標準解讀

《YS/T 1141-2016 鈦蒸發料》是中國有色金屬行業標準之一，該標準規定了用于制造半導體、光電材料等領域中高純度鈦金屬薄膜的鈦蒸發料的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和貯存等方面的要求。根據此標準，鈦蒸發料指的是通過物理氣相沉積（PVD）技術，在特定條件下能夠蒸發形成均勻薄膜的鈦或鈦合金材料。

對于化學成分而言，《YS/T 1141-2016 鈦蒸發料》明確了不同等級鈦蒸發料的具體化學成分范圍，包括但不限于鈦含量不低于99.9%，同時對雜質元素如鐵、硅、氧等設定了嚴格的上限值，以確保材料的高純度特性。此外，還對某些特殊用途下的鈦蒸發料提出了更高的純度要求。

在物理性能方面，該標準也給出了明確的規定，比如外觀應無裂紋、氣孔等缺陷；密度需達到一定標準；粒度分布也有具體要求，以便于控制蒸發過程中的成膜質量。針對形狀與尺寸，則根據不同應用場景給出了推薦規格，并允許供需雙方協商確定最終產品形式。

為了保證產品質量，《YS/T 1141-2016 鈦蒸發料》詳細列出了相應的測試方法，涵蓋了從原材料進廠檢驗到成品出廠前的各項檢測程序。這其中包括采用電感耦合等離子體質譜法測定化學成分；使用電子天平測量密度；通過顯微鏡觀察表面狀況等。所有這些測試都旨在確保每批次產品的穩定性和一致性。


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  • 2016-07-11 頒布
  • 2017-01-01 實施
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文檔簡介

ICS77.150.50

H64

中華人民共和國有色金屬行業標準

YST1141—2016

鈦蒸發料

Evaporatedtitaniummaterial

2016-07-11發布2017-01-01實施

中華人民共和國工業和信息化部發布

YST1141—2016

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位有研億金新材料有限公司中國有色金屬工業標準計量質量研究所

:、。

本標準主要起草人張濤劉書芹何金江萬小勇徐學禮羅俊鋒丁照崇王越高巖劉冬青

:、、、、、、、、、、

吳艷華

。

Ⅰ

YST1141—2016

鈦蒸發料

1范圍

本標準規定了鈦蒸發料的要求試驗方法檢驗規則和標志包裝運輸貯存及質量證明書與合同

、、、、、

或訂貨單內容

()。

本標準適用于半導體行業用的鈦蒸發料

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

計數抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

海綿鈦鈦及鈦合金化學分析方法氧量氮量的測定

GB/T4698.7、、

海綿鈦鈦及鈦合金化學分析方法碳量的測定

GB/T4698.14、

海綿鈦鈦及鈦合金化學分析方法氫量的測定

GB/T4698.15、

高純鈦化學分析方法痕量雜質元素的測定輝光放電質譜法

YS/T891

高純鈦化學分析方法痕量雜質元素的測定電感耦合等離子體質譜法

YS/T892

3要求

3.1產品分類

3.1.1產品按照純度分為三個牌號

IC-Ti99.9、IC-Ti99.995、IC-Ti99.999。

3.1.2產品主要分為片狀柱狀如圖所示

、,1。

說明

:

A邊長

———;

B邊長

———;

C厚度

———;

D直徑

———;

L長度

———。

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