1、1/21 傳感器與檢測技術傳感器與檢測技術 Sensor and Detection technology 朱啟兵朱啟兵 2/21 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 一、傳感器的特性與指標一、傳感器的特性與指標 二、改善傳感器性能的技術途徑二、改善傳感器性能的技術途徑 三、傳感器的合理選用三、傳感器的合理選用 四、傳感器的標定四、傳感器的標定 1.1 檢測技術的基本概念檢測技術的基本概念 一、測量的基本概念及分類一、測量的基本概念及分類 二、測量誤差分析二、測量誤差分析 1.2傳感器特性與標定傳感器特性與標定 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 3/21

2、一、測量的基本概念及分類 (1)測量：以確定客觀事物的量值為目的，借助于一定的工具和設 備，用比較的方法取得被測量數據的過程，包括數據處理、顯示 或記錄等步驟。 (2)檢測：利用傳感器把被測信息檢取出來，并轉換成測量儀表或 儀器所能接收的信號，再進行測量以確定量值的過程；或轉換成 執行器所能接收的信號，實現對被測物理量的控制。 (3)測試：帶有試驗性質的檢測，在特定情況下，檢測信號可由模 擬被測物理量的信號發生裝置產生。 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 4/21 1.按測量過程的特點分類可分為直接測量和間接測量。 2.按測量儀表是否與被測物體相接觸分類可分為接觸測量法和

3、非接觸測量法。 3.按測量對象的特點分類可分為靜態測量法和動態測量法。 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 5/21 1.按測量過程的特點分類可分為直接測量和間接測量。 (1)直接測量:直接測量是針對被測量選用專用儀表進行測量，直接獲 取被測量值的過程，如用溫度表測溫度和用電位差計測電動勢等。 1)偏差法。 2)零位法。 3)微差法。 (2)間接測量：用直接測量法測得與被測量有確切函數關系的一些物 理量，然后通過計算求得被測量值的過程稱為間接測量。 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 6/21 2.按測量儀表是否與被測物體相接觸分類可分為接觸測量法和 非接觸

4、測量法。 (1)接觸測量法：檢測儀表的傳感器與被測對象直接接觸，承受被測 參數的作用，感受其變化，從而獲得信號，并測量其信號大小的方 法，稱接觸測量法。 (2)非接觸測量法：檢測儀表的傳感器不與被測對象直接接觸，而是 間接承受被測參數的作用，感受其變化，從而獲得信號，以達到測 量目的的方法，稱非接觸測量法。 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 7/21 3.按測量對象的特點分類可分為靜態測量法和動態測量法。 (1)靜態測量法:靜態測量方法是指被測對象處于穩定情況下的測量。 (2)動態測量法:動態測量是指在被測對象處于不穩定的情況下進行的 測量。 第第1章章 傳感器與檢測技術基

5、礎傳感器與檢測技術基礎 8/21 二、測量誤差分析 1.按誤差的表示方法分類可分為絕對誤差和相對誤差。 2.按誤差的性質分類可分為系統誤差、隨機誤差和粗大誤差。 3.按被測量與時間關系分類可分為靜態誤差和動態誤差。 誤差分類誤差分類 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 9/21 精度 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 10/21 (1)絕對誤差：某被測量的儀表示值x與其約定真值A0的差值，稱為 絕對誤差x，即 0 xxA （2）示值誤差：由于一般測量時，無法獲得真值，用實際值A 代替， x與A的差值 xxA 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術

6、基礎 11/21 (3)相對誤差：即百分比誤差，分為實際相對誤差、示值(標稱)相對 誤差和滿度(引用)相對誤差。 1)實際相對誤差等于絕對誤差與實際值A的百分比，用A表示，即 2)示值相對誤差等于絕對誤差與示值x的百分比，用x表示，即 3)滿度（引用）相對誤差等于絕對誤差與儀表滿量程值yFS的百分比， 用n表示，即 100% A x A 100% x x x 100% n FS x y 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 12/21 當x取儀表的最大絕對誤差值m時，引用誤差常被用來確 定儀表的準確度（Degree of Accuracy）等級S，即 m 100 FS S y

