實(shí)驗(yàn)當(dāng)中。例如，在進(jìn)行氣體的實(shí)驗(yàn)室制法實(shí)驗(yàn)的時(shí)候，可以讓學(xué)生思考這個(gè)問題：利用濃氨水、燒堿、生石灰、必要的儀器，如何制取少量氨氣。學(xué)生討論之后，提出兩種方案：將濃氨水放在燒瓶中加熱；將生石灰放在燒瓶中，再用分液漏斗滴加濃氨水。然后再給學(xué)生布置課外作業(yè)：利用一只圓底燒瓶、帶玻璃管的橡皮塞、橡膠管、一粒NaOH固體、少量濃氨水、大燒杯、水，如何做成噴泉實(shí)驗(yàn)？由于學(xué)生學(xué)習(xí)過制取氨氣和噴泉實(shí)驗(yàn)，具有一定的模仿基礎(chǔ)，學(xué)生通過對(duì)這些實(shí)驗(yàn)的模仿設(shè)計(jì)，不僅能夠鞏固所學(xué)知識(shí)，還學(xué)會(huì)了氨氣收集、使少量水進(jìn)入燒瓶的操作，提高了學(xué)生的實(shí)踐操作能力和解決問題的能力。3.講清楚實(shí)驗(yàn)原理，注重培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)驗(yàn)探究能力。任課老師要對(duì)基本原理解釋清楚，在實(shí)驗(yàn)的時(shí)候向?qū)W生提出相應(yīng)的問題，培養(yǎng)學(xué)生的探究能力。例如，學(xué)習(xí)鐵燃燒這一基本內(nèi)容后，學(xué)生知道燃燒之后的產(chǎn)物是四氧化三鐵。實(shí)驗(yàn)前可以向?qū)W生提問：為什么廣口瓶底要加入適量的清水？實(shí)驗(yàn)中學(xué)生觀察到燃燒過程中會(huì)有黑色固體落到瓶底，并由學(xué)習(xí)的理論知識(shí)可以得知這是四氧化三鐵，進(jìn)而可以明白加水是為了防止廣口瓶受熱而發(fā)生爆裂現(xiàn)象。還可以提問：除清水之外還可以用什么來防止廣口瓶受熱不均而出現(xiàn)破裂？通過提問，既可以鞏固學(xué)生所學(xué)理論知識(shí)，還能夠培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)驗(yàn)探究能力。4.采取多種方法，注重培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)驗(yàn)操作能力。要運(yùn)用好教材中的開放性實(shí)驗(yàn)習(xí)題，強(qiáng)調(diào)探究途徑的多樣性，使學(xué)生利用自己的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，從不同層次、側(cè)面、角度、范圍得出不同結(jié)論。例如，利用三種方法鑒別KBr溶液、Na2CO3溶液、鹽酸，事實(shí)上方法遠(yuǎn)遠(yuǎn)不止這三種，要讓學(xué)生充分發(fā)揮自己的能動(dòng)性，嘗試運(yùn)用多種方法進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，并得出最佳實(shí)驗(yàn)方案，提高學(xué)生的實(shí)驗(yàn)操作能力。總之，實(shí)驗(yàn)課是初中化學(xué)教學(xué)的重要組成部分，在教學(xué)中需要高度重視。除了采取上述課程優(yōu)化設(shè)計(jì)策略之外，任課老師還需要不斷總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，進(jìn)行探索和創(chuàng)新，嘗試新的教學(xué)方法和手段，學(xué)生也需要加強(qiáng)實(shí)踐操作，注重對(duì)實(shí)驗(yàn)的探尋。只有這樣，才能更好地掌握初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)的操作，提高學(xué)生的動(dòng)手操作能力和初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)課程的教學(xué)質(zhì)量。