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分子泵維修常見問題故障查找故障故障現象發送并行“啟動”命令后泵不旋轉發送串行“啟動”命令后泵不旋轉泵在多站模式下不響應橙色狀態LED閃爍錯誤代碼運行時額定LED不亮或泵沒有以全速旋轉或泵出現檢查電源是否出現故障檢查電源是否打開并且故障輸出是否活動檢查泵是否回復“啟動”命令檢查是否啟用多站模式注意每個序列6下閃爍中長閃爍的位置，以解讀錯操作確保電源已打開并且保險絲（及限流設備）未松轉軸任然不旋轉，則表示如果沒有回復，則應檢查串行通信鏈接是否通電并且“串行啟用”是否激活以及電源是否打開。檢查橙色狀態LED是否閃爍。確保泵有多站地址并且使用多站協議發送命令。查閱相關錯誤代碼并按照所提供的說明進行操作如果是這樣，應減小抽取負載或檢查系統是否有大增加泵的冷卻。可能需要從通風冷卻變成水冷。可能需要增大冷卻水流量或降低水溫或同時采取這兩種措施。檢查外部熱源確保沒有輻射過多熱量。如果不是，泵軸承可能已無法達到極限壓力壓力是否因水蒸氣而受無法達到極限壓力壓力是否因水蒸氣而受是否任何真空壓力表有污是否任何真空壓力表有污抽取速度是否不足（由于泵和壓力表接觸不良或中使其接觸良好或減小體層間入口壓力是否>0.5層間入口壓力是否>0.5mbar(50pa)渦輪分子泵上的入口壓力會增大；應確保層間入口壓力<0.5mbar(50pa)。前級壓力是否>10mbar前級壓力是否>10mbar?能太大。檢查后備管道是否有泄漏。如果對處理能力要求較高，則可能需要系統的高真空區域是否有如果是這樣，應清潔高真系統的高真空區域是否有檢查系統的其它部分是否泵轉速與所連接系統的共震動是從轉動的后備泵傳噪音是不是不規則并且越泵是不是發出持續的嘯如果發現有，則應修補泄漏處并清除污物。如果是這樣，則應更改系統的固有頻率或使用活動如果是這樣，則表示軸承如果是這樣，則表示轉軸如

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