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文檔簡介

3.單晶硅錠:整體基本呈圓柱形,重約100千克,硅純度99.9999%。圓都是圓形的了吧?的那種。晶圓旋轉可以讓光刻膠鋪的非常薄、非常平。10.藍色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻膠還是用來保護不會離子注入的那部分材料。15.銅層:電鍍完成后,銅離子沉積在晶圓表面,形成一個薄薄的銅層。16.拋光:將多余的銅拋光掉,也就是磨光晶圓表面。19.晶圓測試:內核級別,大約10毫米/0.5英寸。圖中是晶圓的局部,正在接受第一次功能性測試,使用20.晶圓切片(Slicing)300/12(Die)。

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