ICS13.040.40CCSZ6031代替DB31/374—2006ThedischargestandardsofpollutantsforsemiconductorindustryIDB31/374—2024 2規范性引用文件 3術語和定義 4水污染物排放控制要求 5大氣污染物排放控制要求 6污染物監測要求 7達標判定要求 8實施與監督 附錄A（資料性）固定污染源廢氣含三甲苯的苯系物的測定氣袋采樣-氣相色譜法.11 DB31/374—2024本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定起草。本文件代替DB31/374—2006《半導體行業污染物排放標準》，與DB31/374—2006相比，除結構調整和編輯性改動外，主要技術變化如下：——更改了水污染物排放標準的標準分級：將原第一類污染物兩個級別的排放標準調整為執行同一級別的排放標準，將原第二類污染物三個級別的直接排放標準調整為同一個級別（見4.1，2006版的4.1.4）；——刪除了大氣污染物的排放速率控制方式（2006版的）；——更改了污染物控制項目：增加了水污染物控制項目石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑和總鋅（見表1）；取消了水污染物控制項目五日生化需氧量（2006版的4.1.4）；增加了大氣污染物控制項目氯氣、氰化氫、錫及其化合物、苯、苯系物、非甲烷總烴、顆粒物和氮氧化物（見5.1.1，2006版的）；——更改了部分污染物項目的排放限值：收嚴了懸浮物、化學需氧量、總有機碳、氨氮、總氰化物、總銅、總鉛、總鎘、總鎳等9項水污染物項目的排放限值（見4.1，2006版的4.1.4收嚴了硫酸霧、氯化氫、揮發性有機物等3項大氣污染物項目的排放限值（見5.1.1，2006版的）；——增加了邊界污染物監控要求（見5.3）；——更改了部分污染物項目的測定分析方法（見6.2.2和6.3.4，2006版的5.4——增加了達標判定要求（見8）。本文件由上海市生態環境局提出并組織實施。本文件由上海市生態環境保護標準化技術委員會歸口。本文件起草單位：上海市環境科學研究院、上海市集成電路行業協會。本文件主要起草人：裴蓓、邵一平、艾麗麗、盧士強、劉揚、陳昊、何姚軍、石建賓。本文件及其所代替文件的歷次版本發布情況為：——2006年首次發布為DB31/374—2006；——本次為第一次修訂。DB31/374—2024為貫徹《中華人民共和國環境保護法》《中華人民共和國大氣污染防治法》《中華人民共和國水污染防治法》《上海市環境保護條例》《上海市大氣污染防治條例》，引導半導體行業企業生產工藝和污染治理技術的進步和可持續發展，結合上海市的實際情況，對DB31/374—2006《半導體行業污染物排放標準》進行修訂。本文件由上海市人民政府2024年2月7日批準。1DB31/374—2024半導體行業污染物排放標準本文件規定了半導體行業水污染物排放控制要求、大氣污染物排放控制要求、污染物監測要求、達標判定要求、實施與監督等內容。本文件適用于半導體行業現有企業水和大氣污染物排放管理，以及新建企業環境影響評價、環境保護設施設計、竣工環境保護驗收、排污許可證核發及其投產后的水和大氣污染物排放管理。2規范性引用文件下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T7466水質總鉻的測定GB/T7467水質六價鉻的測定二苯碳酰二肼分光光度法GB/T7470水質鉛的測定雙硫腙分光光度法GB/T7471水質鎘的測定雙硫腙分光光度法GB/T7475水質銅、鋅、鉛、鎘的測定原子吸收分光光度法GB/T7484水質氟化物的測定離子選擇電極法GB/T7485水質總砷的測定二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法GB/T7494水質陰離子表面活性劑的測定亞甲藍分光光度法GB/T11893水質總磷的測定鉬酸銨分光光度法GB/T11900水質痕量砷的測定硼氫化鉀-硝酸銀分光光度法GB/T11901水質懸浮物的測定重量法GB/T11907水質銀的測定火焰原子吸收分光光度法GB/T11910水質鎳的測定丁二酮肟分光光度法GB/T11912水質鎳的測定火焰原子吸收分光光度法GB/T16157固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