ICS7104040

CCSG.04.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T28892—2024/ISO154702017

:

代替GB/T28892—2012

表面化學(xué)分析X射線光電子能譜

選擇儀器性能參數(shù)的表述

Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—

Descriptionofselectedinstrumentalperformanceparameters

ISO154702017IDT

(:,)

2024-03-15發(fā)布2024-07-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T28892—2024/ISO154702017

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

縮略語(yǔ)

4……………………1

選擇儀器性能參數(shù)的表述

5………………1

分析方法

5.1……………1

樣品

5.2…………………1

系統(tǒng)構(gòu)成

5.3……………1

射線源

5.4X……………2

譜儀強(qiáng)度性能和能量分辨

5.5…………2

譜儀能量標(biāo)

5.6…………………………2

譜儀強(qiáng)度線性

5.7………………………2

譜儀響應(yīng)函數(shù)

5.8………………………2

成像和選區(qū)分辨

5.9……………………2

荷電中和

5.10……………3

變角

5.11XPS…………………………3

真空環(huán)境

5.12……………4

參考文獻(xiàn)

………………………5

Ⅰ

GB/T28892—2024/ISO154702017

:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替表面化學(xué)分析射線光電子能譜選擇儀器性能參數(shù)的表

GB/T28892—2012《X

述與相比除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外主要技術(shù)變化如下

》,GB/T28892—2012,,:

更改了術(shù)語(yǔ)和定義見第章年版的第章

a)(3,20123);

更改了方法見年版的

b)2(5.9.3,20125.9.3)。

本文件等同采用表面化學(xué)分析射線光電子能譜選擇儀器性能參數(shù)的表

ISO15470:2017《X

述

》。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本文件起草單位廈門荷清教育咨詢有限公司廈門大學(xué)

:、。

本文件主要起草人湯丁亮李建輝徐富春岑丹霞劉芬王水菊

:、、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T28892—2012;

本次為第一次修訂

———。

Ⅲ

GB/T28892—2024/ISO154702017

:

引言

全球有多家廠商生產(chǎn)射線光電子能譜儀盡管每臺(tái)儀器的分析方法的基本原理是相同

X。XPS

的但儀器的具體設(shè)計(jì)和性能說(shuō)明的方式各不相同因此通常很難比較不同廠商生產(chǎn)的儀器性能本

,。,。

文件提供了一個(gè)基本項(xiàng)目單以使所有射線光電子能譜儀能以共同的方式來(lái)表述本文件無(wú)意取代

,X。

廠商的說(shuō)明書廠商的說(shuō)明書可以長(zhǎng)達(dá)頁(yè)或更多本文件目的是使廠商說(shuō)明書中確定的某些項(xiàng)目具

,30。

有一致和明確的含義

。

Ⅳ

GB/T28892—2024/ISO154702017

:

表面化學(xué)分析X射線光電子能譜

選擇儀器性能參數(shù)的表述

1范圍

本文件描述了表述射線光電子能譜儀特定性能參數(shù)的方法

X。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

所有部分表面化學(xué)分析詞匯

ISO18115()(Surfacechemicalanalysis-Vocabulary)

注表面化學(xué)分析詞匯第部分通用術(shù)語(yǔ)及譜學(xué)術(shù)語(yǔ)

:GB/T22461.1—20231:(ISO18115-1:2013,IDT)

表面化學(xué)分析詞匯第部分掃描探針顯微術(shù)術(shù)語(yǔ)

GB/T22461.2—20232:(ISO18115-2:2021,MOD)

3術(shù)語(yǔ)和定義

所有部分界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

ISO18115()。

4縮略語(yǔ)

下列縮略語(yǔ)適用于本文件

。

半高峰寬

FWHM: