1、 浙江昱輝陽光能源有限公司作 業 指 導 書產品名稱 太陽能級硅片 工 序噴涂作業 作 業 工 序 名 稱Hennecke 厚度分選 頁碼：第3頁 共6頁文件編號Q03-SOP- 版 本A/0生效日期 2009年5月8日作 業 說 明物料名稱 工 具 屏幕上的Job Start Start10.關機步驟： 單擊屏幕上的Stop單擊Job end單擊OFF 依次關閉1-5號電腦（SERVER 、Saw Marks Top 、Geometry/Bow 、Edge System 、Saw Marks Bottom） 關閉主機按鈕 關閉電腦屏幕左邊的總開關11.按照電腦上顯示的分類數據（Measuri

2、ng server -> AVS ->Statistic）填寫在硅片追蹤單上12. 將分選完合格的硅片再次插入插片盒中退回清洗車間再次清洗，分選出的不合格的硅片分類包裝注意事項：1.在上料前，先檢查花籃內是否有破損、超厚的硅片，若有則先將其挑選出來；檢查硅片是否插斜，如有則要放正圖10.當前所用測量參數圖11. 硅片測量結果圖12.所分選的晶棒每一分類的具體數目 浙江昱輝陽光能源有限公司作 業 指 導 書產品名稱 太陽能級硅片 工序厚度分選 作 業 工 序 名 稱 厚度模塊單點校準頁碼：第4頁 共6頁 文件編號 Q03-SOP- 版 本A/0 生效日期 2009年5月8日作 業 說

3、 明 物料名稱 工 具1.單擊屏幕上的Job end，使皮帶停止運轉2.調整尺寸參數為150×150 ，等待擋板調整到位后，打開保護盒3.點擊Measuring server中的Thickness，然后單擊Calibrate，彈出對話框 Kalibrierung Kapazitive Dickenmessung ，在Solwert 欄中填入標準樣片對應點的厚度，并放入標準樣片4.單擊Messung 觀察測量值是否與實際值有偏差，有偏差時單擊進行校準即可。注意事項：1. 厚度模塊單點校準法每周校準一次圖13.Measuring server窗口圖14. Kalibrieren 窗口批準

4、審核編 制修改履歷 浙江昱輝陽光能源有限公司作 業 指 導 書產品名稱 太陽能級硅片 工 序厚度分選 作 業 工 序 名 稱厚度模塊兩點校準頁碼：第5頁 共6頁文件編號Q03-JS-39 版 本A/0生效日期 2009年1月15日作 業 說 明物料名稱工 具 1.單擊屏幕上的Stop 單擊屏幕上的Job end，使皮帶停止運轉2.調整尺寸參數為150×150 ，等待擋板調整到位后，打開保護盒百潔布3.點擊Measuring server中的Thickness，然后單擊Calibrate，彈出對話框 Kalibrierung Kapazitive Dickenmessung ，在Waf

5、er 欄中分別填入兩片標準樣片對應點的厚度。4.激活wafer 1，放入第一片校準片（較薄），單擊Messung 觀察測量值是否與實際值有偏差，有偏差是單擊Kalibrieren 進行校準即可；激活wafer 2，放入第二片校準片（較厚），單擊Messung ，觀察測量值是否與實際值有偏差，有偏差時需單擊Kalibrieren 進行校準。注意事項：1. 厚度模塊兩點校準法一個月校準一次圖13.Measuring server窗口圖14. Kalibrieren 窗口批 準 審 核 編 制修改履歷浙江昱輝陽光能源有限公司 作 業 指 導 書 產品名稱 文件編號 太陽能級硅片 Q03-JS-39 作 業 說 明 1.打開桌面上的 Editor 文件夾，單擊 New 工 序 厚度分選 A/0 作 業 工 序 稱 生效日期 物料名稱 工 具 名 厚度分選機參數設置 頁碼：第 6 頁 共6頁 版 本 2.對應每一檢測項目按照參數要求輸入具體數值 3.數值設定好之后點擊保存即可 圖 15.參數設置輸入窗口 記錄保存年限： 1、 具體檢