1、文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號保密等級制/修訂/日期：校對/日期：審核/日期:核準/日期:發文/日期：受控狀態（蓋章):分發號：會簽部門會簽人員外延制造部芯片制造部人資行政部采購部銷售管理部生管部廠務設備部客服部運營中心技術中心品管部版別日期撰寫者變更要旨Rev。1201885張屏躍新增1。0目的：為創建整潔安全生產環境及規范人員對無塵室的正確操作，確保無塵室環境符合生產條件之要求特制定本規定。2.0 范圍：凡進入無塵室內所有人、機器、物品、原物料、產品等，均屬本規范管制范圍3.0 權責：4。0 定義:5。0 作業程序:5。1 人員管理規定5。1。1不定期對員工進行無塵室的管理規定

2、培訓.5。1。2進入無塵室時必須穿戴自己的無塵衣帽和無塵鞋，不可隨意穿戴他人無塵衣帽和無塵鞋5。1.3外賓及廠商人員如需進入無塵室時，需要經生產部門最高主管許可后并有本司人員陪同下方可進入5。2更衣室管理規定更衣室分為換鞋處、男一更、男二更、女一更、女二更。以下簡述各區域作用，及員工進入無塵車間的流程及規范。5。2.1各區域作用:5.2。1。1換鞋處：為員工放置自己鞋子的區域。5。2。1.2一更：為員工放置自己外套及個人物品的區域。5。2。1。3二更：為員工更換無塵服、無塵鞋的區域。5。2。2更衣室使用流程5。2.2。1換鞋 員工從樓梯口進入廠房,通過設備進口通道,進入換鞋區,在換鞋區門口先脫

3、鞋，并將鞋子拿起放至鞋柜，如圖1箭頭標示步驟1所示.5.2。2.2至一更放置外套等個人物品 從換鞋區進入一更，將外套及其他個人物品放置個人柜子,個人柜子不要放置貴重物品以免丟失，如圖1步驟2。5。2.2。3至二更穿戴無塵服及無塵鞋 如圖1步驟3.圖15。3無塵室內著裝規定5。3。1進入無塵室的人員需穿著合適的無塵服、鞋子等，以免無塵衣服鞋子過小或者過大而讓穿著者感到不適.5.3。2進入無塵室穿戴著裝要求:穿無塵服穿無塵鞋戴頭套拉好拉鏈，要求頭發無外露、頭套塞入衣帽內，拉鏈要拉到頭并貼好魔術貼、無塵服袖貼要綁好、褲腳要塞入無塵鞋筒內，至風淋門口戴口罩、手套，長頭發的要帶發套，防止頭發露出.5。3

4、。3戴口罩、手套步驟要求:先戴口罩，口罩需遮住口鼻，再戴手套，選擇合適自己的手套型號（M、S、L)，從手套開口處拿起手套穿戴,過程中手不要碰到手套的指套部分。圖2 進入無塵室穿戴標準5。4進入風淋室規定5。4。1風淋室入口和出口的門不可同時打開5。4。2空氣吹除未停止時,禁止將風淋室的門打開5。4。3進入無塵室時，每次進入風淋室的人數不得超過4人,出來時限制10人以下5.4。4在風淋室內，須按照規定位置站立，不可移動風口的出風角度5。4。5空氣沐浴時，須雙手舉高，轉動身體并輕拍打無塵服，以利灰塵吹除,無塵服不可接觸墻壁和地板5.4。6進出風淋室時，雙腳須多次踩踏粘塵墊,以利清除鞋底灰塵和異物5

5、.4。7空氣沐浴的吹除時間為 20秒/次，吹除結束3秒后才可開門進入無塵室5。5無塵室內紀律規定5。5.1嚴禁攜帶食品、飲料、零食及私人物品進入無塵室5。5.2進入無塵室的人員不可化濃妝、圖指甲油、留長指甲5.5。3無塵室內嚴禁嬉戲打鬧、奔跑、聚眾聊天、大聲喧鬧，聽音樂、打瞌睡、看報刊雜志等與工作無關的事項。5.5。4剛做完劇烈運動，應靜止10分鐘后方可進入無塵室，飲酒者嚴禁進入無塵室5。5.5戴上手套后嚴禁觸膜臉部或人體任何其他裸露的皮膚，防止油脂污染，如不小心觸摸到須立即更換新手套;5.6無塵室內使用物品規定5.6。1 進入無塵室的任何物品必須經過清潔處理后方可進入5.6。2 原物料進入車

