1、COMPEQCOMPEQSPCSPC執行辦法訓練教材執行辦法訓練教材1COMPEQCOMPEQ經由制程管制系統的執行，可隨時監控制程是否穩定，并經由統計手法的活用，降低制程中的變異，提升制程能力目的目的2CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 相關定義相關定義1.SPC為Statistic Process Control之縮寫，統計制程管制2.CaCapability of Accuracy ，準確度或正確度，用以衡 量制程平均值與規格中心值偏差的程度，評價等級 Ca越小越好。3. CpCapability of Precision，精密度，用以衡量制程標準 差與規格公差比之程度

2、，即制程符合規格之能力， 評價等級，Cp越大越好。4. Cpk綜合能力指標，用以衡量制程之實際積效，評價等 級，Cpk越大越好。3CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 相關定義相關定義5. RFC: Response Flow Checklist，回應流程查檢表 用以使不穩定的制程回復成穩定狀態的工具 當制程管制處于不穩定狀態時，透過一系列 的診斷確認程序，以判定制程不穩定的原因 并對每個可能原因，列出解決對策，最後驗 證原因已確實解決，制程已回復至穩定狀態。4CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ相關定義相關定義6. Station Monitor用以監控制程狀

3、態的工具。Station monitor之管制特性不受產品種類、規格的影響 完全反映制程的品質，制程中Station monitor範圍 主要為制程之Output；如S/M濕種，氧化線weight gain。7. In-line monitor則為一個製程的Input參數。如：SPS之濃度、溫度、Cu2+含量等屬於In-line Monitor，是目前PCS監控範圍。5CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ作業流程圖作業流程圖 作業流程圖見附件流程圖6CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明內容說明1.制程制程Station Monitor項目的變更項目的變更

4、 1-1 新增 工程單位依下列原則考慮建立管制項目，經核準後實施 (1)工程理論上探討認為需要建立管制項目者 (2)重要參數未被列入控制者 (3)經常發生品質問題之項目 (4)客戶特別要求之項目 (5)新制程之重要控制參數新增項目由工程單位提出“Station Monitor新增申請說明表”同時修改“制程Station Monitor項目匯整表“，并提出新管制項目的”管制圖履歷表“。7CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明內容說明1-2 刪除 各制程管制項目欲刪除，應考慮下列幾項 (1)是否是因無此產品而刪除相關之管制項目若確定 已無生產此種產品則可刪除相關之管制項目。

5、(2)此項管制項目是否屬于可靠度Monitor，原則上可 靠度Monitor不應刪除。 (3)此項管制項目若過去三個月有超過管制界限或規 格界限之情形，則不應刪除此項管制項目。 (4)過去3個月計算Cpk值均應大于1.33，此項管制項目 可考慮刪除。 (5)若該制程或下制程有其它管制項目可達相同監控 目的者，可考慮刪除8CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明內容說明1-2 刪除 (6)原則上，制程Output之管制項目不應刪除。決定刪除之管制項目，應由現場單位填具 ”製程管制項目變更申請單” 說明刪除項目及理由，並檢附相關資料，經部門主管審核，並由J00 PE以工程理論說

6、明並判斷是否可刪除，再經工程、品保單位會簽，Q00核準後刪除該管制項目。J00 PE應同時更新相關POR、SOP及製程Station Monitor項目彙整表或產品Station Monitor項目彙整表。 9CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明1-3 加嚴當在管制圖上連續5點(批)中有2點(批)超出管制界線者，應於QIS發出通知後，加嚴(頻率增加或抽樣量增加)檢驗；由J00提出管制項目變更申請單並以工程理論上判斷是否有加嚴之需求，若認定有加嚴之需求，則需修改該項之管制圖履歷表。10CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明內容說明1-4 減量每月月初