厚膜混合集成電路21、靜念園林好，人間良可辭。厚膜混合集成電1中北大學(xué)微米軸米故術(shù)研覽中心(Q厚薄膜混合集成電路授課教師:何常德(電子與計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)學(xué)院)TelO)E-mail:hechangdegmailMicroandNanoTechnologyResearchCenter,NorthUniversityofChina,Taiyuan,Shanxi,030051中北大學(xué)微米軸米故術(shù)研覽中心(Q2參考書目※《混合微電路技術(shù)手冊(cè)-村料、工藝、設(shè)計(jì)試驗(yàn)和生產(chǎn)》.[美]JamesjLicariLeonardr.Enlow著.電子工業(yè)出版社,2004年※《半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)》.施敏.安徽大學(xué)出版社2005年※《硅集成電路工藝基礎(chǔ)》.關(guān)旭東,北京大學(xué)出版社,2003年參考書目3課程學(xué)習(xí)目的和內(nèi)容★了解什么是混合電路和混合電路工藝技術(shù)研究的主要內(nèi)容;★對(duì)混合電路的發(fā)展歷史、現(xiàn)狀和未來有一個(gè)比較清晰的認(rèn)識(shí)★初步掌握厚膜電路及厚膜工藝、薄膜電路及成膜方法、電阻阻值的調(diào)整方法以及各種組裝方法(包括粘接、互連、清洗、涂覆、真空焙烤、密封和封裝)。對(duì)混合微電路技術(shù)所涉及的相關(guān)知識(shí)和學(xué)科領(lǐng)域有一個(gè)較為系統(tǒng)、全面的認(rèn)識(shí);★為今后更加深入地學(xué)習(xí)混合微電路等方面的相關(guān)知識(shí)奠定基礎(chǔ)課程學(xué)習(xí)目的和內(nèi)容4課程學(xué)習(xí)目的和內(nèi)容★掌握半導(dǎo)體制造工藝(半導(dǎo)體集成電路基礎(chǔ))的主要內(nèi)容(1)晶體生長(zhǎng)(2)硅的氧化;(3)光刻(4)刻蝕;(5)擴(kuò)散(6)離子注入(7)薄膜淀積;(8)工藝集成(9)集成電路封裝技術(shù)課程學(xué)習(xí)目的和內(nèi)容5本課程與其它課程的關(guān)系量子力學(xué)材料固體物理學(xué)半導(dǎo)體物理集成電路統(tǒng)計(jì)物理學(xué)器件微機(jī)電器件電子信息系統(tǒng)共C工藝同之處MEMS工藝本課程與其它課程的關(guān)系6集成電路(混合微電路)設(shè)計(jì)需要的知識(shí)范圍1)系統(tǒng)知識(shí)——計(jì)算機(jī)/通信/信息/控制等學(xué)科2)電路知識(shí)——模擬/數(shù)字/模數(shù)混合/RFC/MMC3)工具知識(shí)—任務(wù)和內(nèi)容→相應(yīng)的軟件工具(SPICE/HDL/Cadence4)工藝知識(shí)——元器件的特性和模型/工藝原理和過程集成電路(混合微電路)設(shè)計(jì)需要的知識(shí)范圍7第一章引言1.1微電子材料分類1.2工藝分類1.3混合電路的定義和特性1.4應(yīng)用第一章引言8厚膜混合集成電路課件9※1.1.1導(dǎo)體導(dǎo)體的特性:導(dǎo)電性好(電阻率低:p<10-3gcm例:pcu:10-6gcm);正的電阻溫度系數(shù)(TCR)TCR:隨溫度的升高,電阻率增加。然而高電導(dǎo)率的導(dǎo)體(A1、Ag、Au),在電路測(cè)試或使用溫度(25-150℃)范圍內(nèi),這種效應(yīng)不太明顯。