1、O CHOTEST中圖儀器產品解決方案產品名稱：SJ6000激光干涉儀聯系人：聯系電話：公司地址： 深圳市福田區上梅林凱豐北路利豐大廈 24樓公司網址：深圳市中圖儀器科技有限公司SJ6000激光干涉儀O CHOTEST中圖儀器產品開發背景激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏 度的檢測手段，在高端制造領域應用廣泛。目前，國產激光干涉儀無論在測量精度、最高測速，還是 在最高測速下的分辨率及測量范圍等方面，都與國外的產品有著一定的差距。由于技術上的差距，導 致了國內的激光干涉儀市場一直由國外占領，且形成了價格壟斷。SJ6000激光干涉儀在測量精度、測量

2、速度等方面基本上達到進口品牌的水平，能夠填補我國在中高端測量技術上的空白，打破國外在 價格和技術上的壟斷，推動激光干涉測量技術的普及，降低企業的檢測成本，提升了我國在高精密測 量方面的檢測水平進而提高我國在高端制造領域的整體競爭力。表1國內外典型激光干涉儀性能參數對比Reni shawAPIAgile ntZYGO成都工具 所中圖儀器SJ6000單/雙頻單頻雙頻雙頻雙頻雙頻單頻產生雙頻的方法/塞曼效應塞曼效應聲光調制塞曼效應/最大頻差（MHz）/44201.2/激光穩頻精度（ppm± 0.05ppm± 0.05ppm± 0.02ppm± 0.1ppm&#

3、177; 0.1ppm± 0.05ppm最高測速（mm/s4000/3000510020004000分辨率（nm）1110.31201測量范圍（m）804540402040線性測長精度（ppm）± 0.5± 0.5± 0.4±0.5± 1.5± 0.5針對國產激光干涉儀測量精度低、測量速度小、測量系統操作復雜、測量功能少、檢測過程復雜、 數據不客觀等缺點和不足，以及國外激光干涉儀價格昂貴等因素，我司于2015年在國內首家推出高性能重大產品一一高精密SJ6000激光干涉儀。該產品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、

4、測量范圍大等優點。測量范圍廣： 通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的 測量；在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量， 可以進行機床振動測試與分析， 滾珠絲桿的動態特性分析，-1 -O CHOTEST111鬥SJ6000激光干涉儀驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有極高的精度和效率，而且及時處理數據，為 機床誤差修正提供依據；二、產品圖片產品型號：SJ6000產品名稱：激光干涉儀三、產品描述SJ6000采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技

5、術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速（510分鐘）、高精度（0.05ppm）、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精 度激光干涉信號處理系統得到干涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態分析。使用時，操作者先按照設計的幾何光路安裝相配合的鏡組，幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎設計的，下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖：邁克爾遜干涉儀的基本原理圖邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對應的平面鏡

6、反射回來，這兩束光從而能夠發生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調整干涉臂長度以及改變介質的折射率來實現，從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點的軌跡，因此，要分析某種干涉產生的圖樣，必求出相 干光的光程差位置分布函數。搭建好幾何光路后，在檢定軟件上設定測量的開始、結束位置，點擊“開始”按鈕，軟件界面會 實時顯示測量所得動態數據； 掃描結束后，操作者可通過對測量所得數據曲線進行分析，得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數。并根據系統內置的檢測標準對被測件的各項參數進行合格判 定，檢測結束后自動生成檢定結果。四、功能特點1. 應用范圍廣：可實現對線性、角度、直線度、垂直度、平面度

7、等幾何量的檢測；在相關軟件的配合下,還可以對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精-4 -SJ6000激光干涉儀O CHOTEST度等動態參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等。2. 測量精度高：以激光干涉技術為核心， 測量結果可達納米級； 采用高精度環境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩頻控制系統，保證激光長期穩頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩定。3. 采用先進的PSD技術（光電位置敏感檢測器，可將光

8、敏面上的光點位置轉化為電信號），光路調節迅速、方便。一次安裝能測量 6項精度指標包括線性定位誤差、XX及YY兩個方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動角。4. 內置各種類國標（GB ）、ISO （國際）、BS （英制）、美標、DIN （德標）、JIS （日標）等機床檢驗標 準。具有動態測量分析功能，能夠實時采集、顯示數據，可進行快速測量分析。5. 安裝方便：基本重量為 15kg，簡單便攜；云臺自帶三維水平校正儀，安裝調光方便；斷光無影響，方 便導軌的安裝調試；6. 界面友好，更符合中國用戶操作習慣；7. 測量記錄采用集中式數據庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢

9、定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；8. 可從數據庫中選定多條記錄成批打印檢定記錄或者檢定證書；9. 可將檢定數據輸出到 Word、Excel、AutoCAD （選配）文檔；10. 具有數據備份和還原數據庫功能；11. 輸出多種 Word格式報表，并支持完全的自定義報表，定制檢定記錄報表和檢定證書的格式，特別適合國內計量機構對報表方面的要求；五、技術指標1. 線性測長精度： ±）.5ppm（040 C ）激光穩頻精度：0.05ppm-5 -O CHOTEST111鬥譏'電SJ6000激光干涉儀2. 分辨率：0.001um3. 最大測量速度：4.0m/S ;4. 最高采樣頻率

10、：0-40m5. 預熱時間：510分鐘6. 環境補償精度：空氣壓力：±1.0mBar，空氣濕度：±5%，材料溫度：±0.1 C7. 基本重量（含三腳架，包裝）：15Kg六、檢測標準激光干涉儀測量分析軟件支持以下機床檢驗標準:ISO230-2老版國際標準ISO230-1997新版國際標準ANSI B5.54美國國家標準ASME B89.1.12M美國機械工程師協會標準NMTBA美國機床協會標準BS 3800英國機床標準BS 4656英國三測機標準JIS B6330日本國家標準GB 17421-2000中國國家標準VDI 3441德國機床標準VDI 2617德國三測機

11、標準E60-099法國國家標準-6 -SJ6000激光干涉儀O CHOTEST中圖儀器七、產品配置清單1. 標準配置：1）SJ6000 主機 1 臺；2）環境補償模塊1臺；3）線性測量光學鏡組1套；4）測量軟件1套；5）便攜式筆記本電腦1臺6）鋁合金儀器配件箱1個；7）產品使用說明書1套；8）產品合格證、保修卡 1套;9）免費保修1年。2、選配鏡組：1）線性測量光學鏡組-7 -SJ6000激光干涉儀-# -SJ6000激光干涉儀固定角誰反射說-# -SJ6000激光干涉儀-8 -SJ6000激光干涉儀2）線性測量光學鏡組-# -SJ6000激光干涉儀O CHOTEST中圖儀器-9 -SJ6000激光干涉儀-# -SJ6000激光干涉儀-# -SJ6000激光干涉儀-# -SJ6000激光干涉儀3）直線度測量