中華人民共和國國家計量檢定系統表

JJG2018—1989

表面粗糙度計量器具

MeasuringInstrumentsforSurfaceRoughness

1989-06-22發布1990-04-01實施

國家技術監督局發布

JJG2018—1989

表面粗糙度計量器具檢定系統表??

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VerificationSchemeofMeasurinInstruments?JJG2018—1989?

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forSurfaceRoughness

本國家計量檢定系統表經國家技術監督局于年月日批準

19890622,

并自年月日起施行

19900401。

起草單位中國計量科學研究院

:

本檢定系統表技術條文由起草單位負責解釋

JJG2018—1989

本檢定系統表主要起草人

:

毛起廣中國計量科學研究院

()

參加起草人

:

金良元中國計量科學研究院

()

JJG2018—1989

目錄

一計量基準器具

………………………(1)

二計量標準器具

………………………(1)

三工作計量器具

………………………(2)

四表面粗糙度計量器具檢定系統框圖

………………(2)

Ⅰ

JJG2018—1989

表面粗糙度計量器具檢定系統表*

本檢定系統表規定了表面粗糙度R和R參數為以及R參數為

zy0.1~80μma0.1~

范圍內的國家計量基準所包含的全套主要計量器具和主要計量學參數從國家計

10μm,

量基準器具通過標準計量器具向工作計量器具進行量值傳遞的程序并指明誤差和基本

,

檢定方法

。

一計量基準器具

表面粗糙度國家基準用于復現和保存粗糙度參數R和R在測量范圍

zy0.1~80μm

內以及R參數在測量范圍內的長度單位通過計量標準器具向國內各生

a0.1~10μm,

產和使用單位的工作計量器具傳遞量值以保證全國表面粗糙度量值的統一

,。

國家基準由下列全套計量器具組成

:

有專用單色光源的干涉顯微鏡基準裝置

;

觸針式表面粗糙度測量系統包括專用微機系統連接硬件和成套軟件

,、;

一組表面粗糙度基準樣板和基準階梯量塊組

。

國家基準保證當測量微觀不平度高度的極值參數R和R時在范

:yz,0.1~1μm

圍內其未消除的系統誤差s不超過隨機誤差單次測量的標準偏差

,()0.005μm,(

σ不超過在范圍內s不超過σ不超過

)0.005μm;>1~80μm,0.03μm,0.03μm。

當測量微觀不平度輪廓算術平均高度R參數時在范圍內其未

a,0.1~0.25μm,

消除的系統誤差s不超過隨機誤差單次測量的標準偏差σ不超過

()0.005μm,()

在范圍內s不超過σ不超過

0.002μm;>0.25~10μm,0.007μm,0.003μm。

為了保證按上述準確度復現表面粗糙度參數R以及RRy測量的長度單位必

az、,

須遵守國家基準的保管使用規則和測量操作程序

、。

二計量標準器具

采用表面粗糙度標準樣板作為粗糙度量值傳遞的主要計量標準器具標準樣板的型

。

式有兩大類一類為標準單刻線樣板包括組成階梯高度的階梯式實物標準單刻線

:(),

溝槽深度或階梯高度為范圍用作傳遞微觀不平度高度極值參數Ry

()0.1~80μm,

和R的標準器具另一類為標準多刻線樣板包括其他類似型式的用于校驗觸針式儀

z;(

器的校驗樣板其R參數值在范圍用作傳遞粗糙度參數R的標準器

),a0.1~10μm,a

具標準多刻線樣板按其準確度和使用對象分為一等和二等兩個等級

。。

由計量基準器具用直接檢定法分別檢定各類型的標準樣板一等標準多刻線樣板可

。

通過隨機誤差σ不大于的觸針式儀器用比較法檢定二等標準多刻線樣板

()1%,。

檢定標準單刻線樣板溝槽深度的不確定度δσ在