導(dǎo)體材料:金屬,位于周期表中的Ⅰ、Ⅱ和Ⅲ族典型的金屬:Au、Ag、Cu(I族元素)※1.1.1導(dǎo)體10※1導(dǎo)體E5.x200Temperature(C)圖1-1金屬電阻率與溫度的關(guān)系※1導(dǎo)體11厚膜混合集成電路課件12厚膜混合集成電路課件13厚膜混合集成電路課件14厚膜混合集成電路課件15厚膜混合集成電路課件16厚膜混合集成電路課件17厚膜混合集成電路課件18厚膜混合集成電路課件19厚膜混合集成電路課件20厚膜混合集成電路課件21厚膜混合集成電路課件22厚膜混合集成電路課件23厚膜混合集成電路課件24厚膜混合集成電路課件25厚膜混合集成電路課件26厚膜混合集成電路課件27厚膜混合集成電路課件28厚膜混合集成電路課件29厚膜混合集成電路課件30厚膜混合集成電路課件31厚膜混合集成電路課件32厚膜混合集成電路課件33厚膜混合集成電路課件34厚膜混合集成電路課件35厚膜混合集成電路課件36厚膜混合集成電路課件37厚膜混合集成電路課件38厚膜混合集成電路課件3936、自己的鞋子，自己知道緊在哪里?！靼嘌?/p>

37、我們唯一不會(huì)改正的缺點(diǎn)是軟弱?！_什?？?/p>

38、我這個(gè)人走得很慢，但是我從不后退?！獊啿薄ち挚?/p>

39、勿問成功的秘訣為何，且盡全力做你應(yīng)該做的事吧。——美華納

40、學(xué)而不思則罔，思而不學(xué)則殆。——孔子xiexie!謝謝！36、自己的鞋子，自己知道緊在哪里?！靼嘌纗iexie!40厚膜混合集成電路21、靜念園林好，人間良可辭。22、步步尋往跡，有處特依依。23、望云慚高鳥，臨木愧游魚。24、結(jié)廬在人境，而無車馬喧；問君何能爾？心遠(yuǎn)地自偏。25、人生歸有道，衣食固其端。厚膜混合集成電路厚膜混合集成電路21、靜念園林好，人間良可辭。22、步步尋往跡，有處特依依。23、望云慚高鳥，臨木愧游魚。24、結(jié)廬在人境，而無車馬喧；問君何能爾？心遠(yuǎn)地自偏。25、人生歸有道，衣食固其端。中北大學(xué)微米軸米故術(shù)研覽中心(Q厚薄膜混合集成電路授課教師:何常德(電子與計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)學(xué)院)TelO)E-mail:hechangdegmailMicroandNanoTechnologyResearchCenter,NorthUniversityofChina,Taiyuan,Shanxi,030051參考書目※《混合微電路技術(shù)手冊(cè)-村料、工藝、設(shè)計(jì)試驗(yàn)和生產(chǎn)》.[美]JamesjLicariLeonardr.Enlow著.電子工業(yè)出版社,2004年※《半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)》.施敏.安徽大學(xué)出版社2005年※《硅集成電路工藝基礎(chǔ)》.關(guān)旭東,北京大學(xué)出版社,2003年“生成”一詞，在“現(xiàn)代漢語詞典”中的一條“解釋”為“（自然現(xiàn)象的）形成”，說明生成教學(xué)與預(yù)設(shè)是一個(gè)矛盾運(yùn)動(dòng)的過程。生成教學(xué)過程需要把“靜態(tài)”與“動(dòng)態(tài)”、“彈性預(yù)設(shè)”與“目標(biāo)生成”交織在一起。課堂教學(xué)在生成性思想指導(dǎo)下教學(xué)流程是變化的，具有不確定性和開放性，這就要求教師能憑借自身的智慧和素養(yǎng)，根據(jù)教學(xué)動(dòng)態(tài)靈活的調(diào)控，引導(dǎo)學(xué)生主動(dòng)學(xué)習(xí)，不斷更新教學(xué)流程，完成或超越預(yù)設(shè)的目標(biāo)。這就要求教師把控好四個(gè)原則：針對(duì)性、適度性、開放性、探索性，以及教學(xué)三個(gè)環(huán)節(jié)：彈性預(yù)設(shè)、課堂的組織與調(diào)控、教學(xué)反思。