7、QIS檢討前30點資料，並發出彙整之月報表，若沒有超出管制界線的情形，且Cpk1.33，可由PD發起進行進一步之減量分析，並由現場提出管制項目變更申請單。各製程管制項目欲減少抽樣量或抽樣頻率時，應考慮下列事項過去3個月是否有超出管制界線之情形，若有此情形則不適宜減量。 11CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明2.制程加嚴減量程序實施原則制程加嚴減量程序實施原則 對制程加嚴減量之原則如下，在變更同時應由相關單 位提出管制項目變更申請單及修改管制圖履歷表。 加嚴加嚴1次/4hr 1次/1班 1次/1天 1次/1週 1次/2週 減量減量當管制頻率為每批低于4小時即執行一次取樣

8、，則不執行加嚴程序，當發現有超出規格界限之情形，應依異常處理相關規範處理，當發現有超出管制界限之情形，則有現場填據管制圖異常回復單12CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內容說明內容說明 3. 3.管制圖履歷表中抽樣頻率即數量之決定管制圖履歷表中抽樣頻率即數量之決定 (1)依重要藥液分析頻率 (2)依重要藥液換槽頻率 (3)依客戶要求 (4)依品質重要程度 (5)依管理要求 (6)依制程能力優劣（變異大者抽樣頻率大于變異小者） (7)依相關單位決議 原則上，若該制程由不同機型之機臺，則每一機型都要有一張管制圖，不能以一張管制圖代表全部機臺。13CC Q90 CC Q90 CO

9、MPEQCOMPEQ 內容說明內容說明 不定期執行時機主要考量當物料更換時 當藥液換槽時 停機後或其他特殊狀況，應考量這些變動對製程之衝擊，並以此管制項目之測試確定製程在管制狀態下。 原則上，若該製程有不同機型之機臺，則每一機型至少都要有一張管制圖，不能以一張管制圖來代表全部機臺。所有類似的Noisy Factor均需經4功能(PE、PD、生產 單位90、PEE)考量並決定管制範圍，並於管制圖履歷表中提出選定理由14CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明內容說明4. 4.管制圖之制作管制圖之制作4-1管制類型管制圖依取樣數量多寡及資料類型分為計量值和計數值兩類： 計量值：

10、 X - R(每組樣本數10 個) X - S(每組樣本數10 個) X - Rm(每組樣本數1 個) 15CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明內容說明4-2制程能力分析 X = (X1+X2+X3+Xn)/n R = (R1+R2+R3Rn)/n Cp = （USL-LSL)/6S (雙邊規格時) Cp = (USL - 製程平均值) / 3 S 或(製程平均值 - LSL) / 3 s (單邊規格時) Ca = (平均值 規格中心) / (USL-LSL) / 2) ( (不要取絕對值不要取絕對值) ) Cpk = Cp * (1-Ca) 112nXXSnii16C

11、C Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明內容說明4-2制程能力分析 R = 當次抽樣之最大值 最小值 (若每次抽樣一個時，則取R= |後一個值-前一個值| ) 17CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明內容說明4-3管制圖之畫法 (1)管制圖上下管制界限及中心線計算公式(2)數值表 類別X-RX-X-Rm平均值UCL=X+A2RLCL=X-A2RUCL=X+A1LCL=X-A1UCL=X+E2RmLCL=X-E2Rm全距UCL=D4RLCL=D3RUCL=B4LCL=B3UCL=D4RmLCL=D3Rm樣本數(n)A2A1B3B4D3D4E221 . 8

12、83. 7603. 26703. 2672. 6631 . 0232. 39402. 56802. 5751 . 77240. 7291 . 8802. 26502. 2821 . 45750. 5771 . 56902. 08902. 1 1 51 . 2960. 4831 . 410. 031 . 9702. 0041 . 1 8470. 41 91 . 2770. 1 1 81 . 8820. 0761 . 9241 . 1 0980. 3731 . 1 750. 1 851 . 81 50. 1 361 . 8641 . 05490. 3371 . 0940. 2390. 2390.

