0引言玻璃基板作為液晶顯示面板最關鍵的原材料之一，主要用作薄膜晶體管的底板和彩色濾光片，即TFT和CF。液晶顯示面板對玻璃基板有著多項指標要求，密度是其中之一，一般要求不超過2.6g/cm3。這個指標對于玻璃基板制造商是很容易達到的，但是在實際應用過程中，一些質量問題與玻璃基板的密度有著緊密的聯系，需要更加深入地研究玻璃基板的密度。檢測和管控玻璃的密度是一種快捷有效發現問題和解決問題的方法。密度測試的標準方法規定測定密度前對玻璃樣品進行精密退火，以消除玻璃內部殘余應力的影響。本文通過對實際問題的研究，發現玻璃基板原片密度，對于管控玻璃基板的質量和分析解決液晶面板制程中的有關問題非常重要。1檢測和管控玻璃密度的意義（1）監控玻璃的理化性能、補正料方玻璃的理化性能必須穩定在一定的范圍內才能滿足使用要求。決定玻璃理化性能的主要是玻璃的成分和結構，因此玻璃成分需要每日都檢測。CRT玻殼的成分檢測比較繁瑣，需要將玻璃樣品研磨成粉末，加入助熔劑熔制成玻璃片，才能用X射線熒光光譜儀檢測。制樣過程中的顆粒效應、化學試劑的添加、熔樣的均勻性、熔樣模具的質量等都會產生一定的檢測誤差。（2）監控生產工藝的穩定性原料成分的變化、配料稱量誤差和配合料均勻度的波動、熔制工藝的波動等都可能引起玻璃密度的變化。配料過程中的誤操作、稱量的精度、輸送過程中的飛散損失會產生配料的誤差，致使玻璃的成分發生變化，引起密度的波動。熔制工藝中的溫度波動可能導致易揮發原料的揮發率變化，從而使玻璃的成分發生變化，引起密度的波動。（3）監控成形、退火工藝的穩定性玻璃的成形是一個從液態到固態、從高溫到低溫的過程，在此過程中，熱歷史對玻璃的密度有著較大的影響。玻璃的黏度大，導熱性差，使結構狀態的變化大大遲于溫度的變化。玻璃從高溫冷卻下來，淬火（急冷）玻璃比退火（緩冷）玻璃的密度低。一組風冷瓶子的密度比緩慢退火瓶子的密度低了0.0041g/cm3。2玻璃基板密度測試實驗在同一批次液晶玻璃基板產品中隨機抽取8片，從每片玻璃基板的固定位置切取60mm×60mm的樣品4塊，檢測玻璃基板原片的密度。將檢測過的樣品在馬弗爐內進行精密退火，設定退火溫度730℃，時間2h，溫度控制精度±2℃，檢測退火后的玻璃基板密度。3分析與討論玻璃基板原片密度與退火后玻璃密度測試數據見表1，測試曲線見圖1。圖1玻璃基板原片密度和退火后玻璃密度對比曲線（1）實驗數據分析退火處理后，玻璃基板樣品的密度值增加，玻璃結構更加致密。經計算，密度值平均增加0.0066g/cm3。玻璃基板原片密度波動大于退火后密度的波動。玻璃基板原片密度最小值為2.3799g/cm3，最大值為2.3833g/cm3，極差為0.0034g/cm3；退火后檢測的密度最小值為2.3874g/cm3，最大值為2.3884g/cm3，極差為0.0010g/cm3。（2）存在問題隨著液晶顯示技術的不斷更新換代，液晶顯示產品越來越追求高品質，像素更加微型化，圖像更細膩逼真。在工藝制程上，需要在玻璃基板上進行多次鍍膜、多次曝光、反復加熱。由于玻璃是處于熱力學的介穩狀態，具有極高的能級。在受到反復加熱的過程中，有自發到低能級穩定狀態的趨勢，所以結構上會發生變化，引起微小的形變。盡管這種形變只有×10-6級，但是對于高精度的顯示面板也是足以致命的缺陷，主要表現為面板發生翹角或翹邊、TP（TotalPitch，全面積尺寸）不良等缺陷，有的批次表現特別明顯，批次與批次之間差別較大，或個別批次內產品之間的差別也較大，嚴重時導致生產不能正常進行。（3）結果與討論以上問題的出現與玻璃的抗形變能力有關，涉及到玻璃的應變點、彈性模量等性能。批次之間的波動或同一批次內的波動說明產品的一致性不夠好。從本文對密度的實驗數據可以看出，通過密度檢測的方式可以對玻璃基板抗再熱形變的能力做初步的判斷。在實驗中，如果依據傳統檢測密度的方法，通過退火方式消除應力后檢測玻璃基板的密度，得到密度的數據是比較穩定的，這種檢測的方式只能反映與成分有關的因素，不能反映出玻璃內部結構上的變化，也就不能反映面板生產廠家遇到的形變問題。4結語玻璃密度檢測的標準方法規定了檢測密度前應對樣品進行退火處理，但通過對比玻璃基板原片密度和退火后玻璃密度發現，玻璃基板退火后的密度是非常穩定的，不能客觀反映出液晶面板生產中出現的翹角、翹邊、TP不良等形變問題。液晶面板生