態污染物采樣方法GB37822揮發性有機物無組織排放控制標準GB39731電子工業水污染物排放標準HJ/T27固定污染源排氣中氯化氫的測定硫氰酸汞分光光度法HJ/T28固定污染源排氣中氰化氫的測定異煙酸-吡唑啉酮分光光度法HJ/T30固定污染源排氣中氯氣的測定甲基橙分光光度法HJ/T38固定污染源廢氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定氣相色譜法HJ/T42固定污染源排氣中氮氧化物的測定紫外分光光度法HJ/T43固定污染源排氣中氮氧化物的測定鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ/T55大氣污染物無組織排放監測技術導則HJ/T60水質硫化物的測定碘量法HJ/T65大氣固定污染源錫的測定石墨爐原子吸收分光光度法HJ/75固定污染源煙氣（SO2、NOX、顆粒物）排放連續監測技術規范HJ84水質無機陰離子（F-、Cl-、NO2-、Br-、NO3-、PO43-、SO32-、SO42-）的測定離子色譜法2DB31/374—2024HJ/T91.1污水監測技術規范HJ/T195水質氨氮的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T199水質總氮的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T200水質硫化物的測定氣相分子吸收光譜法HJ355水污染源在線監測系統（CODCr、NH3-N等）運行技術規范 HJ/T373固定污染源監測質量保證與質量控制技術規范（試行）HJ/T397固定源廢氣監測技術規范HJ/T399水質化學需氧量的測定快速消解分光光度法HJ484水質氰化物的測定容量法和分光光度法HJ485水質銅的測定二乙基二硫代氨基甲酸鈉分光光度法HJ486水質銅的測定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法HJ487水質氟化物的測定茜素磺酸鋯目視比色法HJ488水質氟化物的測定氟試劑分光光度法HJ489水質銀的測定3,5-Br2-PADAP分光光度HJ490水質銀的測定鎘試劑2B分光光度法HJ493水質采樣樣品的保存和管理技術規定HJ494水質采樣技術指導HJ495水質采樣方案設計技術指導HJ501水質總有機碳的測定燃燒氧化-非分散紅外吸收法HJ533環境空氣和廢氣氨的測定納氏試劑分光光度法HJ535水質氨氮的測定納氏試劑分光光度法HJ536水質氨氮的測定水楊酸分光光度法HJ537水質氨氮的測定蒸餾-中和滴定法HJ544固定污染源廢氣硫酸霧的測定離子色譜法HJ548固定污染源廢氣氯化氫的測定硝酸銀容量法HJ549環境空氣和廢氣氯化氫的測定離子色譜法HJ604環境空氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定直接進樣-氣相色譜法HJ636水質總氮的測定堿性過硫酸鉀消解紫外分光光度法HJ637水質石油類和動植物油的測定紅外分光光度法HJ657空氣和廢氣顆粒物中鉛等金屬元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ659水質氰化物等的測定真空檢測管-電子比色法HJ665水質氨氮的測定連續流動-水楊酸分光光度法HJ666水質氨氮的測定流動注射-水楊酸分光光度法HJ667水質總氮的測定連續流動-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ668水質總氮的測定流動注射-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ670水質磷酸鹽和總磷的測定連續流動-鉬酸銨分光光度法HJ671水質總磷的測定流動注射-鉬酸銨分光光度法HJ688固定污染源廢氣氟化氫的測定離子色譜法HJ692固定污染源廢氣氮氧化物的測定非分散紅外吸收法HJ693固定污染源廢氣氮氧化物的測定定電位電解法HJ694水質汞、砷、硒、鉍和銻的測定原子熒光法HJ700水質65種元素的測定電感耦合等離子體質譜法HJ732固定污染源廢氣揮發性有機物的采樣氣袋法3DB31/374—2024HJ734固定污染源VOCs的測定固相吸附-熱脫附-氣相色譜-質譜法HJ776水質32種元