ICS13.040.4031CCSZ6031上 海 市 地 方 標 準DB31/374—2024代替DB31/374—2006半導體行業污染物排放標準Thedischargestandardsofpollutantsforsemiconductorindustry2024202422920240501上市生環境局 ??發上市市監督理局DB31/374DB31/374—2024DB31/374DB31/374—2024目 次前 言 II引 言 III范圍 1規范性引用文件 1術語和定義 3水污染物排放控制要求 4大氣污染物排放控制要求 5污染物監測要求 7達標判定要求 10實施與監督 10附錄 A（資料性）固定污染源廢氣含三甲苯的苯系物的測定氣袋采樣-氣相色譜法.11參考文獻 II前 言本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定起草。本文件代替DB31/374—2006《半導體行業污染物排放標準》，與DB31/374—2006相比，除結構調整和編輯性改動外，主要技術變化如下：——更改了水污染物排放標準的標準分級：將原第一類污染物兩個級別的排放標準調整為執行同一級別的排放標準，將原第二類污染物三個級別的直接排放標準調整為同一個級別（4.1，20064.1.4）；——刪除了大氣污染物的排放速率控制方式（2006版的4.2.2.2）；——更改了污染物控制項目：增加了水污染物控制項目石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑（（2006增加了大氣污染物控制項目氯氣、氰化氫、錫及其化合物、苯、苯系物、非甲烷總烴、顆粒物和氮氧化物（5.1.1，20064.2.2.2）；——更改了部分污染物項目的排放限值：收嚴了懸浮物、化學需氧量、總有機碳、氨氮、總氰化9（4.1，20064.1.4）；3（5.1.1，20064.2.2.2）；——更改了部分污染物項目的測定分析方法（見6.2.2和6.3.4，2006版的5.4）；——增加了達標判定要求（見8）。本文件由上海市生態環境局提出并組織實施。——更改了部分污染物項目的測定分析方法（見6.2.2和6.3.4，2006版的5.4）；——增加了達標判定要求（見8）。本文件由上海市生態環境局提出并組織實施。本文件由上海市生態環境保護標準化技術委員會歸口。本文件起草單位：上海市環境科學研究院、上海市集成電路行業協會。本文件主要起草人：裴蓓、邵一平、艾麗麗、盧士強、劉揚、陳昊、何姚軍、石建賓。本文件及其所代替文件的歷次版本發布情況為：——2006年首次發布為DB31/374—2006；——本次為第一次修訂。II引 言DB31/374—2006《半導體行業污染物排放標準》進行修訂。本文件由上海市人民政府2024年2月7日批準。IIIIIIDB31/374DB31/374—2024DB31/374DB31/374—2024半導體行業污染物排放標準范圍規范性引用文件（包括所有的修改單適用于本文件。GB/T7466水質總鉻的測定GB/T7467水質六價鉻的測定二苯碳酰二肼分光光度法GB/T7470水質鉛的測定雙硫腙分光光度法GB/T7471水質鎘的測定雙硫腙分光光度法GB/T7475水質銅、鋅、鉛、鎘的測定原子吸收分光光度法GB/T7484水質氟化物的測定離子選擇電極法GB/T7485水質總砷的測定二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法GB/T7494水質陰離子表面活性劑的測定亞甲藍分光光度法GB/T11893水質總磷的測定鉬酸銨分光光度法GB/T11900水質痕量砷的測定硼氫化鉀-硝酸銀分光光度法GB/T11901水質懸浮物的測定重量法GB/T11907水質銀的測定火焰原子吸收分光光度法GB/T11910水質鎳的測定丁二酮肟分光光度法GB/T11912水質鎳的測定火焰原子吸收分光光度法GB/T16157固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態污染物采樣方法GB/T16157固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態污染物采樣方法GB37822揮發性有機物無組織排放控制標準GB39731電子工業水污染物排放標準HJ/T27固定污染源排氣中氯化氫的測定硫氰酸汞分光光度法HJ/T28固定污染源排氣中氰化氫的測定異煙酸-吡唑啉酮分光光度法HJ/T30固定污染源排氣中氯氣的測定甲基橙分光光度法HJ/T38固定污染源廢氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定氣相色譜法HJ/T42固定污染源排氣中氮氧化物的測定紫外分光光度法HJ/T43固定污染源排氣中氮氧化物的測定鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ/T55大氣污染物無組織排放監測技術導則HJ/T60水質硫化物的測定碘量法HJ/T65大氣固定污染源錫的測定石墨爐原子吸收分光光度法HJ/75固定污染源煙氣（SO2、NOX、顆粒物）排放連續監測技術規范HJ84水質無機陰離子（FClNOBrNOPO、SO、SO）的測定離子色譜法-- 