ICS3524050

J07..

中華人民共和國國家標準

GB/T37959—2019

含工藝腔室類集成電路裝備

設計信息模型

InformationmodelforcontainingprocesschamberICequipmentdesign

2019-08-30發布2020-03-01實施

國家市場監督管理總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T37959—2019

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

術語和定義

2………………1

縮略語

3……………………2

模型體系

4…………………2

含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設計過程的一般規定

4.1……2

含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設計軟件平臺結構體系

4.2…………………3

含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設計信息模型

5…………………4

概念模型

5.1……………4

要素

5.2…………………4

關系

5.3…………………5

信息模型元素

5.4………………………5

附錄資料性附錄含工藝腔室類集成電路裝備設計信息模型示例

A()………………13

GB/T37959—2019

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由中國機械工業聯合會提出

。

本標準由全國自動化系統與集成標準化技術委員會歸口

(SAC/TC159)。

本標準起草單位中車信息技術有限公司清華大學北京機械工業自動化研究所有限公司中國石

:、、、

油規劃總院

。

本標準主要起草人顧明程嘉李麗季林紅陳莉曹自立張穎黎曉東王海丹王峰

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T37959—2019

含工藝腔室類集成電路裝備

設計信息模型

1范圍

本標準規定了含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設計軟件平臺信息模型規定了搭建含工藝腔

,

室類集成電路裝備建模仿真設計軟件平臺的一般性要求

。

本標準適用于含工藝腔室類集成電路裝備的建模仿真設計軟件

。

2術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

21

.

建模modeling

使用軟件為被設計對象建立用于仿真的幾何模型

CAD。

22

.

仿真simulation

利用計算機虛擬模型復現實際系統中發生的本質過程并通過對系統虛擬模型的實驗來研究存在

,

的或設計中的系統

。

23

.

仿真流程模板simulationprocesstemplate

用于描述定制化的仿真流程信息的一種文件保存了一個仿真流程的完整邏輯關系

XML,。

注包含軟件模塊求解邏輯順序和上下游傳輸的變量信息

:、。

24

.

參數parameters

仿真設計過程中對結果有較顯著影響的可調節的關鍵設定值

、。

25

.

實驗設計designofexperiment

一種有計劃的研究對過程要素進行一系列有意圖的改變并進行效果觀測對結果進行統計分析

,,,

以便確定效果與要素改變之間的關系從而更好地了解和控制這一過程

,。

26

.

優化設計optimaldesign

以數學中的最優化理論為基礎以計算機為手段根據設計所追求的性能目標建立目標函數在滿

,,,,

足給定的各種約束條件下尋求最優的設計方案的過程

,。

27

.

特征值characteristicvalues