標準解讀

《GB/T 32188-2015 氮化鎵單晶襯底片X射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法》是一項國家標準，專門針對氮化鎵（GaN）單晶材料的晶體質量進行評估。該標準定義了一種通過X射線衍射技術來測量氮化鎵單晶襯底片中特定方向上的雙晶搖擺曲線，并基于此計算出其半高全寬（FWHM, Full Width at Half Maximum）的方法。這種方法能夠有效反映樣品內部缺陷密度、位錯分布情況以及整體結晶度等重要信息。

根據標準內容，首先需要準備符合要求的氮化鎵單晶襯底樣品；接著使用適合的X射線衍射儀，在設定好的條件下對樣品進行測試，獲取對應于(002)或(102)面族的X射線衍射圖譜；然后從獲得的數據中提取出指定峰位處的雙晶搖擺曲線；最后通過對這些曲線進行分析處理，得到相應的半高寬值。整個過程中需要注意控制實驗條件的一致性，以保證測試結果的準確性和可比性。


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....

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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2015-12-10 頒布
  • 2016-11-01 實施
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GB/T 32188-2015氮化鎵單晶襯底片X射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法_第1頁
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文檔簡介

ICS77040

H21.

中華人民共和國國家標準

GB/T32188—2015

氮化鎵單晶襯底片X射線雙晶搖擺曲線

半高寬測試方法

TestmethodforfullwidthathalfmaximumofdoublecrystalX-rayrocking

curveofGaNsinglecrystalsubstrate

2015-12-10發布2016-11-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T32188—2015

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所蘇州納維科技有限公司中國科學

:、、

院物理研究所北京天科合達藍光半導體有限公司丹東新東方晶體儀器有限公司

、、。

本標準主要起草人邱永鑫任國強劉爭暉曾雄輝王建峰陳小龍王文軍鄭紅軍徐科

:、、、、、、、、、

趙松彬

。

Ⅰ

GB/T32188—2015

氮化鎵單晶襯底片X射線雙晶搖擺曲線

半高寬測試方法

1范圍

本標準規定了利用雙晶射線衍射儀測試氮化鎵單晶襯底片搖擺曲線半高寬的方法

X。

本標準適用于化學氣相沉積及其他方法生長制備的氮化鎵單晶襯底片

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導體材料術語

GB/T14264

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

衍射平面thediffractionplane

射線入射束衍射束構成的平面

X、。

32

.

半高寬fullwidthathalfmaximumFWHM

;

搖擺曲線最大強度一半處曲線的寬度

。

33

.

χ軸χaxis

傾斜樣品的軸由樣品臺表面和衍射平面相交而成

,。

34

.

χ角χangle

樣品某晶面與樣品表面的夾角

。

35

.

φ角φangle

樣品臺繞樣品表面法線旋轉的角度

。

36

.

φ掃描φscan

連續改變角并記錄衍射強度的測量模式

φ。

37

.

ω角ω

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