2-- 3-3-2-2-4 3 41HJ/T91.1污水監測技術規范HJ/T195水質氨氮的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T199水質總氮的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T200水質硫化物的測定氣相分子吸收光譜法HJ355（CONH-）HJ/T373固定污染源監測質量保證與質量控制技術規范（試行）HJ/T397固定源廢氣監測技術規范HJ/T399水質化學需氧量的測定快速消解分光光度法HJ484水質氰化物的測定容量法和分光光度法HJ485水質銅的測定二乙基二硫代氨基甲酸鈉分光光度法HJ486水質銅的測定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法HJ487水質氟化物的測定茜素磺酸鋯目視比色法HJ488水質氟化物的測定氟試劑分光光度法HJ4893,5-r-PAAP490水質銀的測定鎘試劑2B分光光度法HJ493水質采樣樣品的保存和管理技術規定HJ494水質采樣技術指導HJ495水質采樣方案設計技術指導HJ501水質總有機碳的測定燃燒氧化-非分散紅外吸收法HJ533環境空氣和廢氣氨的測定納氏試劑分光光度法HJ535水質氨氮的測定納氏試劑分光光度法HJ536水質氨氮的測定水楊酸分光光度法HJ537水質氨氮的測定蒸餾-中和滴定法HJ544固定污染源廢氣硫酸霧的測定離子色譜法HJ548固定污染源廢氣氯化氫的測定硝酸銀容量法HJ549環境空氣和廢氣氯化氫的測定離子色譜法HJ604環境空氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定直接進樣-氣相色譜法HJ636水質總氮的測定堿性過硫酸鉀消解紫外分光光度法HJ637水質石油類和動植物油的測定紅外分光光度法HJ657空氣和廢氣顆粒物中鉛等金屬元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ659水質氰化物等的測定真空檢測管-電子比色法HJ665水質氨氮的測定連續流動-水楊酸分光光度法HJ666水質氨氮的測定流動注射-水楊酸分光光度法HJ667水質總氮的測定連續流動-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ668水質總氮的測定流動注射-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ670水質磷酸鹽和總磷的測定連續流動-鉬酸銨分光光度法HJ671水質總磷的測定流動注射-鉬酸銨分光光度法HJ688固定污染源廢氣氟化氫的測定離子色譜法HJ692固定污染源廢氣氮氧化物的測定非分散紅外吸收法HJ693固定污染源廢氣氮氧化物的測定定電位電解法HJ694水質汞、砷、硒、鉍和銻的測定原子熒光法HJ700水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ732固定污染源廢氣揮發性有機物的采樣氣袋法2HJ734HJ734固定污染源VOCs的測定固相吸附-熱脫附-氣相色譜-質譜法HJ776水質32種元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ777空氣和廢氣顆粒物中金屬元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ819排污單位自行監測技術指南總則HJ823水質氰化物的測定流動注射-分光光度法HJ826水質陰離子表面活性劑的測定流動注射-亞甲基藍分光光度法HJ828水質化學需氧量的測定重鉻酸鹽法HJ836固定污染源廢氣低濃度顆粒物的測定重量法HJ908水質六價鉻的測定流動注射-二苯碳酰二肼光度法HJ944排污單位環境管理臺賬及排污許可證執行報告技術規范總則（試行）HJ1069水質急性毒性的測定斑馬魚卵法HJ1132固定污染源廢氣氮氧化物的測定便攜式紫外吸收法HJ1147水質pH值的測定電極法HJ1226水質硫化物的測定亞甲基藍分光光度法HJ1240固定污染源廢氣氣態污染物SO、NO、N2、CO、CO）的測定便攜式傅立葉變換紅譜法HJ1253排污單位自行監測技術指南電子工業HJ1261固定污染源廢氣苯系物的測定氣袋采樣/直接進樣-氣相色譜法HJ1286固定污染源廢氣非甲烷總烴連續監測技術規范DB31/T310014固定污染源廢氣氯氣的測定離子色譜法3術語和定義3術語和定義下列術語和定義適用于本文件。