1、Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告友達光電 (昆山 )有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告友達光電（昆山）有限公司1Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告說明友達光電（昆山）有限公司第8.5 代 TFT-LCD項目變更為第 6 代 LTPSTFT-LCD項目環境影響報告書涵括總產能 60K，公司分三階段建設完成，第一階段 12.5K( 已完成 ) 、第二階段 12.5K( 建設中

2、 ) ，總產能達 25K、第三階段35k，總產能達 60K。此次驗收為第一階段產能 12.5K 。友達光電（昆山）有限公司2Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告一、建設項目概況（一）建設項目名稱、行業類別、生產規模、建設地點、投資總額、開工日期、建成日期、占地面積、職工人數、工作制度。建設項目概況項目名稱：第 6 代 LTPS TFT-LCD生產線項目行業類別：工貿企業生產規模： 年產 15 萬片建設地點：昆山經濟技術開發區龍騰路6 號項目總投資： 31.22 億美元開工日期： 2015年 8

3、 月建成日期： 2016年11月2占地面積： 890304m總建筑面積： 898512 職工人數： 1500人工作制度：車間內作業人員主要采用五班二運轉的管理制度，每班工作12 小時，年工作天數360 天，年工作小時數8640 小時。（二）建設項目主體工程及產品方案、公用及輔助工程詳細情況。主體工程及產品方案第 6 代 LTPSTFT-LCD生產線項目主體工程包括：陣列工程（鋁制程）、彩膜工程、成盒工程、薄化工程、觸控工程、模塊工程。1.1 陣列工程陣列生產車間負責陣列基板的生產，包括玻璃基板清洗、 CVD、鐳射結晶、離子植入，濺射、光刻、刻蝕、剝離等工序。陣列工程使用外購的專用玻璃基板，充分

4、清洗后在其清潔干凈的表面上通過化學氣相沉積（ CVD）的方法形成半導體膜或隔離膜，非晶硅半導體膜再經鐳射結晶形成多晶硅，通友達光電（昆山）有限公司3Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告過濺射鍍膜的方法形成金屬膜。然后對柵電極及引線、有源層孤島、源漏電極及引線、接觸過孔、像素電極、經光刻膠涂敷、光刻膠曝光、顯影等光刻工藝并經濕法 / 干法刻蝕后，剝離掉多余的光刻膠，并利用離子植入定義N、型半導體，以形成源極、柵極以及特性調整，再經熱處理把半導體特性作均一化處理后即做成陣列玻璃基板。陣列工程生產工

5、藝流程見圖 1.1-1友達光電（昆山）有限公司4Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告清洗液DI 純水Mo/Al 靶材Ar光刻膠稀釋劑，顯影液DI 純水SF6, Cl 2, O2， CF 4剝離液DI 純水SiH 4, NF3, NH 3N2 O, N 2, ArHCl,H 2 ,Ne,BF 3,HF光刻膠稀釋劑，顯影液DI 純水SF6, Cl 2, O2剝離液DI 純水N2 O, SiH 4, NH 3Mo/Al 靶材Ar光刻膠稀釋劑，顯影液SF6, Cl 2Ar, O2玻璃基板清 洗柵電極濺

6、射沉積次掩膜光刻干法刻蝕光刻膠剝離有源層 PECVD 淀積SiOx / SiNx / a-SiELA 雷射結晶次掩膜光刻干法刻蝕光刻膠剝離鈍化層 淀積柵電極 濺射沉積次掩膜光刻干法刻蝕H 2、 PH3離子植入友達光電（昆山）有限公司5圖 1.1-1-1陣列工程工藝流程圖Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告剝離液DI 純水N2 , H2, SiH4, NH 3N 2O光刻膠稀釋劑，顯影液DI 純水SF6 ,CF4, O2, CHF3剝離液DI 純水Ti/Al 靶材Ar光刻膠稀釋劑，顯影液DI 純