13、1 841 . 81 61 . 011 00. 3081 . 0280. 2840. 2840. 2231 . 7770. 97518CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明內容說明(3) 管制圖上下管制界限用紅色虛線表示，管制中心線用藍色實線表示。(4)有點超出界限時需加以圈註。並由現場單位填寫“管制圖異常(OOC)回覆單”，說明處置方式。(5)管制界限之檢討：當每張管制圖點繪滿30點時(即30個抽樣值)，應重新以此30點計算管制界限，並以此管制界限作為下一張管制圖之管制界限。(6)當製程參數或原物料或操作方法有變更時，其管制界限皆需重新計算(2) 19CC Q90 CC

14、 Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明內容說明4-4管制圖之判圖只要符管制圖判圖原則1，2，5，6就判定制程處于不穩定狀態 1.有點超出管制界限 2.連續9點在管制中心線的同一邊 5.連續三點中兩點超過同一邊2個標準偏差以上 6.連續五點中四點超出同一邊一個標準偏差以上 20CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ內容說明內容說明 4-5管制圖異常處理 利用管制圖的判圖原則，以判定制程是否處于穩定狀態當有任何一個法則符合時，即判定制程處于不穩定狀態，需依下列程序處理 (1)當有點超出規格界限時Test1，生產線必須停線，制 程上依RFC之處理程序采取必要措施，使制程回復 正常，

15、產品處置方式依MRB與DRB處理并填寫管制 圖異常回復單。 (2)當制程管制特性符合Test2，5，6其中之一時，責任 單位需注意制程狀態，必要時采取RFC之處理程序 處理，時制程管制特性回復正常。21CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內容說明內容說明4-5 制程改善 未達到目標值時，各權責單位需作原因分析并提改善對策，Q90應負責要求各單位針對制程能力異常部分執行檢討即及改善對策之執行。當管制項目Ca0.25時，現場單位需作原因分析并提改善對策。當管制項目Ca0.25但Cpk1.33時，工程單位需作異常原因分析并提出改善對策當CPK數據Ca1.33 但out掉baseli

16、ne時，工程單位需作異常原因分析并提出改善對策22CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內容說明（內容說明（RFC)RFC)7 .RFC（Respone Flow Checklist） 各現場單位應建立RFC，以供當管制項目超出管制界限或規格界限時作業人員依循并記錄，RFC處理程序流程要能含蓋超出管制界限及超出規格界限之異常處理。（有可能此兩者之處理是一樣的）7-1RFC建立步驟 步驟1利用手法工具如魚骨圖、WnSn或腦力 激蕩方式找出所有可能之原因。23CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內容說明（內容說明（RFC)RFC)步驟2對所有可能原因建立一個“可能

17、發生/容易減視”分析表， 決定解決的順序。 其中在“可能發生”之得分判定上1分表示原因非常 可能發生，5分表示非常不可能發生。 在“容易檢視”之得分判定上1分表示此原因很容易檢 查出來，5分表示在檢查上很困難。步驟3將可能發生之得分與容易檢視之得分相加并排列，分 數最低排在最前面 。步驟4依各順序列出可能原因步驟5針對可能原因提出補救措施(最有效的排在最前面）24CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內容說明（內容說明（RFC)RFC)步驟2對所有可能原因建立一個“可能發生/容易減視”分析表， 決定解決的順序。 其中在“可能發生”之得分判定上1分表示原因非常 可能發生，5分表示

18、非常不可能發生。 在“容易檢視”之得分判定上1分表示此原因很容易檢 查出來，5分表示在檢查上很困難。步驟3將可能發生之得分與容易檢視之得分相加并排列，分 數最低排在最前面 。步驟4依各順序列出可能原因步驟5針對可能原因提出補救措施(最有效的排在最前面）25CC Q90 CC Q90 COMPEQCOMPEQ 內容說明（內容說明（RFC)RFC)步驟2對所有可能原因建立一個“可能發生/容易減視”分析表， 決定解決的順序。 其中在“可能發生”之得分判定上1分表示原因非常 可能發生，5分表示非常不可能發生。 在“容易檢視”之得分判定上1分表示此原因很容易檢 查出來，5分表示在檢查上很困難。步驟3將可能發生之得