JJF(閩)1063-2014CalibrationSpecificationforStereomicroscope福建省質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布JJF（閩）1063-2014體視顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificJJF（閩）1063-2014JJF（閩）****-20144概述………………6校準(zhǔn)條件…………………6.1環(huán)境條件………………IJJF（閩）1063-20148校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)………………9復(fù)校時間間隔………………JJF（閩）1063-2014JJF（閩）1063-2014體視顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范注：在國標(biāo)中稱為“齊焦”。注：國標(biāo)中稱為“左右光學(xué)系統(tǒng)的聚焦差”。12體視顯微鏡按結(jié)構(gòu)形式可分為連續(xù)變倍型、有級變換型、物鏡卸換型三種，按照技術(shù)性能可分為普及型與高性能兩種。圖1為一種常見的體視顯微鏡的外形圖。5計(jì)量特性5.1成像清晰范圍體視顯微鏡視場成像清晰范圍應(yīng)滿足表1中的要求：普及型高性能上下方向≥60%,左右方向≥50%。上下方向≥70%,左右方向≥60%。5.2變倍齊焦差體視顯微鏡變換不同放大倍率物鏡時，變倍齊焦差一般不大于0.6mm。5.3左右齊焦差目鏡光學(xué)系統(tǒng)的左右齊焦差一般不大于1.5DF。DF按照下式計(jì)算：JJF（閩）1063-2014λ—光波波長，通常λ=0.00055mm。表2變倍齊中差技術(shù)指標(biāo)（單位：mm）類型普及型高性能連續(xù)變倍型——≤0.4有級變換型≤1.2物鏡卸換型≤2.5注：校準(zhǔn)不對測量結(jié)果作合格與否的判斷，以上技術(shù)指標(biāo)供參考。6.1.1溫濕度條件：校準(zhǔn)室內(nèi)溫度為（20±10）℃,相對濕度不大于85%。3JJF（閩）1063-2014表3校準(zhǔn)項(xiàng)目及主要測量設(shè)備序號校準(zhǔn)項(xiàng)目主要測量設(shè)備1成像清晰范圍分度值0.2mm、0.5mm的網(wǎng)格板2變倍齊焦差分度值0.2mm、0.5mm的網(wǎng)格板、百分表3左右齊焦差分度值0.2mm、0.5mm的網(wǎng)格板、百分表4變倍齊中差分度值為0.1mm的十字分劃目鏡（MPE:±0.01mm）、十字分劃板5左右齊中差分度值為0.1mm的十字分劃目鏡（MPE:±0.01mm）、十字分劃板6分辨力A4、A5、A7號分辨力板7物鏡放大倍率誤差分度值為0.1mm、0.01mm的玻璃線紋尺（MPE:±0.01mm）8左右光學(xué)系統(tǒng)放大倍率差分度值為0.1mm、0.01mm的玻璃線紋尺（MPE:±0.01mm）注：也可采用滿足測量不確定度要求的其它測量設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)。清晰范圍D1按下式計(jì)算:4JJF（閩）1063-2014D1100%（2）體視顯微鏡變倍齊焦差使用網(wǎng)格板校準(zhǔn)，物鏡倍率不大于1倍時一般采用hb左=h左max-h左min可利用7.2變倍齊焦差中得到的測量值，按下式計(jì)算各倍物鏡左右齊焦差5JJF（閩）1063-2014從上式計(jì)算得到的各倍物鏡測量值中取絕對值最大的那一個測量結(jié)果作為右兩側(cè)目鏡所得到的測量結(jié)果中的最大值作調(diào)節(jié)顯微鏡的瞳距至65mm，將十字分劃板置于視場中央，目鏡筒中插入十根據(jù)分辨力板號與圖案單元的號碼，從附錄A（柵格狀分辨率板線寬表)查N(mm1)（6）6JJF（閩）1063-2014從以上得到的各倍物鏡測量值中取最小的那一個測量值作為分辨力測量結(jié)100%100%從以上得到的各倍物鏡測量值中取最大的那一個測量值作為物鏡放大倍率7JJF（閩）1063-2014微鏡本身質(zhì)量等諸因素所決定的，因此，送校單位可根據(jù)實(shí)際使用情況自主決定8JJF（閩）1063-2014分辨率板號A1A2A3A4A5A6A7分辨率圖案單元號線寬度b值/μm12345678915114313512712011310710195.189.884.880.075.371.367.363.559.556.653.450.447.644.942.440.080.075.571.367.363.559.956.653.450.447.644.942.440.037.835.633.631.730.028.326.725.223.822.421.220.040.037.835.633.631.730.028.326.725