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ777空氣和廢氣顆粒物中金屬元素的測定電感耦合等離子體發射光譜法HJ819排污單位自行監測技術指南總則HJ823水質氰化物的測定流動注射-分光光度法HJ826水質陰離子表面活性劑的測定流動注射-亞甲基藍分光光度法HJ828水質化學需氧量的測定重鉻酸鹽法HJ836固定污染源廢氣低濃度顆粒物的測定重量法HJ908水質六價鉻的測定流動注射-二苯碳酰二肼光度法HJ944排污單位環境管理臺賬及排污許可證執行報告技術規范總則（試行）HJ1069水質急性毒性的測定斑馬魚卵法HJ1132固定污染源廢氣氮氧化物的測定便攜式紫外吸收法HJ1147水質pH值的測定電極法HJ1226水質硫化物的測定亞甲基藍分光光度法HJ1240固定污染源廢氣氣態污染物（SO2、NO、NO2、CO、CO2）的測定便攜式傅立葉變換紅外光譜法HJ1253排污單位自行監測技術指南電子工業HJ1261固定污染源廢氣苯系物的測定氣袋采樣/直接進樣-氣相色譜法HJ1286固定污染源廢氣非甲烷總烴連續監測技術規范DB31/T310014固定污染源廢氣氯氣的測定離子色譜法3術語和定義下列術語和定義適用于本文件。3.1半導體行業semiconductorindustry利用半導體材料制造半導體器件的行業。3.2現有企業existingfacility本文件實施之日前通過環境影響評價審批或已經投產運行的半導體行業企業、生產設施或研制線。3.3新建企業newfacility本文件實施之日起通過環境影響評價審批的半導體行業新建、改（擴）建建設項目。3.4標準狀態standardcondition溫度為273.15K、壓力為101325Pa時的狀態。注：本文件規定的大氣污染物排放濃度限值均以標準狀態下的干氣體為基準。[來源：DB31/933—2015,3.14,有修改]3.5直接排放directdischarge排污單位直接向環境水體排放水污染物的行為。[來源：GB39731—2020,3.11]4DB31/374—20243.6間接排放indirectdischarge排污單位向污水集中處理設施排放水污染物的行為。[來源：GB39731—2020,3.12]3.7揮發性有機物volatileorganiccompounds（VOCs）參與大氣光化學反應的有機化合物，或者根據有關規定確定的有機化合物。注：在表征VOCs總體排放情況時，采用總揮發性有機物（以TVOC表示）、非甲烷總烴（以NMHC表示）作為污染[來源：GB37822—2019,3.1,有修改]3.8總揮發性有機物totalvolatileorganiccompounds（TVOC）采用規定的監測方法，對廢氣中的單項VOCs物質進行測量，加和得到VOCs物質的總量，以單項VOCs物質的質量濃度之和計。注：實際工作中，按預期分析結果，對占總量90%以上的單項VOCs物質進行測量，加和得出。[來源：GB37822—2019,3.2,有修改]3.9非甲烷總烴NON-methanehydrocarbon（NMHC）采用規定的監測方法，氫火焰離子化檢測器有響應的除甲烷外的氣態有機化合物的總和，以碳的質量濃度計。[來源：GB37822—2019,3.3]4水污染物排放控制要求4.1半導體行業水污染物排放應符合表1規定的要求。表1污染源水污染物排放限值單位為毫克每升（pH除外）16～96～92334化學需氧量（COD）5678891115DB31/374—2024表1污染源水污染物排放限值（續）單位為毫克每升（pH除外）11理，且在企業出口端和半導體行業污水集中處理設施入口端均對水質和水量進行監測，則第15～21項指標可協單元出口執行本表規定的排放限值。當企業廢水排向其他污水集中處理設施時，第1～8項指標可協商確定間接排放限值，未協商的指標以及第9～21項指標執行本表規定的間接排放限值。4.2企業單位產品生產時的實際排水量高于GB39731規定的單位產品基準排水量時，按GB39731的要求進行水污染物排放濃度折算。注：單位產品基準排水量指用于核定水污染物排放濃度而規定的生產單位產品的排水量上限值。4.3半導體行業污水集中處理設施運營單位廢水綜合毒性的控制應符合GB39731的要求。5大氣污染物排放控制要求5.1有組織排放控制要求5.1.1半導體行業大氣污染物排放應符合表2規定的要求。表2污染源大氣污染物排放限值1523436DB31/374—2024表2污染源大氣污染物排放限值（續）5617氨8苯1985.1.2惡臭污染物有組織排放應符合DB31/1025的要求。