一、彈性預(yù)設(shè)是生成教學(xué)的基礎(chǔ)預(yù)設(shè)與生成是矛盾的統(tǒng)一體，生成的基礎(chǔ)是預(yù)設(shè)，但又是預(yù)設(shè)的升華。雖然僅有“剛性”的預(yù)設(shè)也能體現(xiàn)課堂效率，但會(huì)使課堂進(jìn)入程序化，缺乏個(gè)性和靈性，讓整個(gè)課堂呈現(xiàn)一種“靜態(tài)”。只有精心充分的“彈性”預(yù)設(shè)，讓課堂以“動(dòng)態(tài)”的形式展現(xiàn)，才會(huì)有生成的最佳效果。這種“彈性”預(yù)設(shè)隱含著生成教學(xué)的形成，給師生留有足夠的拓展空間，促進(jìn)師生共同體的積極參與和情感交流，它寬容課堂中的“突發(fā)”事件、為學(xué)生多樣性和創(chuàng)造性提供舞臺(tái)。1.編制動(dòng)態(tài)的導(dǎo)學(xué)案教師備課重點(diǎn)對(duì)象是備學(xué)生。在課前，教師只能是在了解學(xué)生近階段學(xué)習(xí)情況的基礎(chǔ)上，做一種預(yù)設(shè)和猜測(cè)。要在精心準(zhǔn)備的導(dǎo)學(xué)案中，讓學(xué)生了解教師的設(shè)計(jì)意圖，明確上課內(nèi)容，做到有的放矢的高效學(xué)習(xí)。彈性預(yù)設(shè)具有高度的不確定和開放性，既要點(diǎn)名教學(xué)目標(biāo)，又要留有思維的拓展空間，以促進(jìn)有效生成。如在編制人教版必修四《正弦函數(shù)、余弦函數(shù)的性質(zhì)》導(dǎo)學(xué)案中，設(shè)置“我們以前研究基本函數(shù)時(shí)，是從哪幾個(gè)角度研究的？試舉例說明?！边@樣的問題，不僅點(diǎn)名了本節(jié)重點(diǎn)是正弦函數(shù)、余弦函數(shù)性質(zhì)的五個(gè)方面（定義域、值域、單調(diào)性、奇偶性、周期性），更重要的是讓學(xué)生體會(huì)如何研究一個(gè)未知函數(shù)（由基本函數(shù)構(gòu)成的復(fù)雜函數(shù)）的方法，并預(yù)留了對(duì)稱性和各性質(zhì)間關(guān)系的研究。課堂在展現(xiàn)時(shí)，可以由學(xué)生自主提出研究性質(zhì)的先后順序及方法，或由學(xué)生自主分組討論，讓課堂呈現(xiàn)多樣化，讓學(xué)生積極融入課堂中，激發(fā)他們主動(dòng)參與和體驗(yàn)成功的喜悅。課前彈性預(yù)設(shè)不是一成不變的，要根據(jù)學(xué)生已有的知識(shí)結(jié)構(gòu)和技能，及時(shí)調(diào)整。成功的彈性預(yù)設(shè)可以在教學(xué)實(shí)施過程中完成預(yù)設(shè)的教學(xué)目標(biāo)及重難點(diǎn)，促進(jìn)教學(xué)過程的“動(dòng)態(tài)”性，使課堂教學(xué)更貼近學(xué)生，有利于學(xué)生的思維發(fā)展，提高課堂效率。2.讓數(shù)學(xué)文化融入學(xué)生心中數(shù)學(xué)課堂不僅是要關(guān)注學(xué)生知識(shí)與技能技巧，更應(yīng)該關(guān)注數(shù)學(xué)文化，它能讓學(xué)生理解數(shù)學(xué)本質(zhì)，感悟數(shù)學(xué)的思想和精神，欣賞數(shù)學(xué)美，提高數(shù)學(xué)學(xué)習(xí)興趣。如：很多學(xué)生在高中數(shù)學(xué)第一課“1.1集合”學(xué)完后，不知道為什么要上這部分內(nèi)容，而且感覺與以前學(xué)習(xí)的內(nèi)容嚴(yán)重脫節(jié)。如果我們?cè)趯?dǎo)學(xué)案中，設(shè)置“請(qǐng)同學(xué)們先了解數(shù)學(xué)史上的三大危機(jī)是什么？”