.223.822.421.220.018.917.816.815.915.014.113.312.611.911.210.610.020.018.917.816.815.915.014.113.312.611.911.210.610.09.448.918.417.947.497.076.676.305.955.615.305.009.448.918.417.947.497.076.676.385.955.615.305.004.724.454.203.973.753.543.343.152.972.812.652.507.507.086.686.315.955.625.305.014.724.464.213.973.753.543.343.152.982.812.652.502.362.232.101.991.885.004.724.454.203.973.753.543.343.152.972.812.652.502.362.232.101.981.871.771.671.571.491.401.321.259JJF（閩）1063-2014送校單位記錄編號樣品名稱體視顯微鏡型號規(guī)格制造廠出廠編號標(biāo)準(zhǔn)器名稱型號規(guī)格儀器編號技術(shù)特征證書編號技術(shù)依據(jù)JJF（閩）****—2013《體視顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》校準(zhǔn)地點(diǎn)溫度：℃相對濕度：%校準(zhǔn)日期證書編號校準(zhǔn)員核驗(yàn)員序號校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)結(jié)果普及型高性能1成像清晰范圍上下左右2變倍齊焦差≤0.6mm3左右齊焦差＜1.5DF4變倍齊中差有級變換型≤1.2mm≤0.4mm左光路物鏡卸換型≤2.5mm右光路5左右齊中差上下≤0.2mm,左右≤0.4mm6分辨力≥1200NA線對/mm倍率左光路右光路7物鏡放大倍率誤差8左右光學(xué)系統(tǒng)放大倍率差標(biāo)稱倍率左光路右光路左右倍率差變倍齊焦差左右齊焦差左右齊中差像L'物L(fēng)δ像L'物L(fēng)δ△y物鏡放大倍率誤差的校準(zhǔn)結(jié)果測量不確定度：備注JJF（閩）1063-2014）；g)進(jìn)行校準(zhǔn)的日期，如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性和應(yīng)用有關(guān)時，應(yīng)說明被校對象；；表C.1校準(zhǔn)證書內(nèi)頁格式序號校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)結(jié)果1成像清晰的范圍2變倍齊焦差3左右齊焦差4變倍齊中差5左右齊中差6分辨力標(biāo)稱倍率7.左光路放大倍率誤差7.右光路放大倍率誤差放大倍率校準(zhǔn)結(jié)果測量不確定度（k＝2）8.左右光學(xué)系統(tǒng)放大倍率差附加說明：JJF（閩）1063-2014尺刻線上的值L依據(jù)玻璃線紋尺所用兩刻線之間的間距L及標(biāo)稱放大倍率βL—玻璃線紋尺所用兩刻線之間的間距，mm；ββu(y)2u2(xi)可得：u(y)u2(i)cu2(L2(L)(L)JJF（閩）1063-2014輸入量L＇引入的不確定度分量u(L＇)由測量重復(fù)性引入的不確定度分量表D.1重復(fù)性測量結(jié)果格序號123456789測量值99.099.199.299.399.499.599.599.599.699.6 (xix)2采用B類不確定度方法進(jìn)行評定，目鏡標(biāo)尺刻線間距的允許誤差為± u2(L20.0062=0.022mmD.4.2玻璃線紋尺允許誤差引入的不確定度分量u(L)采用B類不確定度方法進(jìn)行評定，玻璃線紋尺的刻線間距的允許誤差為± u(L)=0.01mm/=0.006mmJJF（閩）1063-2014表D.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量一覽表標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量uxi不確定度來源標(biāo)準(zhǔn)不確定度值uxi（mm）ci xiciuxi輸入量L10.022-0.10.0022測量重復(fù)性0.021//u2(L目鏡標(biāo)尺允許誤差0.006//u(L)玻璃線紋尺允許誤差0.0060.10.0006u()0.0023=0.23%(L)0.02220.0062u(=0.5%表D.3各放大倍率誤差的測量結(jié)果不確定度放大倍率β標(biāo)線紋尺間距L靈敏系數(shù)不確定度分量標(biāo)準(zhǔn)不確定度u擴(kuò)展不確（k=2）c1c2u(L)0.5×-0.20.10.0220.0060.00440.9%-0.10