5.1.3廢氣收集處理系統應與生產工藝設備同步運行。廢氣收集處理系統停止運行時，對應的生產工藝設備應停止運行，待檢修完畢后同步投入使用；生產工藝設備不能停止運行或不能及時停止運行的，應設置廢氣應急處理設施或采取其他替代措施。5.1.4排放氯氣、氰化氫的排氣筒高度不低于25m，其他排氣筒高度不低于15m（因安全考慮或由特殊工藝要求的除外）；確因安全考慮或其他特殊工藝要求，排氣筒低于15m時，排放要求需要加嚴的，根據環境影響評價文件確定。5.1.5當執行不同排放控制要求的廢氣合并排氣筒排放時，應在廢氣混合前進行監測，并執行相應的排放控制要求；若可選擇的監控位置只能對混合后的廢氣進行監測，則應按各排放控制要求中最嚴格的規定執行。5.2無組織排放控制要求5.2.1VOCs無組織排放應符合GB37822的要求。5.2.2惡臭污染物無組織排放應符合DB31/1025的要求。5.3邊界污染物監控要求企業邊界任何1h大氣污染物監控濃度應符合表3規定的要求。表3污染源大氣污染物排放限值序號污染物濃度限值1氰化氫0.0242氯氣0.13氯化氫0.157DB31/374—2024表3污染源大氣污染物排放限值（續）序號污染物濃度限值4非甲烷總烴4.05.4臺賬與記錄要求企業應按照HJ944、HJ1031要求建立臺帳，記錄保存期限不少于五年。6污染物監測要求6.1一般要求6.1.1企業應按照HJ819、HJ1253等規定，建立企業自行監測制度，制定自行監測方案，對污染物排放狀況及其對周邊環境質量的影響開展自行監測，保存原始監測記錄，并按規定公開污染物自行監測信息。6.1.2企業應按照HJ75、HJ355、HJ1286等規定，安裝和使用廢水和廢氣自動監控設備。6.1.3企業應在污染物處理設施的出口按照環境監測管理規定和技術規范的要求，設計、建設、維護永久性采樣口、采樣測試平臺和排污口標志。6.1.4實施執法監測期間，企業應提供工況數據的證明材料。6.1.5對企業排放廢水和廢氣的采樣，應根據監測污染物的種類，在規定的污染物排放監控位置進行，有廢水、廢氣處理設施的，應在處理設施后監控。根據企業使用的原料、生產工藝過程、生產的產品、副產品等，確定需要監測的污染物項目。6.1.6本文件發布實施后國家發布污染物監測方法標準，若適用性滿足要求，同樣適用于本文件相應污染物的測定。6.2水污染物監測與分析6.2.1水污染物的監測采樣，按HJ/T91.1、HJ493、HJ494、HJ495的規定執行。6.2.2水污染物的分析測定，應采用表4所列的方法標準。表4水污染物分析方法標準1234化學需氧量(COD)568DB31/374—2024表4水污染物分析方法標準（續）78水質磷酸鹽和總磷的測定連續流動9水質陰離子表面活性劑的測定流動注水質銅的測定2,9-二甲基-1,9DB31/374—2024表4水污染物分析方法標準（續）6.3大氣污染物監測與分析6.3.1排氣筒中大氣污染物的監測采樣按GB/T16157、HJ75、HJ/T373、HJ/T397、HJ732、HJ1286等規定執行。對于排放強度周期性波動的污染源，其污染物排放監測時段應涵蓋其排放峰值時段。6.3.2排氣筒中大氣污染物濃度可以任何連續1h采樣獲得平均值，或者在任何1h內以等時間間隔采集3個～4個樣品，計算平均值；對于間歇式排放且排放時間小于1h，則應在排放階段實現連續監測，或者在排放時段內以等時間間隔采集2個～4個樣品，計算平均值。6.3.3企業邊界大氣污染物的監測采樣，按HJ/T55的規定執行。一般以連續1h采樣獲取平均值；若分析方法靈敏高，僅需用短時間采集時，應在1h內以等時間間隔采集3個～4個樣品，計算平均值。6.3.4大氣污染物的分析測定執行表5所列的方法標準。表5污染源大氣污染物排放限值123456空氣和廢氣顆粒物中鉛等金屬元素的測空氣和廢氣顆粒物中金屬元素的測定7氨8苯9DB31/374—2024表5污染源大氣污染物排放限值（續）環境空氣總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定7達標判定要求7.1采用手工監測時，按照監測規范要求獲得的監測數據等于或者小于排放限值時為達標排放。7.2采用自動監測時，按照監測規范要求獲得的水污染物有效日均值等于或者小于排放限值時為達標排放，大氣污染物有效小時均值等于或者小于排放限值時為達標排放。