7、我國的模擬儀表有下列七種等級，準確度等級的數值越小，儀表的就越昂貴。 表1-1 儀表的準確度等級和基本誤差 準確度 等級 0.10.20.51.01.52.55.0 基本誤 差 0.1 % 0.2 % 0.5 % 1.0 % 1.5 % 2.5 % 5.0 % 儀表的準確度與“精度” 舉例，在正常情況下，用0.5級、量程為100溫度表來測量溫 度時，可能產生的最大絕對誤差為： m（0.5%）Am（0.5%100）0.5 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 13/21 例1-1 某壓力表準確度為2.5級，量程為01.5MPa，求：1） 可能出現的最大滿度相對誤差n。2）可能出現

8、的最大絕對誤差 m為多少kPa？3）測量結果顯示為0.70MPa時，可能出現的最 大示值相對誤差x。 例1-2現有準確度為0.5級的0300的和準確度為1.0級的 0100的兩個溫度計，要測量80的溫度，試問采用哪一 個溫度計好？ 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 14/21 圖示為一個圖示為一個三位半三位半數字顯示電壓表數字顯示電壓表 1 1量程量程 2 2分辨力分辨力 3 3讀數讀數 4 4示值相對誤差示值相對誤差 5 5滿度相對誤差滿度相對誤差 200200； 0.10.1； 126.5 126.5 ； 0.10.1126.5 126.5 0.08%0.08% ； 0

9、.10.1200 = 200 = 0.050.05% % 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 15/21 )( 21 1 mn n i i 22 2 2 1mn 若第i個環節的滿度相對誤差為i時，則輸出端的滿度相對誤差m與i 之間的關系可用以下兩種方法來確定： （1）絕對值合成法（誤差的估計偏大） （2）方均根合成法 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 16/21 2.按誤差的性質分類可分為系統誤差、隨機誤差和粗大誤差。 (1)系統誤差：在相同測量條件下多次測量同一物理量，其誤差大小 和符號保持恒定或按某一確定規律變化，此類誤差稱作系統誤差。 (2)隨機誤差

10、：在相同測量條件下多次測量同一物理量，其誤差沒有 固定的大小和符號，呈無規律的隨機性，此類誤差稱為隨機誤差。 (3)粗大誤差：明顯偏離約定真值的誤差稱為粗大誤差。 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 17/21 3.按被測量與時間關系分類可分為靜態誤差和動態誤差。 (1)靜態誤差：被測量不隨時間變化時測得的測量誤差稱為靜態誤差。 (2)動態誤差：被測量在隨時間變化過程中所測得的測量誤差稱為動 態誤差。 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 18/21 隨機誤差的處理 1.隨機誤差的特性 2.隨機誤差的計算方法國內外廣泛采用標準誤差(方均根誤差) 來評定測量隨機

11、誤差的大小。 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 19/21 1.隨機誤差的特性 (1)對稱性：絕對值出現正誤差和負誤差的概率相等。 圖1-1正態分布曲線 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 20/21 (2)單峰性：只有一個峰值，峰值就是概率密度函數的極大值。(3)互 抵性：對一系列等精度的n次測量，當n+時，各次測量的隨機誤 差i(i=1，2，n)的代數和趨于零。 (4)有界性：絕對值很大的誤差出現的概率趨近于零，即誤差的絕對 值實際上不會超過某個限值。 表1-1置信系數與置信概率的對應關系 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 21/2

12、1 2.隨機誤差的計算方法國內外廣泛采用標準誤差(方均根誤差) 來評定測量隨機誤差的大小。 標準法貝塞爾公式：設n次等精度測量的測得值為x1,x2,xn。 1)測得值的算術平均值為 2)各測得值xi的剩余誤差(殘差)vi為 3)標準誤差為 1 1 n i i xx n ii vxx 2 1 1 n i i v n 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 22/21 系統誤差的處理 1.系統誤差的分類及產生原因產生系統誤差的原因主要有：檢 測所用傳感器和儀表本身性能有限；檢測系統安裝、布置及調整 不當；測量者視覺原因；測量環境條件(如溫度和壓力等)變化； 測量方法不完善；測量依據的

