團體標準報批資料團體標準《光刻用AT切石英晶片》（征求意見稿）編制說明一、工作簡況1、任務來源根據《中國電子元件行業協會團體標準管理辦法》和《中國電子元件行業協會團體標準制修訂工作程序》，中國電子元件行業協會2021年第六批團體標準制定項目計劃下達本項目(項目編號為YX202108001），標準名稱為《光刻用石英晶體片》。北京石晶光電科技股份有限公司、唐山國芯晶源電子有限公司、廣東惠倫晶體科技股份有限公司、四川泰美克科技有限公司、泰晶科技股份有限公司、東晶電子金華有限公司、爍光特晶科技有限公司、深圳市晶峰晶體科技有限公司、三生電子（天津）有限公司、武漢海創電子股份有限公司、安徽晶賽科技股份有限公司、山東博達光電有限公司、研創科技（惠州）有限公司、匯隆電子（金華）有限公司、杭州鴻星電子有限公司、成都晶寶時頻技術股份有限公司、南京中電熊貓晶體科技有限公司、上海銳星電子科技有限公司為本團體標準的主要起草單位。2、主要工作過程項目計劃下達后，牽頭單位組織和落實了本標準編制組成員。于2021年6月完成了項目編制組的組建工作，確定項目負責人，制定工作計劃。2021年8月牽頭單位完成了標準草案，并在牽頭單位內部展開了廣泛的討論、資料收集及修訂。在此基礎上，編制組成員和牽頭單位有關人造石英晶片生產研制及加工工藝技術、試驗檢驗、標準和質量專家經過多次反復逐條的討論、修改。為區別于光刻用Z切石英晶片，確定修改標準名稱為《光刻用AT切石英晶片》，并于2021年10月15日形成工作組討論稿。經標準編制組內部討論后，收到8個成員的反饋意見23條，完全采納19條，部分采納0條，未采納4條。2022年2月20日完成征求意見稿。根據反饋意見，于2022年2月20日完成標準征求意見稿并征求意見。3、標準編制的主要成員單位及其所做的工作負責起草單位為北京石晶光電科技股份有限公司、唐山國芯晶源電子有限公司、廣東惠倫晶體科技股份有限公司、四川泰美克科技有限公司、泰晶科技股份有限公司、東晶電子金華有限公司、爍光特晶科技有限公司、深圳市晶峰晶體科技有限公司、三生電子（天津）有限公司、武漢海創電子股份有限公司、安徽晶賽科技股份有限公司、山東博達光電有限公司、研創科技（惠州）有限公司、匯隆電子（金華）有限公司、杭州鴻星電子有限公司、成都晶寶時頻技術股份有限公司、南京中電熊貓晶體科技有限公司、上海銳星電子科技有限公司為本團體標準的主要起草單位，技術歸口單位為電子元件行業協會壓電晶體元器件及材料分會。其中，北京石晶光電科技股份有限公司主要負責標準中主要內容的起草和各階段標準化檢查，其余單位參加草案的討論，協助開展征求稿、送審稿意見和建議的處理完善工作。二、標準編制原則和確定主要內容的論據及解決的主要問題1、編制原則本標準按照GB/T1.1—2020給出的規則起草。堅持與現行國內、外有關標準協調、統一。注意吸收國內、外相關的最新研究成果。2、內容說明本標準規定了光刻用AT切石英晶片的術語和定義、規格、技術要求、試驗方法、檢驗規則、包裝、標識和貯存等。本標準的制定，可以規范光刻用AT切石英晶片的生產和檢驗，可以提升整個行業的標準化程度，為滿足各壓電晶體頻率元器件工廠開展光刻工藝提供了技術指導。3、確定主要內容的依據GB/T3352-2012《人造石英晶體規范與使用指南》、GB/T30118-2013《聲表面波（SAW）器件用單晶晶片規范與測量方法》、SJ/T11199-2016《壓電石英晶體片》適用于本文件，參考其他標準的最新成果，確保與現行標準協調統一。