公開中國團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)電子器件微小漏率檢測(cè)方法Testmethodsforminorleakagedetectionofelectronicdevices北京電子儀器行業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布I1電子器件微小漏率檢測(cè)方法本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子儀器行業(yè)中，檢測(cè)漏率要求在（1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s范圍內(nèi)的行波管、速調(diào)管、光電器件、陀螺儀、功率開關(guān)器件等電子器件產(chǎn)品。可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本3.3累積比較法Cumulativec將被檢件泄漏的示漏氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體流量分別引對(duì)示漏氣體進(jìn)行累積，用質(zhì)譜計(jì)測(cè)量示漏氣體在質(zhì)體流量所泄漏示漏氣體引起質(zhì)譜計(jì)的變化率為標(biāo)準(zhǔn)常規(guī)氦質(zhì)譜檢漏方法無法滿足漏率要求小于1×10-11Pa·m3/s的電子器件產(chǎn)品的漏率檢測(cè)。本方采用基于累積比較法的超靈敏度檢漏儀，適用于漏率范圍在（1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s的行波管、速調(diào)管、光電器件、陀螺儀、功率開關(guān)器件等電子器件的漏率檢測(cè)。2將被檢件泄漏的示漏氣體和超靈敏度檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)氣體流量分別引入質(zhì)譜分析室內(nèi)，在質(zhì)譜分析室切斷真空抽氣機(jī)組后對(duì)示漏氣體進(jìn)行累積，用質(zhì)譜計(jì)測(cè)量示漏氣體在質(zhì)譜分析室內(nèi)引起的離子流隨著時(shí)間的變化率，用標(biāo)準(zhǔn)氣體流量引起質(zhì)譜計(jì)的變化率為標(biāo)準(zhǔn)，通過離子流變化率在一定范圍內(nèi)的線性關(guān)系計(jì)算得到被檢件的漏率。 電子器件應(yīng)有銘牌。銘牌一般應(yīng)注明名稱、型號(hào)/規(guī)格、制造單位、出廠編號(hào)、工作溫度范圍等。c)周圍無影響正常檢測(cè)的電磁干擾，無劇烈振），超靈敏度檢漏儀：檢漏范圍1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s。標(biāo)準(zhǔn)氣體流量：流量范圍1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s，相對(duì)擴(kuò)展不確定度≤15%（k=2）。被檢件外觀完好，無影響正常工作的機(jī)械損a）將被檢件10與超靈敏度檢漏儀連接好，啟動(dòng)超靈敏度檢漏儀。b）打開閥門2、8、9，利用超靈敏度檢漏儀的真空抽氣機(jī)組1對(duì)被檢件10和內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)氣體流量記錄質(zhì)譜計(jì)6離子流示數(shù)的變化量ΔIig，計(jì)算得到質(zhì)譜分析室3的本底示漏氣體離子流變化率Rig=ΔIig/Δt。d）打開閥門2、9，將質(zhì)譜分析室3及連接管道抽真空。e）在真空計(jì)13的壓力示值小于5×10-6Pa后，關(guān)閉閥門2，將被檢件泄漏的氣體引入質(zhì)譜分析室3中，累積與步驟c）相同的時(shí)間Δt，記錄質(zhì)譜計(jì)6測(cè)量離子流示數(shù)的變化量ΔIiL，計(jì)算得到被檢件泄漏的示漏氣體引起的離子流變化率RiL=ΔIiL/Δt。f）關(guān)閉閥門9，打開閥門2、8，將質(zhì)譜分析室3及連接管道空間抽真空。室3中，調(diào)節(jié)內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)氣體流量，使在與步驟e）中相同的累積時(shí)間Δt內(nèi)，質(zhì)譜計(jì)6測(cè)量離子流的變化量ΔIiS與ΔIiL盡量接近。記錄內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)氣體流量的流量值QiS和離子流的變化量ΔIiS，計(jì)算得到標(biāo)準(zhǔn)氣體流量引起的離子流變化率Ris=ΔIis/Δt，關(guān)閉閥門V8。i）測(cè)量結(jié)束后，關(guān)閉所有閥門和儀器設(shè)備。7檢漏結(jié)果的處理QiL=Qis.……………QiL——第i次檢漏超靈敏度檢漏儀測(cè)得的漏率值，Pam3/s；Qis——第i次檢漏超靈敏度檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)氣體流量的漏率值，Pam3/s；Rig——第i次檢漏質(zhì)譜分析室內(nèi)本底引起的質(zhì)譜計(jì)離子流變化率，A/s；Ris——第i次檢漏內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)氣體流量引起的質(zhì)譜計(jì)離子流變化率，A/s；RiL——第i次檢漏被檢件引起的質(zhì)譜計(jì)離子流變化率，A/s。被檢件的平均漏率值Q由式（3）確定。1QiL……………QiL——第i次檢漏時(shí)超靈敏度檢漏儀測(cè)得的漏率值，Pam3/s；QL——被檢件的平均漏率值，Pam3/s。若被檢件的平均漏率值結(jié)果小于或等于被檢件允許漏率值，則該被檢件通過漏率測(cè)試。漏率檢測(cè)報(bào)告一般包括：檢漏日期、檢漏地點(diǎn)、環(huán)境溫度、環(huán)境濕度、儀器編號(hào)、檢漏方法、過程的測(cè)試數(shù)據(jù)以及檢漏人員等。4TestReportReportNo.編號(hào)S/N接收日期：AcceptanceDate：年月Month日Day檢測(cè)人：批準(zhǔn)人：Approvedby:IssuedDate：YearMonth檢漏使用的主要測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備名稱Equipments編號(hào)S/NCertNo./Traceto有效期至DueDate////ReferenceDocument（code、name）orDescriptionoftheU