13、理論不完善等。 2.系統誤差的發現 3.消除或減弱系統誤差的測量方法 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 23/21 1.系統誤差的分類及產生原因 (1)已定系差:指在測量過程中誤差大小和符號都不變的系差。 (2)未定系差:在測量過程中大小和符號變化不定，或按一定規律變化 的系差。 1)線性變化(或累進變化)系差。 2)周期性變化的系差。 3)復雜規律變化的系差。 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 24/21 2.系統誤差的發現 (1)恒定系差的檢驗:恒定系差不影響剩余誤差的計算，即不影響測量 結果的精密度，在處理隨機誤差時不可能發現。 (2)未定系差的發

14、現 1)剩余誤差觀察法。 2)馬利科夫判據用于檢查線性系差。 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 25/21 3.消除或減弱系統誤差的測量方法 w誤差源消除 w修正值法 w補償法 w零位式測量 w對照法。 。 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 26/21 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 一、傳感器的特性與指標一、傳感器的特性與指標 二、改善傳感器性能的技術途徑二、改善傳感器性能的技術途徑 三、傳感器的合理選用三、傳感器的合理選用 四、傳感器的標定四、傳感器的標定 1.2傳感器特性與標定傳感器特性與標定 27/21 第第1章章 傳感器與

15、檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 一、傳感器的特性與指標一、傳感器的特性與指標 基本特性：輸入輸出關系特性基本特性：輸入輸出關系特性 不失真測試條件不失真測試條件 0 00 0 ( )() () () () j t y tA x tt Y j H jA e X j t t A A x(t)x(t) 靜態特性、動態特性靜態特性、動態特性 該系統的輸出該系統的輸出 波形與輸入信號的波形與輸入信號的 波形精確地一致，波形精確地一致， 只是幅值放大了只是幅值放大了A A0 0倍，倍， 在時間上延遲了在時間上延遲了t t0 0而而 已。這種情況下，已。這種情況下， 認為測試系統具有認為測試系統具有 不失

16、真的特性。不失真的特性。 28/21 1.靜態特性靜態特性 靜態特性：檢測系統在被測量處于靜態特性：檢測系統在被測量處于穩定狀態穩定狀態時的時的輸入輸出關系輸入輸出關系 非線性非線性 傳感器傳感器輸入輸入 x輸出輸出 y = f(x) 溫溫 度度 濕濕 度度 壓壓 力力 沖沖 擊擊 振振 動動 磁磁 場場 電電 場場 摩摩 擦擦 間間 隙隙 松松 動動 遲遲 滯滯 蠕蠕 變變 變變 形形 老老 化化 外界干擾外界干擾 兩個因素：兩個因素： 隨機干擾和非線性隨機干擾和非線性 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 29/21 靜態特性指標靜態特性指標 1）基本功能特性）基本功能特性

17、 - 決定系統的工作能力決定系統的工作能力 測量范圍（測量范圍（Range）：系統實現不失真測量時的最大輸入信號范圍）：系統實現不失真測量時的最大輸入信號范圍 上限值、下限值上限值、下限值 分辨力（分辨力（Resolution） 動態范圍（動態范圍（Dynamic Range） 跨度與絕對分辨力之比跨度與絕對分辨力之比 - 系統對輸入信號大小的綜合檢測能力系統對輸入信號大小的綜合檢測能力 跨度（跨度（Span）：）：- 測量范圍上限與下限的算術差值測量范圍上限與下限的算術差值 線性檢測裝置線性檢測裝置 - 常數；常數；非線性檢測裝置非線性檢測裝置 - 變量變量 靈敏度（靈敏度（Sensitiv