7、水O2 , Cl 2, CF4BCl 3剝離液DI 純水光刻膠稀釋劑，顯影液DI 純水O2, CF4, N2接上頁光刻膠剝離鈍化層 淀積PVX SiNx次掩膜光刻干法刻蝕光刻膠剝離源 /集電極濺射沉積次掩膜光刻干法刻蝕光刻膠剝離次掩膜光刻干法刻蝕圖 1.1-1-2陣列工程工藝流程圖友達光電（昆山）有限公司6Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告ITO 靶材，Ar光刻膠稀釋劑，顯影液DI 純水ITO 刻蝕液DI 純水剝離液DI 純水N2 , H 2, SiH 4, NH3光刻膠稀釋劑，顯影液DI

8、純水SF6 , CF4, O2剝離液DI 純水ITO 靶材，Ar光刻膠稀釋劑，顯影液DI 純水ITO 刻蝕液DI 純水剝離液DI 純水接上頁ITO 像素濺射沉積次掩膜光刻濕法刻蝕光刻膠剝離退火鈍化層 淀積PVX SiNx次掩膜光刻干法刻蝕光刻膠剝離ITO 像素濺射沉積PVX SiNx次掩膜光刻濕法刻蝕光刻膠剝離退火陣列玻璃終檢友達光電（昆山）有限公司7Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告圖 1.1-1-3陣列工程工藝流程圖1.2 彩膜工程彩色濾光片（ Color Filter）是 LCD中最重

9、要的關鍵性零部件之一，其品質好壞對于 LCD色彩的表現至為重要。根據彩色濾光片的結構，其生產工序包括玻璃基板清洗、黑色矩陣膜（BM）形成、彩色濾光膜（紅綠藍R/G/B）形成、保護膜（ Over Coat ）生成、 PS層生成等工序。彩色濾光片 Color Filter的基本結構見圖1.2-1所示，從圖中可見，其結構由下而上分別是：玻璃基板/ 黑色矩陣層（ BM層） / 彩色矩陣層（ RGB層） / 保護層（ OC層） / 導電層（ ITO 層）。圖 1.2-1彩色濾光片 Color Filter基本結構圖以下對各層的功能分別介紹如下：玻璃基板：采用無堿玻璃，是整個彩色濾光片加工的載體，要求熱膨

10、脹系數小、平坦性能好。BM層（ Black Matrix 層）：為了提高 LCD的對比度，防止 TFT元件產生光漏電流，與遮掩 LCD顯示時的漏光等不良現象。BM層使用的材質為非金屬，一種環保性能相對較好的非金屬黑色樹脂，要求遮光性強、反射率低、與玻璃的附著性好。RGB 層（紅色 /綠色 /藍色層）：LCD 之所以會有顏色，是因為背光光源的白光通過 CF 上的 RGB 三個色層時，分別會產生紅色、 綠色、藍色三種顏色，通過這三原色的組合而構成各種色彩，要求高透過率、高色純度。ITO 導電層：由于 CF 將作為 TFT-LCD 面板的另一個共通電極， 因此，友達光電（昆山）有限公司8Classi

11、fy:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告在完成保護膜制作后，在RGB 光阻層及保護膜層上方，還需要濺鍍一層透明的導電層。常用的濺射材料為ITO（銦錫合金， In 2O3/SnO2）靶材。LCD用彩色濾光片 CF目前通常采用顏料分散法、 平面工藝實現， 即把紅綠/ 藍三色顏料分別摻和在光刻膠中，再用勻膠、曝光、顯影等平面工藝分別制作矩陣，其工藝流程大致分為五部分，即 BM（黑色矩陣），RGB彩色矩陣（紅色、綠色、藍色三色） ，保護層（ OC）與濺射 ITO 膜。此外為了進一步改進 CF的顯示功能，還開發出了 P

12、S層新技術。PS層（ Photo Spacer 層）：傳統 TFT-LCD面板工程成盒工序中，在陣列玻璃與彩膜玻璃（彩色濾光片）之間由隨機灑布的間隔球（spacer bead ）來支撐，具有在間隔球周圍有漏光現象，容易產生白點等缺點，為了克服這些缺點，目前開發出以光刻膠柱狀物（Photo Spacer）來取代傳統的間隔球（spacer bead ），有利于提高 LCD的對比度。采用的制造工藝與RGB相同。PS結構見圖 1.2-2 。圖 1.2-2 PS 結構示意圖彩膜工程生產工藝流程圖見圖 1.2-3。友達光電（昆山）有限公司9Classify:AUOClassify:AUO-General友