3.1半導體行業semiconductorindustry利用半導體材料制造半導體器件的行業。注：包括GB/T4754—2017中C3972和C3973行業產品制造及封裝測試。3.2現有企業existingfacility本文件實施之日前通過環境影響評價審批或已經投產運行的半導體行業企業、生產設施或研制線。3.3新建企業newfacility本文件實施之日起通過環境影響評價審批的半導體行業新建、改（擴）建建設項目。3.4標準狀態standardcondition溫度為273.15K、壓力為101325Pa時的狀態。注：本文件規定的大氣污染物排放濃度限值均以標準狀態下的干氣體為基準。[來源：DB31/933—2015,3.14,有修改]3.5直接排放directdischarge排污單位直接向環境水體排放水污染物的行為。[來源：GB39731—2020,3.11]33.6間接排放indirectdischarge排污單位向污水集中處理設施排放水污染物的行為。[來源：GB39731—2020,3.12]3.7揮發性有機物volatileorganiccompounds（VOCs）參與大氣光化學反應的有機化合物，或者根據有關規定確定的有機化合物。注：在表征VOCs總體排放情況時，采用總揮發性有機物（以TVOC表示）、非甲烷總烴（以NMHC表示）作為污染物控制項目。[來源：GB37822—2019,3.1,有修改]3.8總揮發性有機物totalvolatileorganiccompounds（TVOC）采用規定的監測方法，對廢氣中的單項VOCs物質進行測量，加和得到VOCs物質的總量，以單項VOCs物質的質量濃度之和計。注：實際工作中，按預期分析結果，對占總量90%以上的單項VOCs物質進行測量，加和得出。[來源：GB37822—2019,3.2,有修改]3.9非甲烷總烴NON-methanehydrocarbon（NMHC）采用規定的監測方法，氫火焰離子化檢測器有響應的除甲烷外的氣態有機化合物的總和，以碳的質[來源：GB37822—2019,3.3]4水污染物排放控制要求4.1[來源：GB37822—2019,3.3]4水污染物排放控制要求4.11表1污染源水污染物排放限值單位為毫克每升（pH）4序號污染物項目直接排放間接排放a污染物排放控制位置1pH值6～96～9企業廢水總排放口2懸浮物（SS）604003石油類3154化學需氧量（CODCr）605005總有機碳（TOC）201506氨氮10457總氮15708總磷0.589陰離子表面活性劑（LAS）12010總氰化物0.20.211硫化物1112氟化物1020企業單位產品生產時的實際排水量高于GB企業單位產品生產時的實際排水量高于GB39731GB39731要求進行水污染物排放濃度折算。注：單位產品基準排水量指用于核定水污染物排放濃度而規定的生產單位產品的排水量上限值。GB39731注：半導體行業污水集中處理設施運營單位指專門為兩家及以上半導體行業排污單位提供污水處理服務的（第三方）污水集中處理設施運營單位。5大氣污染物排放控制要求有組織排放控制要求2表2污染源大氣污染物排放限值單位為毫克每立方米5表1污染源水污染物排放限值（續）單位為毫克每升（pH除外）序號污染物項目直接排放間接排放a污染物排放控制位置13總銅0.51企業廢水總排放口14總鋅11.515總鉛0.1車間或生產設施廢水排放口16總鎘0.0117總鉻0.518六價鉻0.119總砷0.220總鎳0.121總銀0.1a1～1415～211～8排放限值，未協商的指標以及第9～21項指標執行本表規定的間接排放限值。序號污染物項目最高允許排放濃度污染物排放監控位置1硫酸霧5車間或生產設施排氣筒2氯化氫103氟化氫1.54氯氣3表2污染源大氣污染物排放限值（續）單位為毫克每立方米序號污染物項目最高允許排放濃度污染物排放監控位置5氰化氫0.5車間或生產設施排氣筒6錫及其化合物17氨158苯19苯系物a810總揮發性有機物b6011非甲烷總烴5012顆粒物1013氮氧化物80150熱氧化處理裝置排氣筒a包括苯、甲苯、二甲苯、三甲苯、乙苯和苯乙烯。b適用于集成電路制造企業。DB31/1025藝設備應停止運行，待檢修完畢后同步投入使用；生產工藝設備不能停止運行或不能及時停止運行的，應設置廢氣應急處理設施或采取其他替代措施。