ICS19020

N04.

中華人民共和國國家標準

GB/T33714—2017

納米技術納米顆粒尺寸測量

原子力顯微術

Nanotechnology—Testmethodforsizeofnanoparticles—Atomicforcemicroscopy

2017-05-12發布2017-12-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T33714—2017

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

基本原理和模式

4…………………………1

儀器

5………………………2

測量樣品的預處理

6………………………2

測量方法

7…………………3

測量結果

8…………………5

不確定度評定

9……………5

測量報告

10…………………5

附錄資料性附錄納米顆粒的沉積方法

A()……………7

附錄資料性附錄納米顆粒高度測量實例

B()…………10

附錄資料性附錄不確定度評定

C()……………………13

附錄資料性附錄推薦的測量報告格式

D()……………15

參考文獻

……………………16

Ⅰ

GB/T33714—2017

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由中國科學院提出

。

本標準由全國納米技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC279)。

本標準起草單位國家納米科學中心納米技術及應用國家工程研究中心北京粉體技術協會

:、、。

本標準主要起草人朱曉陽楊延蓮高潔何丹農朱君周素紅張迎

:、、、、、、。

Ⅲ

GB/T33714—2017

納米技術納米顆粒尺寸測量

原子力顯微術

警告本標準并未指出所有可能的安全問題在應用本標準之前使用者有責任采取適當的安全和

:,,

健康措施并保證符合國家有關法規規定的條件

,。

1范圍

本標準規定了用原子力顯微術簡稱測量納米顆粒高度來表征納

(Atomicforcemicroscopy,AFM)

米顆粒尺寸的方法

。

本標準適用于分散在平整襯底表面上的納米顆粒測量

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

利用晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法

GB/T27760Si(111)

納米科技術語第部分核心術語

GB/T30544.1—20141:

表面化學分析術語第部分掃描探針顯微術術語

ISO18115-22(Surfacechemical

analysis—Vocabulary—Part2:Termsusedinscanning-probemicroscopy)

3術語和定義

和界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T27760、GB/T30544.1ISO18115-2。

31

.

團聚體agglomerate

弱束縛顆粒的堆積體聚集體或二者的混合體其外表面積與其單個顆粒的表面積的總和相近

、,。

注1支撐團聚體的作用力都是弱力如范德華力或簡單的物理纏結

:,。

注2團聚體也被稱為次級顆粒而源顆粒則被稱為初級顆粒

:,。

注3利用成像技術如一般很難區分樣品在沉積過程中形成的團聚即假象或事先存在的團聚體

:,AFM,()。

32

.

聚集體aggregate

強束縛或融合在一起的顆粒構成的新顆粒其外表面積可能小于其單個顆粒表面積的總和

,