這樣的問題，不僅讓學(xué)生能積極主動(dòng)的課前預(yù)習(xí)，感受數(shù)學(xué)的發(fā)展過程，而且能明確為什么要學(xué)習(xí)集合，甚至?xí)寣W(xué)生感嘆：牛頓還是一個(gè)非?！芭！钡臄?shù)學(xué)家。二、課堂的組織與調(diào)控是生成教學(xué)的核心1.教師預(yù)設(shè)適度的問題問題的設(shè)置在于有效而不是新奇，適度的問題可以讓學(xué)生對(duì)課堂產(chǎn)生親切感，能夠活躍學(xué)生的思維，讓學(xué)生動(dòng)手得出結(jié)論，同時(shí)數(shù)學(xué)的思維和方法，可以在問題中自然生成，有利于學(xué)生創(chuàng)造性能力的培養(yǎng)。在聽評(píng)某市舉辦的優(yōu)質(zhì)課中，課題為“平面與平面平行的判定”（此節(jié)內(nèi)容《課程標(biāo)準(zhǔn)》要求：通過直觀感知、操作確認(rèn)，歸納出判定定理）。諸多選手中，近半成在引入課題時(shí)一味追求新奇，如“別墅房頂”；“四葉直升機(jī)起飛”；“手捧裝有部分水的魚缸”等。華麗的引入，讓學(xué)生和評(píng)委眼花繚亂，不知所云。由此看出，選手確實(shí)花了很多的時(shí)間和精力在備課中，但卻違背了直觀感知，在此不如就直接引用課本是的模型――長(zhǎng)方體模型。簡(jiǎn)單、直觀很容易讓學(xué)生感知。2.教師要?jiǎng)?chuàng)造良好的課堂氛圍高中數(shù)學(xué)的生成教?W是否高效，關(guān)鍵取決于教師的綜合素質(zhì)和人格魅力，而不在于學(xué)生的已有程度。教學(xué)中，教師以學(xué)生為主體，善于從學(xué)生的角度對(duì)待知識(shí)和技能的處理，設(shè)計(jì)整節(jié)課的教學(xué)環(huán)節(jié)；在問題的解決中，讓學(xué)生獲得知識(shí)和技能，激發(fā)他們學(xué)習(xí)的熱情和不斷進(jìn)取的開拓精神；在討論設(shè)疑的環(huán)節(jié)中，讓學(xué)生勇于提出自己的問題，提高他們的創(chuàng)新思維能力；創(chuàng)造寬松、民主的良好課堂氣氛，幫助學(xué)生融入課堂，讓他們能夠在教師的引導(dǎo)下自由發(fā)揮，從而激發(fā)學(xué)習(xí)的興趣。如：采用類比法研究雙曲線的性質(zhì)中，就有同學(xué)提出：“我們學(xué)過的反比例函數(shù)是否是雙曲線？”，“拋物線能否稱為雙曲線的一支？”等問題。姑且不去討論問題的嚴(yán)密性和正確性，也不討論是否超出預(yù)期目標(biāo)和課程綱要，但有一點(diǎn)：“學(xué)生思考了，學(xué)生提出問題了，學(xué)生感受到課堂的平等性?！边@就成功了。3.教師在課堂中要善于利用學(xué)生資源，促進(jìn)學(xué)生成長(zhǎng)常聽說這樣一句話“在課堂教學(xué)中，學(xué)生回答有錯(cuò)誤或偏離主題，不是教學(xué)事故，而是一個(gè)學(xué)生成長(zhǎng)的契機(jī)?！苯處煵灰ε陆虒W(xué)中出現(xiàn)超出自己預(yù)設(shè)的問題，即使出現(xiàn)了意外的問題，也不能進(jìn)行扼制或搪塞。在課堂教學(xué)中，教師不可能把所用的問題都考慮全面，一旦出現(xiàn)問題，教師要獨(dú)居慧眼，善于識(shí)別，并關(guān)注學(xué)生的情感和意志，把一些意見和建議綜合起來，讓其成為學(xué)生生成的途徑。如：本人在上橢圓定義時(shí)，讓學(xué)生舉例說明生活中的橢圓，每次都有學(xué)生回答“雞蛋”。這明顯是一個(gè)錯(cuò)誤的回答，但不能批評(píng)，至少學(xué)生勇于思考，回答就是一種成長(zhǎng)；而且這是學(xué)生認(rèn)知的不足造成的，畢竟橢圓是平面問題，而雞蛋是空間問題。