實驗設(shè)計基礎(chǔ)(DOE)改進和創(chuàng)新最有效的工具；利用最少的資源，獲得最佳的結(jié)果；“不掌握實驗設(shè)計(DOE)的工程師，只能算是半個工程師。”──質(zhì)量工程學(xué)創(chuàng)始人田口玄一(G.Taguchi)實驗設(shè)計(DesignofExperiments,縮寫為DOE)，是研究如何制定適當(dāng)?shù)膶嶒灧桨福瑢嶒灁?shù)據(jù)進行有效的統(tǒng)計分析的數(shù)學(xué)理論與方法。它對于解決多因素優(yōu)化問題，有效的提高產(chǎn)品質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本卓有成效。現(xiàn)已為美國和日本企業(yè)廣泛使用。實驗設(shè)計還可應(yīng)用于改進企業(yè)管理，調(diào)整產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，制定高效生產(chǎn)計劃等。實驗設(shè)計(DOE)也是DMAIC路徑中改善階段的主要工具之一。實驗設(shè)計廣泛應(yīng)用于設(shè)計、制造與封裝領(lǐng)域，直接改善工藝菜單，優(yōu)化流程。本課程主要介紹了實驗設(shè)計的思想，實驗的計劃、實施、數(shù)據(jù)分析、驗證及推薦方案，完全析因?qū)嶒炁c篩選實驗的設(shè)計與應(yīng)用，舉例豐富，許多為經(jīng)實際檢驗過的成功案例。本課程集實驗設(shè)計思想、Minitab/JMP軟件應(yīng)用、統(tǒng)計方法及半導(dǎo)體專業(yè)知識于一體，是目前質(zhì)量改善階段篩選關(guān)鍵因子與改善工藝窗口的有效工具。企業(yè)選送參加培訓(xùn)的人員，將在DOE專家的指導(dǎo)下，接受2~3天的集中訓(xùn)練，通過教學(xué)游戲和案例講解，掌握實驗設(shè)計與數(shù)據(jù)處理的基本原理與應(yīng)用方法，從而能夠在今后實際工作中設(shè)計合理的實驗方案及合理處理有關(guān)實驗數(shù)據(jù)，解決實際問題，達(dá)到持續(xù)改進，優(yōu)化核心流程的目的。課程目標(biāo)：學(xué)習(xí)實驗設(shè)計的基礎(chǔ)理論和分析路徑；掌握實驗設(shè)計使用方法；提高解決實際生產(chǎn)和科研中實驗問題的能力；掌握如何在DMAIC的改善階段合理使用實驗設(shè)計的方法；使用Minitab/JMP來進行實驗設(shè)計與分析，獲得最佳結(jié)果變得方便容易。課程特色：將結(jié)合豐富的中外案例進行分析，并詳細(xì)剖析學(xué)員在實際生產(chǎn)中使用DOE得到改善而產(chǎn)生巨大經(jīng)濟效益的真實案例。啟迪性諺語、典故等授課，使參訓(xùn)人員在輕松活躍的氛圍中，充分掌握課程內(nèi)容，并在互動的分享交流中增加收獲。實驗設(shè)計基礎(chǔ)案例賞析項目簡介與效果減少結(jié)漏電項目背景說明：在0.5mm工藝轉(zhuǎn)移時，曾經(jīng)發(fā)生過結(jié)漏電的現(xiàn)象。漏電主要是由于磷注入的均勻性不好造成的，我們發(fā)現(xiàn)在靠近晶片平邊的附近，磷注入的濃度要高于其他部分。多晶刻蝕的速率是與磷的濃度成正比的。由于晶片平邊的多晶磷濃度高，而導(dǎo)致刻蝕速率過高，造成多晶改進措施由于實驗次數(shù)的限制，我們只能做16次實驗，因為不存在曲率，我們不加中心點，這就是25-1實驗，這時R=Ⅴ，可達(dá)分辨度為Ⅴ的設(shè)計。各主效應(yīng)間沒有混雜，主效應(yīng)與二階交互效應(yīng)間也沒有混雜，二階交互效應(yīng)與其他二階交互效應(yīng)也沒有混雜，因此，我們就用25-1部分析因?qū)嶒炘O(shè)計。圖1加上強約束條件的等值線圖結(jié)論從二組結(jié)果來分析，似乎第二組結(jié)果更為理想。從效果來看，完全可以認(rèn)為已達(dá)到目標(biāo)，則可以結(jié)束實驗。但此時不要忘記做驗證實驗，以確保將來按最佳條件生產(chǎn)能獲得預(yù)期效果。我們現(xiàn)在的任務(wù)就是計算出，將來的實驗結(jié)果應(yīng)該落在什么范圍內(nèi)，進一步計算出m次驗證