18、ity）：系統輸出信號的變化相對于輸入信號變化）：系統輸出信號的變化相對于輸入信號變化 的比值的比值 k =dy/dx 能使系統輸出發生變化所對應的最小的輸入變化量能使系統輸出發生變化所對應的最小的輸入變化量 絕對值絕對值 - ；相對值；相對值 - 滿刻度（滿刻度（Full Scale）的百分比）的百分比 minmax xx 動態范圍 minmax lg20 xx 動態范圍 分貝數表示分貝數表示 200200800800 C C、 5mm5mm 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 30/21 靜態特性指標靜態特性指標 2）精度特性）精度特性 - 決定系統在什么程度上完成所需的

19、檢測決定系統在什么程度上完成所需的檢測 線性度（線性度（Linearity）：輸入輸出曲線與理想直線）：輸入輸出曲線與理想直線 的偏離程度的偏離程度 相對誤差相對誤差%100 . max SF L y L e max L .SF y 輸出值與理想直線的最大偏差值輸出值與理想直線的最大偏差值 理論滿量程輸出值理論滿量程輸出值 理想直線：理想直線： 表達表達: x y 擬合直線擬合直線 一般不存在或很難獲得準確結果一般不存在或很難獲得準確結果 利用測量數據，通過計算獲得利用測量數據，通過計算獲得 理想檢測系統理想檢測系統 - 輸出與輸入輸出與輸入 - 比例關系：比例關系：y(t)=kx(t) 實際

20、檢測裝置實際檢測裝置 - 輸出與輸入不是理性的線性關系輸出與輸入不是理性的線性關系 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 31/21 獲取擬合直線方法：獲取擬合直線方法： (c) 最小二乘法最小二乘法： 計算：有計算：有n個測量數據個測量數據: (x1,y1), (x2,y2), , (xn,yn)， (n2) 殘差：殘差： i = yi (a + b xi) 殘差平方和最小：殘差平方和最小： 2i=min 22 )( ii iiii xxn yxyxn b 22 2 )( ii iiiii xxn yxxyx a (a) 端點連線法端點連線法 x y (b) 最佳直線法最佳直

21、線法 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 32/21 回程誤差回程誤差（Hysteresis） 正向（輸入量增大）和反向（輸入量減小）行程期間正向（輸入量增大）和反向（輸入量減小）行程期間 - - 檢測裝置輸入檢測裝置輸入 輸出曲線的不重合程度。輸出曲線的不重合程度。 %100 max FS H h y 表達：表達： max H .SF y 正反行程輸出的最大差值正反行程輸出的最大差值 理論滿量程輸出值理論滿量程輸出值 產生：檢測裝置中的彈性元件、機械傳動中的產生：檢測裝置中的彈性元件、機械傳動中的 間隙和內摩擦、磁性材料的磁滯。間隙和內摩擦、磁性材料的磁滯。 第第1章章 傳

22、感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 33/21 重復性（重復性（Repeatability） 同一條件下，對同一被測量，同一方向，多次重復測量，差同一條件下，對同一被測量，同一方向，多次重復測量，差 異程度。反映測量數據的分散性異程度。反映測量數據的分散性-隨機誤差隨機誤差 重復性是檢測系統最基本的技術指標，是其他各項指標的重復性是檢測系統最基本的技術指標，是其他各項指標的 前提和保證前提和保證 1 )( 1 2 n yy n i i yi-測量輸出值，測量輸出值，i=1,2,n y-輸出值的平均值輸出值的平均值 . . 100% R F S a e y a 置信系數置信系數 標準差標準差

23、 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 34/21 閾值（閾值（Threshold） 當一個傳感器的輸入從零開始極緩慢地增加，只有在達到了某一最當一個傳感器的輸入從零開始極緩慢地增加，只有在達到了某一最 小值后，才測得出輸出變化，這個最小值就稱為傳感器的閾值小值后，才測得出輸出變化，這個最小值就稱為傳感器的閾值 。 兩種情況兩種情況 （1）死區（非線性）死區（非線性） （2）噪聲電平（噪聲）噪聲電平（噪聲） 穩定性（穩定性（Stability ） 傳感器在規定的時間內仍能保持不超過允許誤差的能力。傳感器在規定的時間內仍能保持不超過允許誤差的能力。 漂移（漂移（Drift) 輸入