三、課后反思促進(jìn)生成教學(xué)的高效性和持久性周恩來曾說過“要讓我寫自己的歷史，我就寫我的錯(cuò)誤?！痹诮虒W(xué)反思中，我們也應(yīng)該向周恩來先生學(xué)習(xí)，要在反思中呈現(xiàn)自己的不足，它是我們教師自我成長(zhǎng)的核心和動(dòng)力。教學(xué)反思是對(duì)課堂教學(xué)的進(jìn)一步思考，從而改善教學(xué)方法，注重學(xué)生成長(zhǎng)，自我提升的過程，它應(yīng)包含：課前預(yù)設(shè)是否需要改進(jìn)？課堂效率如何？學(xué)生是否有所成長(zhǎng)？教學(xué)目標(biāo)是否完成？實(shí)驗(yàn)課是初中化學(xué)教學(xué)和學(xué)習(xí)的重要內(nèi)容，做好化學(xué)實(shí)驗(yàn)課的教學(xué)工作，有利于學(xué)生更好地學(xué)習(xí)和理解化學(xué)概念，提高學(xué)生分析問題和解決問題的能力。因此，在教學(xué)中需要重視采取相應(yīng)的策略，以優(yōu)化初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)課程設(shè)計(jì)，提高教學(xué)質(zhì)量和學(xué)生的學(xué)習(xí)效果。一、初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)課優(yōu)化設(shè)計(jì)的必要性由于受到師資隊(duì)伍、教學(xué)觀念等因素的影響，目前在初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)課程教學(xué)中存在著一些問題與不足，主要表現(xiàn)在以下兩個(gè)方面。這種問題的存在越來越不適應(yīng)初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)教學(xué)的實(shí)際需要，需要采取相應(yīng)的策略對(duì)實(shí)驗(yàn)課進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。1.實(shí)驗(yàn)缺乏主動(dòng)性和創(chuàng)造性。一些老師在化學(xué)實(shí)驗(yàn)教學(xué)中堅(jiān)持以老師為中心的理念，先給學(xué)生以化學(xué)實(shí)驗(yàn)的結(jié)論，然后再講述，并得出這種結(jié)論，化學(xué)實(shí)驗(yàn)課缺乏主動(dòng)性和創(chuàng)造性，忽視了對(duì)學(xué)生能力的培養(yǎng)，不利于學(xué)生實(shí)驗(yàn)操作能力的提高和學(xué)生化學(xué)知識(shí)的掌握。2.忽視培養(yǎng)學(xué)生的動(dòng)手操作能力。盡管大部分化學(xué)任課老師認(rèn)識(shí)到了實(shí)驗(yàn)的重要性，并在教學(xué)中采取了相應(yīng)的措施培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)驗(yàn)操作能力。但是，一部分老師仍然對(duì)這一問題不重視，他們甚至認(rèn)為化學(xué)實(shí)驗(yàn)沒有存在的必要性，使得一些學(xué)生實(shí)驗(yàn)之前不認(rèn)真預(yù)習(xí)，對(duì)基本理論知識(shí)缺乏了解，因而實(shí)驗(yàn)動(dòng)手能力差，缺乏對(duì)實(shí)驗(yàn)的探究能力，難以實(shí)驗(yàn)教學(xué)的目標(biāo)。