標準解讀

《YS/T 987-2014 氯硅烷中碳雜質的測定方法 甲基二氯氫硅的測定》是一項針對氯硅烷中特定類型碳雜質——甲基二氯氫硅含量檢測的標準。該標準適用于多晶硅生產過程中使用的原料或中間產物氯硅烷內甲基二氯氫硅含量的定量分析。

根據標準描述，測定采用氣相色譜法進行。具體操作流程包括樣品準備、儀器條件設定及數據分析等步驟。首先，需要將待測樣品通過適當方式處理后進樣；其次，在選定的操作條件下（如柱溫、載氣流速等），利用配備有火焰離子化檢測器（FID）或其他合適檢測器的氣相色譜儀對樣品中的組分進行分離與檢測；最后，基于標準物質建立的校準曲線來計算出樣品中目標化合物的實際濃度。

此外，《YS/T 987-2014》還規定了方法精密度要求以及實驗室間比對試驗的具體實施辦法，確保不同實驗室之間能夠獲得可比且可靠的結果。此部分內容對于保證分析數據的一致性和準確性至關重要。

該標準為相關行業提供了一種科學有效的手段來監控和控制氯硅烷產品質量，有助于提高整個產業鏈的技術水平和競爭力。


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....

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  • 2014-10-14 頒布
  • 2015-04-01 實施
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文檔簡介

ICS7704030

H17..

中華人民共和國有色金屬行業標準

YS/T987—2014

氯硅烷中碳雜質的測定方法

甲基二氯氫硅的測定

Testmethodformeasuringcarboncontainingcompoundinchlorosilane—

Determinationofmethyldichlorosilane

2014-10-14發布2015-04-01實施

中華人民共和國工業和信息化部發布

YS/T987—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準負責起草單位四川新光硅業科技有限責任公司

:。

本標準參加起草單位樂山樂電天威硅業科技有限責任公司東方電氣集團峨嵋半導體材料有限公

:、

司陜西天宏硅材料有限責任公司洛陽中硅高科技有限公司南京中鍺科技股份有限公司新特能源股

、、、、

份有限公司

。

本標準主要起草人敖細平王波黃代文梁洪劉暢姚淑荊凡楊艷芬銀波黃彬

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T987—2014

氯硅烷中碳雜質的測定方法

甲基二氯氫硅的測定

1范圍

本標準規定了氯硅烷中碳雜質的測定方法主要包括三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測定和四氯化硅

,

中甲基二氯氫硅的測定

。

本標準適用于三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測定和四氯化硅中甲基二氯氫硅的測定三氯氫硅四

。、

氯化硅中甲基二氯氫硅的檢測范圍均為

0.00001%~1.00%。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

高純氦

GB/T4844.3

3方法原理

本標準采用二氯乙烷作為內標物利用氣相色譜質譜儀測定三氯氫硅和四氯化硅

1,2-,-(GC-MS)

中甲基二氯氫硅的含量氣相色譜質譜儀通過極性毛細管色譜柱將三氯氫硅或四氯化硅的主體和碳

。-

雜質分開確定其保留時間利用吹掃裝置將氣相色譜分離后的三氯氫硅或四氯化硅主體排出將碳雜

,。,

質導入質譜儀進行分析用氣相色譜質譜儀的定性模式對樣品三氯氫硅和四氯化硅中碳雜質進行全

。-

掃描分析僅發現有甲基二氯氫硅離子峰的存在因此本標準主要對三氯氫硅或四氯化硅中的甲基二氯

,,

氫硅進行分析

。

4試劑和材料

除非另有說明分析時均使用符合國家標準的試劑或材料

,。

41高純氦氣應符合的規定

.,GB/T4844.3。

42甲基二氯氫硅色譜純

.,。

43二氯乙烷色譜純

.1,2-,。

44正辛烷色譜純

.,。

45三氯氫硅光譜純

.,。

46四氯化硅光譜純

.,。

5儀器與設備

51氣相色譜質譜儀

.-

在儀器最佳工作條件下凡是能達到下列指標者均可使用

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