13、達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告清洗液，高純水BM 光阻，顯影液高純水R光阻，顯影液高純水G光阻，顯影液高純水光阻，顯影液高純水OC 光阻PS光阻，顯影液高純水玻璃基板清 洗BM 膜（黑色矩陣膜）涂膠，曝光，顯影膜（紅色濾光膜層）涂膠，曝光，顯影膜（綠色濾光膜層）涂膠，曝光，顯影膜（藍色濾光膜層）涂膠，曝光，顯影OC 膜 -（ OC 保護層）涂膠PS 膜涂膠，曝光，顯影FI 最終檢驗彩色濾光片成盒工程圖1.2-3彩膜工程工藝流程圖1.3 成盒工程成盒生產車間負責制屏工序，即負責從PI 涂敷、固化、摩擦、液晶注入、紫外固化、切割、磨邊、測試等各工序的生產。

14、友達光電（昆山）有限公司10Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告成盒過程是將陣列基板和彩色濾光片經清洗，表面涂敷取向膜、經固化、摩擦配向處理，在陣列基板涂布封框膠及進行液晶注入，兩基板在真空中粘合、固化，即成盒。再根據下游廠家的需求進行盒分割，再貼上偏光片，加入電信號作圖像檢查后即成為LCD面板。成盒工程工藝流程圖見圖1.3-1 。陣列玻璃彩色濾光片清洗液PI 前清洗清洗液PI 前清洗PI 回收配向材料（ PI）配向材料（ PI）涂 P1及固化PI 回收系統掩膜板涂 P1及固 化掩膜板系統光照

15、取向摩擦取向摩擦取向光照取向Stay aloneARUCStay aloneARUC清洗液摩擦后清洗封裝成盒高純水切割斷屏高純水磨邊清洗貼偏振片盒終檢圖 1.3-1成盒工藝流程圖友達光電（昆山）有限公司11Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告1.4 薄化工藝玻璃薄化是變更項目新增的工程，主要是指使用化學或物理方法使面板玻璃的厚度變小，以達到面板輕薄化的目的。主要使用氫氟酸或含氫氟酸的混酸與玻璃面板表面接觸，通過化學反應方式溶解面板表面層的玻璃，主要工藝制程在成盒工程后進行，主要程序為封止、清洗

16、、蝕刻、清洗、質量檢查、研磨、清洗和質量檢查。薄化工程的工藝流程圖見圖1.4-1 。成盒工程UV 膠Sealing 封止Sealing 固化DI 純水清洗HF 蝕刻液蝕刻DI 純水清潔液 DI 純水清洗質量檢查研磨液DI 純水研磨研磨液廢水清潔液DI 純水清洗清洗廢水質量檢查出貨圖 1.4-1薄化工程工藝流程圖12Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告1.5 觸控工程觸控工程也是變更項目新增的制程，使用薄化工程后的玻璃基板，充分清洗后，在其清潔干凈的表面上，通過濺射鍍膜的方法形成ITO 膜，經光

17、刻膠涂敷、光刻膠曝光、顯影等光刻工藝并經濕法刻蝕后，剝離掉多余的光刻膠，經熱處理后即做成觸控基板。觸控生產車間負責觸控工程的生產，包括玻璃基板清洗、濺射、光刻、刻蝕、剝離等工序。觸控工程的工藝流程圖見圖 1.5-1 。薄化工程ITO 像素濺射沉積TO 靶材， Ar光刻膠稀釋劑，顯影液次掩膜光刻1DI 純水ITO 刻蝕液濕法刻蝕DI 純水剝離液光刻膠剝離DI 純水退火陣列玻璃終檢模塊工程圖 1.5-1觸控工程工藝流程圖13Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告1.6 模塊工程模塊工程是向LCD 面