二、初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)課優(yōu)化設(shè)計(jì)的策略為了應(yīng)對(duì)當(dāng)前初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)教學(xué)中存在的不足，結(jié)合教學(xué)目標(biāo)和教學(xué)要求，筆者認(rèn)為在教學(xué)中可以采取以下策略優(yōu)化實(shí)驗(yàn)課程設(shè)計(jì)。1.引起學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣，讓學(xué)生更好地參與到實(shí)驗(yàn)當(dāng)中。初中學(xué)生具有好奇心強(qiáng)的特點(diǎn)，在化學(xué)實(shí)驗(yàn)中，如果注重采取相應(yīng)的策略，讓學(xué)生觀察化學(xué)實(shí)驗(yàn)中所發(fā)生的的細(xì)微變化，可以引起學(xué)生的好奇心和探究欲望，使學(xué)生更好地參與到實(shí)驗(yàn)當(dāng)中。例如，在如何鑒別二氧化碳這一實(shí)驗(yàn)當(dāng)中，可以采取以下策略：實(shí)驗(yàn)前教師拿出一瓶透明的液體對(duì)學(xué)生說，我給你們變一個(gè)魔術(shù)，往里面吹口氣，里面的液體會(huì)立即變成牛奶。這時(shí)候，學(xué)生會(huì)被老師將要表演的魔術(shù)所吸引，將注意力集中到老師的操作當(dāng)中。接下來老師往石灰水里吹氣，熟石灰與二氧化碳發(fā)生反應(yīng)生成沉淀使得液體的顏色變成“牛奶”。通過這種方式，學(xué)生進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的興趣被激發(fā)起來了，對(duì)這章節(jié)需要掌握的知識(shí)也充滿了渴望。2.注重啟發(fā)講解，模仿實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)。在講解課文內(nèi)容的時(shí)候，要向?qū)W生傳授化學(xué)實(shí)驗(yàn)方法和化學(xué)研究方法，讓學(xué)生從中得到啟發(fā)，然后讓學(xué)生模仿實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，更好地參與到實(shí)驗(yàn)當(dāng)中。例如，在進(jìn)行氣體的實(shí)驗(yàn)室制法實(shí)驗(yàn)的時(shí)候，可以讓學(xué)生思考這個(gè)問題：利用濃氨水、燒堿、生石灰、必要的儀器，如何制取少量氨氣。學(xué)生討論之后，提出兩種方案：將濃氨水放在燒瓶中加熱；將生石灰放在燒瓶中，再用分液漏斗滴加濃氨水。然后再給學(xué)生布置課外作業(yè)：利用一只圓底燒瓶、帶玻璃管的橡皮塞、橡膠管、一粒NaOH固體、少量濃氨水、大燒杯、水，如何做成噴泉實(shí)驗(yàn)？由于學(xué)生學(xué)習(xí)過制取氨氣和噴泉實(shí)驗(yàn)，具有一定的模仿基礎(chǔ)，學(xué)生通過對(duì)這些實(shí)驗(yàn)的模仿設(shè)計(jì)，不僅能夠鞏固所學(xué)知識(shí)，還學(xué)會(huì)了氨氣收集、使少量水進(jìn)入燒瓶的操作，提高了學(xué)生的實(shí)踐操作能力和解決問題的能力。3.講清楚實(shí)驗(yàn)原理，注重培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)驗(yàn)探究能力。任課老師要對(duì)基本原理解釋清楚，在實(shí)驗(yàn)的時(shí)候向?qū)W生提出相應(yīng)的問題，培養(yǎng)學(xué)生的探究能力。例如，學(xué)習(xí)鐵燃燒這一基本內(nèi)容后，學(xué)生知道燃燒之后的產(chǎn)物是四氧化三鐵。實(shí)驗(yàn)前可以向?qū)W生提問：為什么廣口瓶底要加入適量的清水？