標準解讀

《GB/T 34504-2017 藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法》是一項國家標準，旨在規范藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素的測量過程。該標準適用于半導體工業中使用的藍寶石拋光襯底片，其主要目的是通過科學的方法檢測這些材料表面上可能存在的微量或痕量金屬污染，從而確保產品質量符合要求。

標準詳細規定了從樣品準備到分析報告出具整個流程中的具體步驟和技術要求。首先，在樣品制備階段，明確了如何選取代表性樣本以及對樣本進行預處理的要求，包括清洗、切割等操作；接著是測試方法的選擇與實施，這里推薦使用電感耦合等離子體質譜法（ICP-MS）作為主要手段來定量分析目標金屬元素含量；此外還涵蓋了儀器校準、數據處理及結果表示等方面的內容。

在整個過程中，《GB/T 34504-2017》強調了實驗條件控制的重要性，比如實驗室環境應保持清潔無塵，并且所有用于分析的試劑和耗材都需達到一定純度級別以避免引入額外污染源。同時，對于不同種類的目標金屬元素，該標準也提供了相應的檢測限值參考，幫助用戶根據實際需要設定合理的質量控制標準。

最后，依據本標準完成的所有測量活動均需形成正式文檔記錄，包括但不限于原始數據、計算過程及最終結論，以便于后續審核或比對工作。通過遵循這一系列嚴格而系統的指導原則，可以有效提升藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量結果的準確性和可靠性。


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....

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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現行標準GB/T 24578-2024
  • 2017-10-14 頒布
  • 2018-05-01 實施
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文檔簡介

ICS77040

H17.

中華人民共和國國家標準

GB/T34504—2017

藍寶石拋光襯底片表面

殘留金屬元素測量方法

Measurementmethodforsurfacemetalcontaminationonsapphire

polishedsubstratewafer

2017-10-14發布2018-05-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34504—2017

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分技術委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位天通控股股份有限公司

:。

本標準主要起草人康森宋巖巖邵峰沈瞿歡於震杰

:、、、、。

Ⅰ

GB/T34504—2017

藍寶石拋光襯底片表面

殘留金屬元素測量方法

1范圍

本標準規定了藍寶石拋光襯底片表面深度為以內的殘留金屬元素的全反射光熒光光譜測

5nmX

試方法

。

本標準適用于藍寶石拋光襯底片表面殘留的在元素周期表中號除去鋁和氧

、11(Na)~92(U)(),

且面密度在92152范圍內元素的定量測量其他用途藍寶石拋光片表面殘

10atoms/cm~10atoms/cm。

留金屬元素的測量可參照本標準執行

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

純氮高純氮和超純氮

GB/T8979—2008、

半導體材料術語

GB/T14264

潔凈廠房設計規范

GB50073—2013

3術語定義和縮略語

、

界定的以及下列術語定義和縮略語適用于本文件

GB/T14264、。

31術語和定義

.

311

..

掠射角glancingangle

全反射光熒光光譜測試方法中射線的入射角度

X(TXRF)X。

312

..

角掃描anglescan

作為掠射角函數對發射的熒光信號的測量

,。

313

..

臨界角criticalangle

能產生全反射的最大角度當掠射角小于這一角度時被測表面發生對入射射線的全反射

,,X。

32縮略語

.

全反射光熒光光譜

TXRFX(totalreflectionX-rayfluorescence)

4方法原理

41的激發是以入射角小于的原級射線掠射激發樣品臺上的樣品入射的射線通過

.TXRF0.1°X。X

樣品表面發生全反射由此激發出來的射線熒光通過探測器進行探測再通過光譜儀進行定

,XSi(Li),

量分析射線的損耗波穿過樣品表層呈指數遞減衰減強度與樣品的表面粗糙度總

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