7.3企業未遵守本文件規定的措施性控制要求，構成違法行為的，依照法律法規等有關規定予以處理。8實施與監督8.1本文件由生態環境主管部門負責監督實施。8.2新建企業自本文件實施之日起，現有企業自2024年10月1日起執行本文件要求。8.3企業是實施排放標準的責任主體，應采取必要措施，達到本文件規定的污染物排放控制要求。因安全因素或特殊工藝要求不能滿足本文件規定的VOCs無組織排放控制要求，應采取符合規定的其他等效污染控制措施或依據排污許可證相關要求執行。DB31/374—2024（資料性）固定污染源廢氣含三甲苯的苯系物的測定氣袋采樣-氣相色譜法A.1檢出限當進樣體積為1.0mL時，苯系物的檢出限分別為：——苯0.2mg/m3；——甲苯0.3mg/m3；——乙苯0.3mg/m3；——二甲苯（對-二甲苯、間-二甲苯、鄰-二甲苯）0.3mg/m3；——苯乙烯0.3mg/m3；——三甲苯（1,3,5-三甲苯、1,2,4-三甲苯、1,2,3-三甲苯）0.3mg/m3。A.2方法原理苯系物（氣體）用氣袋采樣，注入氣相色譜儀，經毛細管色譜柱分離，用氫火焰離子化檢測器測定，以保留時間定性，峰高（或峰面積）外標法定量。A.3干擾和消除在優化后的色譜條件下未見有明顯的干擾物質，如對定性結果有疑問，可采用氣相色譜-質譜儀（GC/MS）定性。A.4試劑和材料A.4.1苯系物標準氣體含苯、甲苯、乙苯、二甲苯（對-二甲苯、間-二甲苯、鄰-二甲苯）、苯乙烯、三甲苯（1,3,5-三甲苯、1,2,4-三甲苯、1,2,3-三甲苯）的標準氣體。A.4.2采樣氣袋表面光滑程度和化學惰性相當于或優于PVF聚氟乙烯（Tedlar）材質的薄膜氣袋，有可接上采樣外管的聚四氟乙烯樹脂（Teflon）材質的接頭，該接頭同時也是一個可開啟和關閉，使氣袋內與外界空氣連通和隔絕的閥門裝置。采樣氣袋的容積至少1L，根據分析方法所需的最少樣品體積來確定采樣氣袋的容積規格。A.4.3高純氣體高純氣體濃度應符合以下要求：——高純空氣：純度99.999%；——高純氮氣：純度99.999%；——高純氫氣：純度99.999%。A.5儀器和設備A.5.1除非另有說明，分析時均使用符合國家標準的A級玻璃量器。A.5.2氣相色譜儀應具有分流不分流進樣口，可程序升溫，配有氫火焰離子化檢測器（FID）。色譜數據處理工作站或與儀器相匹配的積分儀。DB31/374—2024A.5.3準備1mL、5mL、10mL、50mL、100mL注射器。A.5.4毛細管色譜柱應為30m（長）×0.53mm（內徑）×1.0μm（膜厚）、固定液為聚乙二醇或其他等效毛細管色譜柱。A.5.5氣袋采樣系統技術要求應符合HJ732中相關要求的氣袋采樣設備。A.6樣品采集和保存有組織排放樣品的采集按照HJ732的規定執行。將采集好的氣袋樣品在室溫條件下，避光保存，24h內分析完畢。A.7分析步驟A.7.1氣相色譜參考條件A.7.1.1氣象色譜參考條件應符合下列要求：——柱溫：初始溫度50℃,保持7.5min，以每分鐘25℃的速率升至140℃,保持10min；——進樣口：不分流進樣，溫度220℃;——氣體流量：高純氮氣，9mL/min；——檢測器：溫度250℃。A.7.1.2待儀器的各項參數達到方法規定的值，并確定FID基線走平后進行樣品分析。A.7.2工作曲線的繪制分別從苯、甲苯、乙苯、二甲苯、苯乙烯和三甲苯的標準氣體中，按表B.1配制苯系物標準氣體。表A.1苯系物標準氣體苯123456將配置好的標準氣體通過氣袋進樣儀進樣，按照儀器參考條件（A.7.1），從低濃度到高濃度依次測定。取1mL進樣，以峰面積（峰高）為縱坐標，苯、甲苯、乙苯、二甲苯、苯乙烯、三甲苯的濃度為橫坐標，繪制工作曲線。苯系物標準譜圖見圖A.1。DB31/374—2024圖A.1苯、甲苯、乙苯、對-二甲苯、間-二甲苯、鄰-二甲苯、1,3,5-三甲苯、苯乙烯、1,2,4-三甲苯和1,2,3-三甲苯色譜圖A.7.3樣品測定按工作曲線（A.7.2）相同條件，準確取1mL樣品氣體注入氣袋進樣儀，按繪制工作曲線相同的條件進行樣品分析。A.7.4空白試驗按工作曲線（A.7.2）相同條件，取氮氣進行空白試驗。A.8結果計算與表示A.8.1結果計算A.8.1.1外標法根據測得固定污染源廢氣中目標化合物的峰面積（峰高從校準曲線直接計算目標化合物的濃度。固定污染源廢氣中目標化合物的濃度按下式計算：式中：ρ——目標化合物濃度，單位為毫克每立方米（mg/m3H——測得目標化合物的峰面積（峰高單位為平方米（m2E——