藝設備應停止運行，待檢修完畢后同步投入使用；生產工藝設備不能停止運行或不能及時停止運行的，應設置廢氣應急處理設施或采取其他替代措施。25m15m（因安全考慮或由特殊工藝要求的除外15m當執行不同排放控制要求的廢氣合并排氣筒排放時，應在廢氣混合前進行監測，并執行相應的無組織排放控制要求VOCsGB37822DB31/1025邊界污染物監控要求企業邊界任何1h大氣污染物監控濃度應符合表3規定的要求。3污染源大氣污染物排放限值單位為毫克每立方米6序號污染物濃度限值1氰化氫0.0242氯氣0.13氯化氫0.15表3污染源大氣污染物排放限值（續）單位為毫克每立方米序號污染物濃度限值4非甲烷總烴4.05.4臺賬與記錄要求企業應按照HJ944、HJ1031要求建立臺帳，記錄保存期限不少于五年。污染物監測要求一般要求HJ819、HJ1253HJ75、HJ355、HJ1286企業應在污染物處理設施的出口按照環境監測管理規定和技術規范的要求，設計、建設、維護永久性采樣口、采樣測試平臺和排污口標志。有廢水、廢氣處理設施的，應在處理設施后監控。根據企業使用的原料、生產工藝過程、生產的產品、副產品等，確定需要監測的污染物項目。有廢水、廢氣處理設施的，應在處理設施后監控。根據企業使用的原料、生產工藝過程、生產的產品、副產品等，確定需要監測的污染物項目。本文件發布實施后國家發布污染物監測方法標準，若適用性滿足要求，同樣適用于本文件相應污染物的測定。水污染物監測與分析HJ/T91.1、HJ493、HJ494、HJ4954表4水污染物分析方法標準7序號污染物項目方法標準名稱方法標準編號1pH值水質pH值的測定電極法HJ11472懸浮物(SS)水質懸浮物的測定重量法GB/T119013石油類水質石油類和動植物油的測定紅外分光光度法HJ6374化學需氧量(CODCr)水質化學需氧量的測定快速消解分光光度法HJ/T399水質化學需氧量的測定重鉻酸鹽法HJ8285總有機碳（TOC）水質總有機碳的測定燃燒氧化-非分散紅外吸收法HJ5016氨氮水質氨氮的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T195水質氨氮的測定納氏試劑分光光度法HJ535水質氨氮的測定水楊酸分光光度法HJ536水質氨氮的測定蒸餾-中和滴定法HJ537水質氨氮的測定連續流動-水楊酸分光光度法HJ665水質氨氮的測定流動注射-水楊酸分光光度法HJ666表4水污染物分析方法標準（續）序號污染物項目方法標準名稱方法標準編號7總氮水質總氮的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T199水質總氮的測定堿性過硫酸鉀消解紫外分光光度法HJ636水質總氮的測定連續流動-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ667水質總氮的測定流動注射-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ6688總磷水質總磷的測定鉬酸銨分光光度法GB/T11893水質磷酸鹽和總磷的測定連續流動-鉬酸銨分光光度法HJ670水質總磷的測定流動注射-鉬酸銨分光光度法HJ6719陰離子表面活性劑（LAS）水質陰離子表面活性劑的測定亞甲藍分光光度法GB/T7494水質陰離子表面活性劑的測定流動注射-亞甲基藍分光光度法HJ82610總氰化物水質氰化物的測定容量法和分光光度法HJ484水質氰化物等的測定真空檢測管-電子比色法HJ659水質氰化物的測定流動注射-分光光度法HJ82311硫化物水質硫化物的測定碘量法HJ/T60水質硫化物的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T200水質硫化物的測定亞甲基藍分光光度法HJ122612氟化物水質氟化物的測定離子選擇電極法GB/T7484水質無機陰離子（F-、Cl-、NO-、Br-、NO-、PO3-、SO2-、SO2-）的測2 3 4 3 4定離子色譜法HJ84水質氟化物的測定茜素磺酸鋯目視比色法HJ487水質氟化物的測定氟試劑分光光度法HJ48813總銅水質銅、鋅、鉛、鎘的測定原子吸收分光光度法GB/T7475水質銅的測定二乙基二硫代氨基甲酸鈉分光光度法HJ485水質銅的測定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法HJ486水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ700水質32種元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ77614總鋅水質銅、鋅、鉛、鎘的測定原子吸收分光光度法GB/T7475