18、板連接驅動芯片和信號基板，組裝背光源和防護罩，在加溫狀態下作老練處理，再作最后電氣特性檢查后即成為LCD 模塊。此模塊可提供給下游廠家使用。模塊工程工藝流程圖見圖1.6-1。TFT 顯示屏切割裂片切割洗凈測試偏貼前洗偏光片貼附端子洗凈ACF 預壓FPC 軟板壓合壓合粒子檢查涂膠成品圖 1.6-1模塊車間制作工藝流程圖14Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告1.7 產品方案：陣列玻璃 15 萬片 / 年，彩膜工程 15 萬片 / 年，液晶面板屏416,250m2 /年。公用及輔助工程設施2.1

19、主要能耗及設備本項目主要能源及動力消耗情況見表2.1-1 。表 2.1-1主要能源及動力消耗情況表序號項目單位消耗量備注1耗電量kVA35000城市電網 (220kv 鹿成變電所 )2水用量m3/d8000開發區自來水廠 / 開發區工業水廠3純水用量m3/h3754天然氣用量m3/h810開發區5壓縮空氣m3/h115200用量6真空m3/h180007制程用冷卻水m3/h12008蒸汽t/a14688表 2.1-2公用工程設備表一覽表序號設備名稱規格型號臺備注1鍋爐CZI-1700GS(BM)然氣型22柴油發電機2250KV A 、 380V73柴油罐10m3，臥式24電梯12000kg、

20、9500 kg19特種設備5空壓機19200 Nm3/h64用2備69600 Nm3/h2備用7空氣儲氣罐100m31特種設備8叉車3t7特種設備9起重機械5t27特種設備10LPG罐10 m 31特種設備15Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告11120MVA，油浸式1121500kVA32132500kVA46變壓器147500kVA015500kVA016180 kVA02.2 供電系統1）供電電源本項目新建一座220kV 變電站，由市政提供雙回路電源供應。設置容量為 120MVA的油浸

21、式主變壓器 1 臺， 1500kVA干式變壓器 32 臺， 2500kVA干式變壓器 46 臺。本項目屬于高科技產業，自動化程度高，部分主要工藝設備及其相關動力設備的用電負荷按一級負荷考慮， 其它附屬用電設備分別屬于二級用電負荷。2）自動控制為滿足生產過程必需的能源供應、環境控制、安全保護要求和適應企業現代化控制、管理的要求，設置全廠自動控制系統，用于對全廠能源、生產環境、動力等設備群進行集中監視、控制和管理。自動控制系統的設計以保證生產所需要的高可靠性、高運行平穩性、高精度和高靈活性為目標。主要控制內容：空調機組、DCC、FFU、一般排風、冷凍水系統、冷卻水系統、熱水系統、壓縮空氣（ CDA

22、）系統、柴油輸配系統、純水（ UPW）系統、廢水處理（ WWT）系統、大宗氣體（BULK GAS）系統、廢氣處理系統、工藝冷卻水（ PCW）系統、給排水系統等。控制系統方案和構架： 控制系統采用集散型控制系統方案，由現場儀表、現場控制器或控制子系統及工廠管理控制系統（FMCS）組成。分散設備采用現場控制器進行數據采集和控制，設備管理控制系統 （FMCS）進行集中監控、管理。2.3 給排水系統1）給水系統本項目水源為市政自來水和園區工業用水，擬在周邊市政自來水給水干16Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執

23、行情況報告管引入，包含自來水給水管 1 支(100A)、工業水給水管 1 支(600A)，滿足項目將來生產、生活用水需求，在周邊工業用水給水干管引入兩根管道滿足項目生產用水需求。市政供水壓力不低于0.20MPa，自來水供給范圍包括生活、生產的補水，工業用水供給范圍包括純水制造用水、冷卻水塔等生產用水。管路材質室內采用鋼襯塑管道，室外采用鋼絲網骨架 HDPE管道，管道采取埋地敷設。2）排水系統本項目排水采取雨污分流制，廠區道路及其他地方的雨水經雨水口收集后排入廠區雨水管網，最終接至市政雨水管網；廠區生活污水經化糞池/ 隔油池后接入市政污水管網，生產廢水經廠內污水處理站處理后部分回用，其余部分通過

