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文檔簡介
嚴格耦合波算法(RCWA)rigorouscoupled-waveanalysis2023最新整理收集do
something應用及優點最初用于研究表面周期結構光柵的透射、反射和衍射問題。演化到計算由周期性排列人工諧振單元構成的特異材料的宏觀電磁響應算法本身是固有穩定的,有較高的計算效率,當增加平面波展開數目時會快速收斂算法介紹TE波沿x向展開傅立葉級數Vol.12,No.5/May1995/J.Opt.Soc.Am.A在光柵區即0<z<d
磁場和電場應滿足麥克斯韋方程簡化
可設上述二階線性微分方程的假設解為
是特征向量矩陣W的對應元素,對應特征值的正平方根利用邊界條件求解未知數在光柵表面
z<0處0<z<d在z=0的邊界上電場切向連續
=>聯立同樣聯立在界面z=d上電場切向分量連續,可得由邊界條件組成的方程組可解得進而得到光柵的反射,透射電場、磁場增強傳輸矩陣方法
enhancedtransmittancematrixapproach在計算多層結構的傳輸矩陣時由于在多層介質中可能存在倏逝場導致矩陣元趨近于0,從而在求逆過程中出現極大的數值,在數值計算過程中電腦的存儲精度限制導致計算的精度下降和不穩定性出現,增強傳輸矩陣方法用于解決這一問題TE分量如圖,給出介質表面,每層介質中及透射波電場其中J.Opt.Soc.Am.A/Vol.12,No.5/May1995在每層界面上分析邊界條件(1)Z=0(2)在層與層即z=(3)在最后一層邊界即z=將以上各式逐層迭代得到傳輸矩陣為一個很大的正值,導致快速衰減而趨近于零
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