水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ700水質32種元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ77615總鉛水質鉛的測定雙硫腙分光光度法GB/T7470水質銅、鋅、鉛、鎘的測定原子吸收分光光度法GB/T7475水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ700水質32種元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ77616總鎘水質鎘的測定雙硫腙分光光度法GB/T7471水質銅、鋅、鉛、鎘的測定原子吸收分光光度法GB/T7475水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ700水質32種元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ77617總鉻水質總鉻的測定GB/T7466水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ700水質32種元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ77618六價鉻水質六價鉻的測定二苯碳酰二肼分光光度法GB/T7467水質六價鉻的測定流動注射-二苯碳酰二肼光度法HJ90819總砷水質總砷的測定二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法GB/T7485水質痕量砷的測定硼氫化鉀-硝酸銀分光光度法GB/T11900水質汞、砷、硒、鉍和銻的測定原子熒光法HJ694水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ700水質32種元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ77688表4水污染物分析方法標準（續）序號污染物項目方法標準名稱方法標準編號20總鎳水質鎳的測定丁二酮肟分光光度法GB/T11910水質鎳的測定火焰原吸收分光光度法GB/T11912水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ700水質32種元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ77621總銀水質銀的測定火焰原子吸收分光光度法GB/T11907水質銀的測定3,5-Br2-PADAP分光光度HJ489水質銀的測定鎘試劑2B分光光度法HJ490水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ700水質32種元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ77622斑馬魚卵急性毒性水質急性毒性的測定斑馬魚卵法HJ1069大氣污染物監測與分析GB/T16157、HJ75、HJ/T373、HJ/T397、HJ732、HJ1286等規定執行。對于排放強度周期性波動的污染源，其污染物排放監測時段應涵蓋其排放峰值時段。1h1h3～41h，則應在排放階段實現連續監2～41h3～41h3～46.3.45表5污染源大氣污染物排放限值9序號污染物項目方法標準名稱方法標準編號1硫酸霧固定污染源廢氣硫酸霧的測定離子色譜法HJ5442氯化氫固定污染源排氣中氯化氫的測定硫氰酸汞分光光度法HJ/T27固定污染源廢氣氯化氫的測定硝酸銀容量法HJ548環境空氣和廢氣氯化氫的測定離子色譜法HJ5493氟化氫固定污染源廢氣氟化氫的測定離子色譜法HJ6884氯氣固定污染源排氣中氯氣的測定甲基橙分光光度法HJ/T30固定污染源廢氣氯氣的測定離子色譜法DB31/T3100145氰化氫固定污染源排氣中氰化氫的測定異煙酸-吡唑啉酮分光光度法HJ/T286錫及其化合物大氣固定污染源錫的測定石墨爐原子吸收分光光度法HJ/T65空氣和廢氣顆粒物中鉛等金屬元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ657空氣和廢氣顆粒物中金屬元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ7777氨環境空氣和廢氣氨的測定納氏試劑分光光度法HJ5338苯固定污染源廢氣揮發性有機物的測定固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質譜法HJ734