24、廠區生產廢水總排口排入市政污水管，包含生活 污水排放 管 1 支(200A)、工業廢水排 放管 1 支(600A)。2.4 氣體動力系統1）冷熱水系統根據低溫冷負荷情況，設置 2750RT低溫冷水機組 3 臺，并預留 2 臺三期空位；低溫冷凍水供 / 回水溫度 8/ 16；冷凍水系統采用 一次泵系統， 一次泵變頻控制。根據中溫冷負荷情況，設置 3000RT中溫冷水機組 6 臺（1 臺備用），并預留 7 臺三期空位；3000RT中溫熱回收冷水機組 4 臺，并預留 4 臺三期空位；中溫冷凍水供 / 回水溫度 14/ 20；中溫冷凍水系統采用 一次泵系統，一次泵變頻控制。根據熱負荷情況，熱源由空氣壓

25、縮機組壓縮熱回收、冷水機組熱回收和燃氣真空熱水鍋爐組成。設置燃氣熱水鍋爐3000KW 3 臺（ 2 用 1 備）。熱水供/ 回水溫度 35/ 29；熱水系統采用 一次泵系統， 一次泵變頻控制。2）壓縮空氣壓縮空氣系統生產能力3，壓縮空氣使用量3。115,200Nm/h76,800Nm/h33設置 19200 Nm/h 空壓機 6臺（4 用 2 備），9600 Nm/h 空壓機 2 臺（備用）。17Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告3設置 2 只 100m的壓縮空氣緩沖罐。經外加熱再生吸附干燥

26、器及三級過濾器過濾達到工藝要求的品質要求后管道輸送到生產車間。3）供熱、供蒸汽本項目主供氣系統為城市管網供氣，城市燃氣管道進廠區供熱水鍋爐和3蒸汽鍋爐，用氣量為830Nm/h 。本項目設置 3 臺熱水鍋爐（ 2 用 1 備）和 2 臺蒸氣鍋爐（ 1 用 1 備）。4）大宗氣體包括高純氮氣、高純氧氣、高純氫氣、高純氦氣、高純氬氣、高純二氧化碳六種，均由專業氣體公司（AirProductsAndChemicals （China ）InvestmentCO.,Ltd ）提供，高純氧氣、高純氬氣、高純二氧化碳為液態儲罐，高純氫氣、高純氦氣為鋼瓶。氮氣、氧氣、高純氦氣、高純氬氣為無人值守氣站，產權為AP

27、 公司。333只，氦為集其是氧為 50m儲罐 1只，氮為 150m儲罐 2只，氬為 16m儲罐 13裝格（ 16 瓶，計 164m）。氫氣和二氧化碳供氣站產權為友達光電（昆山）有限公司所有，其中氫33儲罐 1只。氣為長拖管車 ( 計 4000Nm),二氧化碳為 11 m以上六種大宗氣體位于y 棟氣體站內。5）特氣系統本項目特氣系統有 SiH4、NH 3、PH3H2、NF3、BCl 3、SF6、Cl2、O2+Ar 、N2O、CF4、Xe、Ne+H2、H2+Ar 、CHF3、 HCl+H 2+Ne、BF3 共 16 種，鋼瓶存儲。除硅烷外以上特種氣體均存放在 G棟綜合動力站二 （特種氣體間） 內，

28、特種氣體間內通過管道輸送到生產車間。硅烷存在槽車區二（硅烷站）內，通過管道輸送到生產車間。6）工藝真空系統3，用量3，本項目擬采用3真系統能力 19,500Nm/h17,500Nm/h1350Nm/h空泵機 10 臺， 7 用 3 備, 1500Nm3/h 真空泵機4臺，3用 1備。18Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告7）柴油供應系統擬在 OT棟地面設輕柴油罐區，設置3的地面臥式輕柴油2 只容積為 50 m罐及齒輪輸油泵 2 臺。在 U棟 2F 發電機房設容積為3的日用油箱 7只，與1m3