4、編制過程中解決的主要問題人造石英晶體是壓電晶體頻率元器件的基礎性關鍵材料，而光刻用AT切石英晶片是為滿足近年來5G\6G等通訊應用高基頻壓電晶體元器件SMD產品所開發的光刻工藝基材。光刻工藝技術是當前替代傳統機械加工方式無法生產高基頻SMD產品的唯一工藝，目前5G\6G通訊、智慧物聯網發展迅猛，已廣泛應用于智慧物聯網、智慧車聯網、5G\6G通訊等多個軍民領域。本標準的制定有利于加快我國光刻用人造石英晶片的整體技術水平、質量水平與國際接軌，豐富我國對人造石英晶體產品的標準細分，為我國電子元件行業壓電晶體元器件及材料的研發、生產、加工提供堅實的標準支撐。三、主要試驗情況分析無。四、知識產權情況說明無。五、產業化情況、推廣應用論證和預期達到的經濟效果1、產業化情況我國是人造石英晶體材料的制造大國和使用大國，光刻用AT切石英晶片是制造高基頻壓電晶體元器件SMD頻率片的關鍵基礎材料，光刻工藝技術雖源于半導體光刻工藝而又不等同于半導體加工工藝，是基于高基頻無法采用機械加工而利用人造石英晶體傳統化學機械腐蝕減薄的工藝特點發展而來。由于5G\6G新一代通訊行業的快速發展，國內各家都在自研光刻工藝，光刻用AT切割石英晶片沒有統一標準，以至于生產者和使用者之間進行頻繁的溝通，進行各項性能指標的驗證和檢測，會花費大量的時間，并且每次都要重復檢驗，檢測一次周期時間較長，甚至導致合作失敗，所以有必要針對光刻用AT切割石英晶片制定專用標準，不僅提升整個行業的標準化程度，而且為光刻工藝技術設備的生產提供規范的技術指導。2、標準推廣應用本標準的制定不僅有利于提升我國人造石英晶體產業的整體質量水平，提高與國外企業的競爭力和本類產品在國際上的話語權，而且適應了國際市場要求，為解決國際貿易爭端提供技術標準依據。本標準的實施不僅能夠促進科研、制造和貿易等用戶對專業概念的統一認識，促進理解、設計、使用，避免產生歧義，而且會推動人造石英晶體高基頻壓電晶體元器件SMD產品的設計及工藝方法的研究改進，做為我國電子元件行業新型壓電晶體頻率元器件、通信電子元件的研發技術標準依據。3、標準應用的預期效果本標準中的術語和定義、規格、技術要求、試驗方法、檢驗規則、標志和貯存等可作為國內外貿易技術條件的依據。本標準的制定有利于加快我國人造石英晶體高基頻壓電晶體元器件SMD產品領域整體工藝技術水平和質量水平，實現與國際接軌。該標準的貫徹實施，不僅能夠提高該類產品質量，同時規范該類產品的國內外市場秩序，而且解決了供需雙方不必要的商業糾紛，減少和避免產品在使用中的不必要傷害，能夠使產品供需雙方達到共贏。六、采用國際標準和國外先進標準情況本標準中術語和定義、技術要求等部分內容采用IEC60758︰2016-05國際標準、GB/T3352-20XX和IEC62276︰2016國際標準、GB/T30118-20XX最新標準，以及SJ/T11199-2016《壓電石英晶體片》技術部分內容，反映了近年國際上人造石英晶體標準方面的最新成果，質量評定程序與試驗程序采用最新國際質量規定，達到了當前的國際先進水平。七、與現行相關法律、法規、規章及相關標準的協調性本標準與我國有關的現行法律、法規和相關強制性標準無沖突，完全滿足其規定。八、重大分歧意見的處理經過和依據本標準制定過程中無重大分岐意見。九、標準性質的建議本標準是光刻用AT切石英晶片，規定了術語和定義、技術要求、試驗方法、檢驗規則、包裝、標識和貯存等。建議本標準為推薦性標準。不作保密要求。十、貫徹標準的要求和措施建議建議本標準在應用過程中，根據具體產品在應用中的具體情況，對產品的技術要求、技術要求、試驗方法、檢驗規則、包裝、標識和貯存等內容在編