固定污染源廢氣含三甲苯的苯系物的測定氣袋采樣-氣相色譜法附錄A固定污染源廢氣苯系物的測定氣袋采樣/直接進樣-氣相色譜法HJ12619苯系物固定污染源廢氣含三甲苯的苯系物的測定氣袋采樣-氣相色譜法附錄A固定污染源廢氣苯系物的測定氣袋采樣/直接進樣-氣相色譜法HJ126110總揮發性有機物固定污染源廢氣揮發性有機物的測定固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質譜法HJ734表5污染源大氣污染物排放限值（續）序號污染物項目方法標準名稱方法標準編號11非甲烷總烴固定污染源廢氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定氣相色譜法HJ38環境空氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定直接進樣-氣相色譜法HJ60412顆粒物固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態污染物采樣方法GB/T16157固定污染源廢氣低濃度顆粒物的測定重量法HJ83613氮氧化物固定污染源排氣中氮氧化物的測定紫外分光光度法HJ/T42固定污染源排氣中氮氧化物的測定鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ/T43固定污染源廢氣氮氧化物的測定非分散紅外吸收法HJ692固定污染源廢氣氮氧化物的測定定電位電解法HJ693固定污染源廢氣氮氧化物的測定便攜式紫外吸收法HJ1132固定污染源廢氣氣態污染物（SO2、NO、NO2、CO、CO2）的測定便攜式傅立葉變換紅外光譜法HJ1240達標判定要求采用手工監測時，按照監測規范要求獲得的監測數據等于或者小于排放限值時為達標排放。采用自動監測時，按照監測規范要求獲得的水污染物有效日均值等于或者小于排放限值時為達標排放，大氣污染物有效小時均值等于或者小于排放限值時為達標排放。8實施與監督8實施與監督本文件由生態環境主管部門負責監督實施。2024101企業是實施排放標準的責任主體，應采取必要措施，達到本文件規定的污染物排放控制要求。因VOCs10附錄 A（資料性）固定污染源廢氣含三甲苯的苯系物的測定氣袋采樣-氣相色譜法檢出限當進樣體積為1.0mL時，苯系物的檢出限分別為：——苯0.2mgm；——甲苯0.3mg/；——乙苯0.3mg/；——二甲苯（）0.3mg/；——苯乙烯0.3mgm；——三甲苯（1,35-1,241,23-）0.3mg/。方法原理（氣體干擾和消除在優化后的色譜條件下未見有明顯的干擾物質，如對定性結果有疑問，可采用氣相色譜-質譜儀試劑和材料苯系物標準氣體含苯、甲苯、乙苯、二甲苯（對-二甲苯、間-二甲苯、鄰-二甲苯）、苯乙烯、三甲苯（1,3,5-三甲苯、1,2,4-三甲苯、1,2,3-三甲苯）的標準氣體。試劑和材料苯系物標準氣體含苯、甲苯、乙苯、二甲苯（對-二甲苯、間-二甲苯、鄰-二甲苯）、苯乙烯、三甲苯（1,3,5-三甲苯、1,2,4-三甲苯、1,2,3-三甲苯）的標準氣體。采樣氣袋表面光滑程度和化學惰性相當于或優于PVF聚氟乙烯（Tedlar）材質的薄膜氣袋，有可接上采樣外L，根據分析方法所需的最少樣品體積來確定采樣氣袋的容積規格。高純氣體高純氣體濃度應符合以下要求：99.999%；99.999%；99.999%。儀器和設備除非另有說明，分析時均使用符合國家標準的A級玻璃量器。11準備1mL、5mL、10mL、50mL、100mL注射器。30m（長）×0.53mm（內徑）×1.0μm（膜厚）、固定液為聚乙二醇或其他等效毛細管色譜柱。氣袋采樣系統技術要求應符合HJ732中相關要求的氣袋采樣設備。樣品采集和保存有組織排放樣品的采集按照HJ732h內分析完畢。分析步驟氣相色譜參考條件氣象色譜參考條件應符合下列要求：——柱溫：初始溫度50℃，保持7.5min，以每分鐘25℃的速率升至140℃，保持10min；——進樣口：不分流進樣，溫度220℃；——氣體流量：高純氮氣，9mL/min；——檢測器：溫度250℃。FID分別從苯、甲苯、乙苯、二甲苯、苯乙烯和三甲苯的標準氣體中，按表B.1配制苯系物標準氣體。A.1苯系物標準氣體單位為毫克每立方米分別從苯、甲苯、乙苯、二甲苯、苯乙烯和三甲苯的標準氣體中，按表B.1配制苯系物標準氣體。A.1苯系物標準氣體單位為毫克每立方米將配置好的標準氣體通過氣袋進樣儀進樣，按照儀器參考條件（A.7.1），從低濃度到高濃度依次1mL（峰高12序號苯甲苯乙苯對-二甲苯間-二甲苯鄰-二甲苯苯乙烯1,3,5-三甲苯1,2,4-三甲苯1,2,3-三甲苯11.01.01.01.01.01.01.00.30.30.3210.010.0