29、U棟 1F 消防泵浦室設容積為1m的日用油箱 2 只，在 U棟 1F 鍋爐房設置 1m3的日用郵箱1 只，其容油量可根據液位高低自動開啟供油泵補充。柴油系統正常生產不使用。2.5 純水系統3本項目超純水設計用量為350m/h ，純水系統包括：動力設備用RO水、超純水供給工藝設備生產及化學品配置、純水回收及回用系統。動力設備用RO水供水范圍包括MAU加濕和水洗、 鍋爐、工藝冷卻水系統等系統使用，工藝設備排水分質回收，經處理后回用至純水制備系統中，回用至純水制備系統中的水量不低于超純水消耗量的20%。2.6 循環冷卻水系統3本項目工藝冷卻循環水設計量為1500m/h ，系統采用閉式系統，由定壓罐、

30、板式換熱器、過濾器及供水回水管道等組成。補水采用反滲透出水，自來水作為備用補水。2.7 采暖、通風、空調、凈化1）熱媒本項目低溫熱源為2935的熱水， 由冷水機組熱回收、 空壓機熱回收以及常壓熱水鍋爐組成提供；主要為潔凈室新風機組二級加熱段（過渡季、冬季）及非潔凈區空調（冬季）提供加熱熱源。空調加濕水源為DI 純水。常年使用，主要用于潔凈室新風機組的水淋式加濕，由給排水專業純水制備。2）冷媒新風機組二級冷水盤管所用冷媒為816的低溫冷水。潔凈區內干式冷盤管(DDC)、新風機組一級冷盤管、潔凈室循環機組的19Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 )

31、有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告冷盤管所用冷媒為1420的中溫冷水。配變電間、 UPS室、內區等空調系統的冷盤管所用冷媒為1420的中溫冷水。一般降溫空調機組冷盤管所用冷媒為1420的 中溫冷水。3）空調與凈化凈化空調開放式生產車間內的凈化級別主要包括 Class10和 Class1000：Class10潔凈區采用垂直單向流，頂部均布 FFU（風機過濾單元）， FFU 的覆蓋率為100%，Class10 00 潔凈區 FFU的覆蓋率為 16%；同時利用大量循環風， 循環風（循環風經干表冷盤管冷卻降溫）與處理后的新風混合后，進入上部回風靜壓箱，經 FFU加壓、過濾后送入生產區。

32、其氣流流程如下：回風干表冷盤管和新風混合FFU生產區回風格柵地板回風。根據工藝房間內工藝生產流程及生產采用的化學品類型不同， 為了防止化學污染物在不同的生產區域之間造成交叉污染， 將工藝區劃分為若干的獨立回風區域。潔凈生產區內的設備、 人員和照明發熱以及圍護結構傳熱等的冷負荷由干表冷盤管承擔。支持區內潔凈服更衣間、玻璃投入間等有潔凈要求的房間，采用組合機組+高效過濾器送風口的凈化空調系統：頂部均布高效過濾器送風口，潔凈室兩側處設回風夾道，回風夾道底部布置百葉風口，新風引自潔凈室新風機組空調機組；回風與新風混合，經組合機組冷卻后，經風管由高效過濾器送風口過濾后送入生產區，即上部送風、側下部回風的

33、氣流組織形式。各凈化空調房間都送有滿足規范要求的新風， 新風由新風處理機集中處理后送至各凈化房間。為防止室外空氣進入生產區，室內需保持正壓，新風20Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告機組根據潔凈室要求的正壓值，調節變頻風機的送風量來保持室內正壓。一般空調配電室、一般非潔凈工藝區、庫房等采用組合式空調機組。化學品庫、特氣間等房間采用全新風直流系統。辦公區等房間采用風機盤管+新風（單獨處理）機組的空調形式。4）通風本工程生產過程中，會產生多種有害氣體，為減少對廠區周圍空氣污染的影響，設計各種類型