6、間前,必須將外包裝拆除(特殊原因無法拆除外包裝的要將外包裝擦拭干凈），并將外表面擦拭干凈后通過貨淋進入無塵室，避免將污染源帶進無塵室.5。6。3 設備、儀器、備件等大件物品無法通過貨淋的,需要在進入車間前進行外表面清潔，確保干凈后方可進入。5.6。4 未經允許嚴禁在車間內使用個人電腦、手機、U盤、移動硬盤等可存儲設備,嚴禁在車間內使用相機或者手機拍照和攝像。必須使用U盤等存儲設備時需要經過我司IT認證后方可使用.5。6。5 車間內所有的USB接口禁止使用，更不允許用USB口進行充電。5。6.6 未經許可嚴禁將車間內的物品私自帶出。5。6.7 車間內嚴禁明火5。7無塵室內施工規定5.7。1 進入

7、無塵室施工前要向部門主管提出施工申請,取得同意并發放施工證(外來人員用訪客證換取施工證,施工結束后將施工證換回訪客證)后方可進行施工5。7。2 施工人員進入無塵室要按照著裝規定穿好無塵服，并進行必要的安全防護5。7。3 施工必要的工具和材料須按照無塵室內使用物品規定進行必要的清潔處理后方可進入無塵室5.7。4施工房間的設備、地面和墻壁等要做必要的防護措施,確保房間內的設施不會損壞.施工期間需要我司人員現場全程陪同。5。7。5 施工結束后,施工人員要將現場清理干凈，并將施工留下的垃圾一并帶出無塵室.5。7。6 車間內施工如需用到明火,必須要廠務安全部門的人員在場監督.5.8無塵衣、帽、鞋清洗規定

8、5。8。1 無塵衣帽必須按照要求懸掛在衣架上,無塵鞋按照編號放置在鞋架上,不得隨意放置5。8。2 無塵衣帽和無塵鞋每周清洗一次，發現無塵服臟污必須第一時間更換，絕對禁止穿著臟污的無塵服作業。車間只允許穿著同一種標識顏色的無塵服。5。8.3 品保要定期對無塵服進行檢測，包括清洗后的潔凈度是否合格,無塵服的防靜電功能是否達標.5.9無塵室潔凈度規定5。9。1溫濕度監測程序5.9.1.1 測頻率：2次/天（早晚班各一次）5.9.1.2 監測地點：車間正中間位置（勿在排風口附近、人員聚集地）5.9.1.3 記錄員：品保人員5。9。1。4 填寫無塵室環境監測表無塵室溫濕度監控標準：溫度: 22±

9、;2 濕度： 55%RH±10%5.9.2 塵埃粒子監測程序5。9.2。1 量測頻率：2次/天（早晚班各一次)5.9。2.2 量測地點：車間正中間位置（勿在排風口附近、人員聚集地) 5.9。2。3 測量高度:離地1。2米5.9。2。4 測量員及記錄員:品保人員5。9。2。5 測量步驟： 見xxxxx文件5。9。2。6 填寫無塵室環境監測表5.9。3 如廠務系統發生變化，廠務要負責通知品保，品保立即對環境進行監測,確保無異常.5。9.4 無塵室潔凈度定義及監控標準無塵室塵埃粒子監控點及參考標準粒徑廠區監控點潔凈等級規格上限0。5um （單位：pcs/m3)光刻一千級35,200 (1000pcs/ft3）化學清洗一千級352，000 (1000pcs/ft3)蒸鍍一千級352，000 (1000pcs/ft3）晶圓測試一千級352，000 （1000pcs/ft3）DBR一千級352,000 （1000pcs/ft3）研磨一萬級3，520,000 （10，000pcs/ft3）切割一萬級3,520,000 （10，000pcs/ft3)點測分選一萬級3，520,000 （10，000pcs/ft3)目檢一萬級3，520