光束測量專業：精密儀器及機械姓名：夏學勤學號：12721325主要內容光束輪廓測量的方法光束的定量測量測量系統概述后期學習計劃光束輪廓測量的方法 1）通過人眼或照片測量反射激光束 2）燒紙、即顯膠片（硅晶體/底片）3）木制的壓舌板和金屬板燒點 4）熒光板 5）丙烯酸模式燃燒

傳統、原始、非定量、不可靠電子測量方法非電子方法電子測量方法光束采樣裝置：機械掃描儀器中等密度過濾器：相機（衰減）光束輪廓儀：機械掃描設備CCD等相機光束輪廓輸出設備：PC等電子式激光光束分析的光學設備機械掃描儀器

——掃描刀口或狹縫光束輪廓儀掃描型光束輪廓儀：刀口法：0.1um的分辨率狹縫法小孔法能量分布束寬基于相機的測量系統計算機——現代計算機（奔騰處理器）、即時顯示圖像采集卡——數字轉換器光束分析軟件——信號處理、光束顯示（2D、3D）光束計算（光束輪廓的定量測量）相機——CCD激光束衰減——避免CCD飽和光斑尺寸（光束太小、太大）CCD探測法:使用CCD相機進行光束的光斑采集，經數據采集卡轉換后，由計算機進行曲線擬合和數據處理，實現自檢。光斑尺寸光束太小：（相機像素）1）使用機械掃描設備；沒有即時完整的光束分析2）使用顯微物鏡放大，并把相機聚焦到發射器表面，把激光輸出光闌成像到CCD陣列上；激光發射器（激光二極管）3）先聚焦光束，然后用另外一個透鏡準直光束，用長焦距透鏡再聚焦，增大光斑（光束擴展器）；間接測量

4）小的聚焦光斑從以反射表面或投射表面散射，并用相 機鏡頭成像。光束太大：（傳感器接收面積）1）反向使用光束擴展器；2）使用大面積傳感器；3）反射來自散射表面的光束，用透鏡成像。光束的定量測量激光波長、時序脈沖寬度、總功率或能量光束輪廓測量：相對光束功率或能量（衰減、波長吸收不同）峰值功率或能量——熱點（損傷閾值）峰值像素位置——跟蹤熱點穩定性、峰值輻照度光束形心位置——光斑穩定性光束寬度光束橢圓率、高斯擬合、頂帽測量、散度測量、統計測量等M2測量光束寬度光束寬度的定義---%峰值對應的寬度全寬/50%峰值對應的寬度---%能量/1/e2寬度86.5%環圍功率等效刀口測量的軟件二階矩束寬光束寬度的測量束寬測量方法光束太小：1）使用機械掃描設備；2）使用顯微物鏡，聚焦相機到發射器表面；3）先聚焦光束，然后用另外一個透鏡準直光束，用長焦距透鏡再聚焦，增大光斑（光束擴展器）；4）小的聚焦光斑從以反射表面或投射表面散射，并用相機鏡頭成像。光束太大：1）反向使用光束擴展器；2）使用大面積傳感器；3）反射來自散射表面的光束，用透鏡成像。刀口法、狹縫法、小孔法（測量數據單一）攝像機(CCD)法（1/e2擬合、三點法）可變光闌法、掃描Ronchi刻尺法、激光散斑法、光纖探針掃描法M2測量光束質量評價方法聚焦光斑尺寸：束腰遠場發散角和衍射極限倍數M2因子束腰的測量光束半徑或直徑擬合多點光強擬合法和多孔徑光功率擬合法（可變光闌法）

高斯光束通過GRIN透鏡后的強度分布高斯光束通過GRIN透鏡后不同位置的傳播性能擬合方法

雙曲線擬合高斯擬合

多項式擬合測量系統概述狹縫法聚焦物鏡GRIN光斑測試原理圖1一He-Ne激光器;2一反射鏡1;3一擴束器,4一衰減片,5一反射鏡2,6一GRIN樣品,7一顯微鏡8—CCD圖2GRIN透鏡紅外波段焦斑測試框圖1一光源,2一準直物鏡,3一被測樣品,4一顯微放大系統，5一探測器;6一計算機;7一顯示器探針聚焦性能檢