34、的排風系統，現概述如下：大量余熱：為消除工藝設備等散發的熱量而設置一般排風系統，主要排除熱氣，可直接排放。酸、堿性氣體：對這類酸、堿性氣體需經噴淋酸液或堿液凈化處理，達到國家排放要求后排至室外。有機廢氣：采用沸石吸附濃縮轉輪焚燒系統處理，達到國家排放要求后。此系統按防爆要求設計。全室排風：對產生異味的工作間設有離心或軸流風機，作全室排風用，其中排除易燃易爆氣體為防爆系統，采用防爆風機。采用氣體滅火的電氣房間，設計全室排風排除室內滅火后殘留的氣體。事故排風：存放或使用易燃易爆，有毒物質的工作間設有事故排風，換氣次數為 1215 次/h 。事故排風系統為防爆系統。廠房及辦公樓部分長度超過40m疏散

35、走道均設計了排煙系統； 封閉樓梯2間設計了加壓送風系統。人員較多的大于300m 的丙類潔凈生產區設計排煙系統。衛生間、更衣室等排風，通過豎風道排至大氣。綜合動力站、廢水處理站包括冷凍站、純水站、泵房和空壓站等，均設有自然或機械通風裝置，將室內余熱和廢氣迅速排至室外。化學品庫儲存有害物的房間均設有全室排風系統及事故排風系統；排除21Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告易燃易爆氣體的排風系統為防爆系統，擬采用防爆風機。2.8 通信、信息系統1）電話通信系統、計算機網絡系統設置程控電話交換機，用作公

36、司生產、管理部門的相互聯絡。設置局域網系統。采用綜合布線系統，為全廠語音及數據通信提供寬帶通道。2）火災報警和消防聯動控制系統全廠消防控制中心設在主廠房一層消防控制室， 內設火災報警及聯動控制主機、手動控制盤、消防電話總機、應急廣播設備等消防設備。要求該消防控制室內 24 小時設有專人值班，并設可直接報警的外線電話。各主要建筑設置火災區域報警控制器及火災顯示屏。在各生產和支持廠房、辦公室、動力廠房、倉庫等主要建筑物內部，設置感煙或感溫火災報警裝置，在防爆場所設置防爆型探測器，在潔凈區設置高靈敏度主動式空氣采樣早期煙霧探測器，在各建筑內主要出入口、人員通道等處設置手動報警按鈕以及聲光報警裝置。火

37、災時，采用自動 / 手動方式聯動控制各類滅火系統、防排煙系統、空調送風系統以及火災波及區域的所有非消防電源全部被切斷， 對相關消防設施進行手 / 自動控制。火災報警系統線纜采用耐火線纜。敷設在橋架內或穿鋼管保護敷設。3）廣播系統為了在火災發生時進行人員疏散和指揮消防，設廣播系統。火災應急廣播與公共有線廣播共用一套系統，應急廣播優先，廣播主控設備設置在消防控制中心。各主要建筑設置分控設備。當發生火災時，對發生火災的建筑進行全樓疏散廣播。4）安防系統安全防范系統包括視頻監控系統、出入口控制系統、周界報警系統。22Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 )

38、 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告在主要出入口及生產重要部門、室外周界設置攝像機；在主要入口及各生產部門入口處均設有出入口管理，可控制人員的出入，保證生產安全，同時與 CCTV系統和火警系統聯鎖，火警發生時，相關區域的門禁設備釋放，便于人員疏散。2.9 消防系統3廠區內設有消防水池 （1200m），可滿足室內、 室外消火栓持續使用時間2 小時即以上要求。室內消火栓用水量為30L/s ，室外消防栓用水量為45L/s 。生產廠房潔凈室內除設有消火栓外，并設置了自動噴水滅火系統，消防用水量 90L/s 。廠房內辦公區設置有室內自動噴水濕式滅火系統。動力支持區內的柴油發電機房設有水噴