24、不變的情況下，傳感器隨時間（溫度）的變化趨勢。漂移包括輸入不變的情況下，傳感器隨時間（溫度）的變化趨勢。漂移包括 零點漂移與靈敏度漂移。零點漂移與靈敏度漂移。 靜態誤差靜態誤差精度精度（Precision） 靜態測量時，測量值與真實值的偏離程度。靜態測量時，測量值與真實值的偏離程度。 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 35/21 2.動態特性動態特性 傳感器在傳感器在被測量隨時間變化被測量隨時間變化的條件下的條件下輸入輸出關系。輸入輸出關系。 研究工具：研究工具： 頻率響應函數頻率響應函數 標準信號：標準信號： 正弦信號正弦信號 階躍信號階躍信號 01 1 1 01 1 1

25、 )( )( )( asasasa bsbsbsb sX sY sH n n n n m m m m 01 1 1 01 1 1 )( )( )( ajajaja bjbjbjb jX jY jW n n n n m m m m 0n 1n 2n 零階傳感器； 一階傳感器； 二階傳感器 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 36/21 （1）0階傳感器階傳感器 電位器式電位器式 傳感器、傳感器、 高階系統高階系統 在低頻輸在低頻輸 入時的簡入時的簡 化化o U Ux L 微分方程：微分方程： xbya 00 Kxx a b y 0 0 幅頻特性：幅頻特性：KA)(相頻特性：相頻

26、特性： 0)( 特點特點： a) 屬于靜態環節：屬于靜態環節： c) 與時間無關，與頻率無關，無滯后，與時間無關，與頻率無關，無滯后，無慣性無慣性 理想環節理想環節 00 /abK 靜態靈敏度系數靜態靈敏度系數 b) 輸出輸出 輸入輸入比例環節比例環節 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 37/21 （2）1階傳感器階傳感器 微分方程：微分方程：xbya dt dy a 001 x a b y dt dy a a 0 0 0 1 01 /aa 時間常數時間常數 靜態靈敏度靜態靈敏度 00 /abK 幅頻特性：幅頻特性： 相頻特性：相頻特性： 1)(/)( 2 KA )arct

27、an()( 1/ A( )=K零階零階 ( )=0無滯后無滯后 1/ 失真失真 A( ) ( ) 幅值衰減幅值衰減 相位滯后相位滯后 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 38/21 （2）1階傳感器階傳感器 輸入階躍信號：輸入階躍信號： 0 00 )( t t A tx )1 ( / t eKAy / / )1 ( t t d e KA eKAKA e 特點特點： 動態響應特性主要取決于時間常數動態響應特性主要取決于時間常數 ； 小小階躍響應迅速階躍響應迅速截止頻率高截止頻率高 慣性小慣性小 慣性環節慣性環節 實例：實例： bxky dt dy c運動方程：運動方程： kc/

28、 時間常數：時間常數： kbK/ 靜態靈敏度系數：靜態靈敏度系數： 帶阻尼彈簧測力傳感器帶阻尼彈簧測力傳感器 k-彈簧剛度彈簧剛度 c-阻尼系數阻尼系數 t=5 ：ed=0.7%； 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 39/21 （3）2階傳感器階傳感器 微分方程：微分方程： xbya dt dy a dx yd a 001 2 2 2 20 /aa n 固有頻率固有頻率 阻尼比阻尼比 201 2/aaa 幅頻特性：幅頻特性： 相頻特性：相頻特性： 222 /2)/(1 )( nn K A )/(1 /2 arctan)( 2 n n / n1A( ) K， ( ) 0 近似