實(shí)驗(yàn)中學(xué)生觀察到燃燒過程中會(huì)有黑色固體落到瓶底，并由學(xué)習(xí)的理論知識(shí)可以得知這是四氧化三鐵，進(jìn)而可以明白加水是為了防止廣口瓶受熱而發(fā)生爆裂現(xiàn)象。還可以提問：除清水之外還可以用什么來防止廣口瓶受熱不均而出現(xiàn)破裂？通過提問，既可以鞏固學(xué)生所學(xué)理論知識(shí)，還能夠培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)驗(yàn)探究能力。4.采取多種方法，注重培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)驗(yàn)操作能力。要運(yùn)用好教材中的開放性實(shí)驗(yàn)習(xí)題，強(qiáng)調(diào)探究途徑的多樣性，使學(xué)生利用自己的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，從不同層次、側(cè)面、角度、范圍得出不同結(jié)論。例如，利用三種方法鑒別KBr溶液、Na2CO3溶液、鹽酸，事實(shí)上方法遠(yuǎn)遠(yuǎn)不止這三種，要讓學(xué)生充分發(fā)揮自己的能動(dòng)性，嘗試運(yùn)用多種方法進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，并得出最佳實(shí)驗(yàn)方案，提高學(xué)生的實(shí)驗(yàn)操作能力?？傊?，實(shí)驗(yàn)課是初中化學(xué)教學(xué)的重要組成部分，在教學(xué)中需要高度重視。除了采取上述課程優(yōu)化設(shè)計(jì)策略之外，任課老師還需要不斷總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，進(jìn)行探索和創(chuàng)新，嘗試新的教學(xué)方法和手段，學(xué)生也需要加強(qiáng)實(shí)踐操作，注重對(duì)實(shí)驗(yàn)的探尋。只有這樣，才能更好地掌握初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)的操作，提高學(xué)生的動(dòng)手操作能力和初中化學(xué)實(shí)驗(yàn)課程的教學(xué)質(zhì)量。厚膜混合集成電路21、靜念園林好，人間良可辭。厚膜混合集成電41中北大學(xué)微米軸米故術(shù)研覽中心(Q厚薄膜混合集成電路授課教師:何常德(電子與計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)學(xué)院)TelO)E-mail:hechangdegmailMicroandNanoTechnologyResearchCenter,NorthUniversityofChina,Taiyuan,Shanxi,030051中北大學(xué)微米軸米故術(shù)研覽中心(Q42參考書目※《混合微電路技術(shù)手冊(cè)-村料、工藝、設(shè)計(jì)試驗(yàn)和生產(chǎn)》.[美]JamesjLicariLeonardr.Enlow著.電子工業(yè)出版社,2004年※《半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)》.施敏.安徽大學(xué)出版社2005年※《硅集成電路工藝基礎(chǔ)》.關(guān)旭東,北京大學(xué)出版社,2003年參考書目43課程學(xué)習(xí)目的和內(nèi)容★了解什么是混合電路和混合電路工藝技術(shù)研究的主要內(nèi)容;★對(duì)混合電路的發(fā)展歷史、現(xiàn)狀和未來有一個(gè)比較清晰的認(rèn)識(shí)★初步掌握厚膜電路及厚膜工藝、薄膜電路及成膜方法、電阻阻值的調(diào)整方法以及各種組裝方法(包括粘接、互連、清洗、涂覆、真空焙烤、密封和封裝)。對(duì)混合微電路技術(shù)所涉及的