光刻工序設備原理、設備一般故障分析CONTENTS目錄02涂膠設備03曝光機01課程導入01PARTone課程導入課程導入在現代化生產線上，工序設備是確保生產流程順暢進行的關鍵。深入了解工序設備的運行原理，以及掌握其常見故障的分析方法，對于提高生產效率、減少生產損失至關重要。02PARTTWO涂膠設備在LCD產品的生產過程中，涂膠設備扮演著至關重要的角色。該設備需精準無誤地將光刻膠均勻地涂覆于精密的玻璃ITO薄膜表面，這一過程直接關乎到后續光刻與刻蝕工藝的質量與效果。為了確保光刻膠膜層的厚度達到工藝要求的精確值，并維持其高度的穩定性，涂膠設備在設計、運行、控制及調整方面均融入了高度的技術含量。涂膠設備（2）各膠輥之間的平行度控制針對生產TN、STN產品的涂膠機，一般有三個膠輥實現涂膠作業。支撐輥要保證與搬送輥在一個平面上，使玻璃不致產生彎曲變形，支撐輥的高度一般來說是由設備制造廠確定的，是涂覆的“基點”，涂覆輥與調整輥的高度值都是通過這個“基點”來確定的。涂覆輥要調整到與支撐輥平行且確定輥子與之剛接觸時的高度為“零點”；調整輥要調整到與涂覆輥平行且確定輥子兩端與之剛接觸時的高度為“基準點”。涂膠設備（1）速度的控制搬運輥與涂覆輥轉速同步，高低速控制范圍較寬且連續可調，有明顯的速度值顯示方式。（3）滴膠的控制滴膠機對滴膠量的控制要求很嚴，不允許有不均現象。對滴膠量的控制是由一臺脈動泵實現的，可以對脈動頻率、脈動量分布進行調整控制。滴液管路中配有一個0.1微米的過濾器，要及時檢查，定期更換。涂膠設備（4）涂膠機的運行安全涂膠機各輥的工作面都是由優質橡膠經特殊工藝加工制成的，成本很高且極易損壞，任何微小的破損都有可能影響產品質量。因此，如何防止不正常損壞膠輥是設備運行首先要解決的問題，疊片、碎玻璃渣及其他異物硌傷、劃傷都是造成損壞的原因。運行前要確認設備運行狀態、安全措施是否齊全可靠。疊片故障的處理。要求控制部分要有相應的功能，包括搬送速度“切換”、玻璃行走間隔的控制和判別、玻璃長度的識別、前段工序入口與出口（包括間隔、疊片、缺片）的識別，要實現以上功能，設備就要具備相應的硬件和軟件配置，并調整好前后工序的運行速度。玻璃渣的防止。在生產中，有時不能完全避免玻璃破損，但要及時清理干凈。

清洗設備中配有盤刷運行，一般雜物都可去除。清洗機出口配有多組上下風刀，也可起到去除雜物的作用，運行時要檢查其工作是否正常。防止其他異物進入。此類設備一般都配有防護蓋板，當設備進入正常運轉時，

一定要將防護蓋板關好。涂膠設備03PARTTHREE曝光機在曝光機的工作中，光刻版（原版）和玻璃的定位是非常重要的環節。一臺性能優良的曝光設備在對位方式和功能方面都非常考究，不但要求操作方便，還要重復性好，以保證工藝生產要求的精度。曝光機鑒于UV燈的光照特性高度敏感，即便是制造過程中的微小差異也可能對光照的均勻性產生顯著影響，進而影響最終產品的質量。因此，UV燈的安裝結構設計得尤為巧妙，不僅確保了穩固的固定，還預留了充分的調整空間，允許操作人員在安裝或維護時，能夠輕松實現上下、左右、前后三個維度的精細調整。調整的規律應按以下方法進行：①將檢測計放置在工作臺中央，調整UV燈上下位置使其達到最大值后固定；②將檢測計放置四邊不同位置，前后、左右調整UV燈水平方向至光強均勻