29、零階近似零階 較小時較小時 ：A( )隨隨 出現較大波動出現較大波動 0.7時時：A( )平坦段最寬，平坦段最寬， ( )接近斜直線接近斜直線 A( )0.3 當當 =0時，時，A( n) = , 附近諧振附近諧振 較大時較大時： 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 40/21 （3）2階傳感器階傳感器 輸入輸入 0 00 )( t t A tx 當當 1時時： 應用實例應用實例： Fky dt dy c dt yd m 2 2 當當 1時時： 當當 =1時時： 無過沖，無震蕩，無過沖，無震蕩，過阻尼過阻尼 曲線上升慢，響應速度低曲線上升慢，響應速度低 產生衰減震蕩產生衰減震

30、蕩 欠阻尼欠阻尼 曲線上升塊，響應速度高曲線上升塊，響應速度高 臨界阻尼臨界阻尼 彈簧彈簧(k) 阻尼阻尼(c) 質量質量(m) 壓電式動態測力傳感器壓電式動態測力傳感器 靜態靈敏度系數：靜態靈敏度系數： 運動微分方程：運動微分方程： mkaa n / 20 固有頻率固有頻率: 阻尼比阻尼比:kmcaaa2/2/ 201 一般取：一般取： =0.60.8 kK 階躍響應階躍響應： 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 41/21 二、改善傳感器性能的技術途徑二、改善傳感器性能的技術途徑 非線非線 性性 傳感器傳感器輸輸 入入 x 輸出輸出 y = f(x) 溫溫 度度 濕濕 度

31、度 壓壓 力力 沖沖 擊擊 振振 動動 磁磁 場場 電電 場場 摩摩 擦擦 間間 隙隙 松松 動動 遲遲 滯滯 蠕蠕 變變 變變 形形 老老 化化 外界干擾外界干擾 1.結構、材料與參數的合理選擇結構、材料與參數的合理選擇 2.差動技術差動技術 3.平均技術平均技術 4.穩定性處理穩定性處理 5.屏蔽、隔離與干擾抑制屏蔽、隔離與干擾抑制 6.零示法、微差法與閉環技術零示法、微差法與閉環技術 7.補償與校正補償與校正 8.集成化、智能化與信息融合集成化、智能化與信息融合 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 42/21 輸入量性能指標：量程、測量范圍、過載能力等輸入量性能指標：量

32、程、測量范圍、過載能力等 靜態特性指標：線性度、遲滯、重復性、準確度、靈敏度、靜態特性指標：線性度、遲滯、重復性、準確度、靈敏度、 分辨率、閾值、穩定性、漂移等分辨率、閾值、穩定性、漂移等 動態特性指標：時間常數、上升時間、響應時間、過沖量、阻動態特性指標：時間常數、上升時間、響應時間、過沖量、阻 尼率、固有頻率、頻率特性、頻響范圍、穩態誤差、臨界速度、采尼率、固有頻率、頻率特性、頻響范圍、穩態誤差、臨界速度、采 樣頻率等樣頻率等 對環境和配接要求：工作溫度范圍、溫度誤差、溫度漂移、靈對環境和配接要求：工作溫度范圍、溫度誤差、溫度漂移、靈 敏度溫度系數、熱滯后、抗潮濕、抗介質腐蝕、抗電磁干擾能

33、力、敏度溫度系數、熱滯后、抗潮濕、抗介質腐蝕、抗電磁干擾能力、 抗沖振要求等抗沖振要求等 可靠性指標：平均壽命、平均無故障工作時間、故障率、疲勞可靠性指標：平均壽命、平均無故障工作時間、故障率、疲勞 性能、絕緣耐壓、耐溫、保險期、時間穩定性、抗過載能力等性能、絕緣耐壓、耐溫、保險期、時間穩定性、抗過載能力等 經濟指標：性能經濟指標：性能/價格比價格比 三、傳感器合理選用三、傳感器合理選用 如何選擇？如何選擇？ 第第1章章 傳感器與檢測技術基礎傳感器與檢測技術基礎 43/21 三、傳感器合理選用三、傳感器合理選用 分辨力分辨力 重視指標：重視指標： 要干什么？能干些什么？能在什么程度上干些什么？要干什么？能干些什么？能在什么程度上干些什么？ 工作工作/ /檢測范圍檢測范圍 工作頻率工作頻率 精度精度/重復性重