39、霧滅火系統； 化學品配送區有機溶劑室設置泡沫 - 水噴淋滅火系統；酸堿區采用濕式水噴淋滅火系統；超高壓控制室 (GIS)CO2 滅火系統；通信機房、數據機房設置FM200滅火系統。各建筑內除設置有消火栓外，根據規范要求還配置有手提式CO2滅火器或干粉滅火器。此外，在變電室、柴油發電機房和使用易燃、易爆氣體（液體）的工作間等存在火災隱患的場所還設有移動式CO2泡沫（干粉）滅火器。2.10 儲存設施儲存原輔材料， A 棟建筑面積221425m（1F），B 棟建筑面積 800m（1F），22G棟建筑面積 157m（1F）, 化學品儲存倉庫 ( 甲類) ，建筑面積 812m( 在建 ) 。一座固廢站

40、(S棟 ) ，建筑面積22一般固廢庫2100m, 其中危廢庫210m,21890m。（三）項目變動情況， 需要明確所列的項目變動內容是否屬于重大變動。無二、環保“三同時”執行情況1）廢氣處理本項目產生的廢氣種類主要有工藝廢氣（酸性廢氣、堿性廢氣、剝離廢23Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告氣、 CVD廢氣和有機廢氣）、廢水處理站廢氣和鍋爐煙氣。1）酸性廢氣處理系統酸性廢氣來源于工藝流程中濕法刻蝕使用的各種酸液、 干法刻蝕使用的酸性氣體和廢水處理站產生的廢氣，主要污染物為氯化氫、 氮氧化物、磷

41、酸、乙酸、硫酸、氫氟酸和氯氣等。本項目共設置11 套酸性廢氣處理系統，其中，陣列廠房（ A/C 棟）有 3 根酸性廢氣排氣筒；薄化工程廠房（B 棟）有 5根酸性廢氣排氣筒；動力廠房（G棟）有 1 根酸性廢氣排氣筒；廢水處理站有 1 根酸性廢氣排氣筒。處理系統由酸性廢氣吸收塔、排風機、噴淋裝置、NaOH堿吸收液供給裝置和排風管等組成，收集效率可以達到99%以上，經堿吸收液噴淋處理，處理效率可達到90%，達標后再排入大氣。2）堿性廢氣處理系統堿性廢氣來源于光刻工序中使用的顯影液，主要成分四甲基氫氧化銨TMAH）的揮發和成盒工程中產生的堿性廢氣，主要污染物為NH3。本項目共設置9 套堿性廢氣處理系統

42、。其中，陣列廠房（A/C 棟）有 4根堿性廢氣排氣筒；成盒工程廠房（F 棟）有 2 根堿性廢氣排氣筒；觸控工程廠房（ B 棟）有 1 根堿性廢氣排氣筒；動力廠房（G棟）有 1 根堿性廢氣排氣筒。處理系統由堿性廢氣吸收塔、排風機、噴淋裝置、硫酸吸收液供給裝置和排風管等組成，收集效率可以達到99%以上，經酸吸收液噴淋處理，氨氣 NH3的處理效率可達90%，達標后再排入大氣。3）剝離廢氣處理系統剝離廢氣來源于陣列、觸控工程中的剝離工序使用的剝離液，呈堿性。變更項目共設置2 套剝離廢氣處理系統。其中，陣列廠房（A/C 棟）有 2 根剝離廢氣排氣筒。 剝離廢氣處理系統由剝離廢氣吸收塔、排風機、噴淋裝置、

43、硫酸吸收液供給裝置和排風管等組成，收集效率可以達到99%以上，經硫酸吸收液噴淋處理，處理效率可達90%，達標后再排入大氣。（4）CVD廢氣處理系統24Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告在陣列工程的化學氣相沉積（ CVD）、離子植入工序和干法刻蝕（ DE）工序過程中，會使用到 SiH4、NF3、NH3、PH3、SF6、Cl2 等特殊氣體，這些特殊氣體除在工藝中反應消耗外，少量以尾氣的形式排放。變更項目采用 POU 處理設備，采用燃燒法進行燃燒處理，燃燒后產生的尾氣再納入酸性廢氣處理系統，通過堿

44、液噴淋吸收塔作進一步處理。本項目共設置 3 套 CVD廢氣處理系統。 CVD廢氣處理系統包括區域處理系統（POU處理設備）和中央處理系統（集塵設備及堿液噴淋吸收塔） ，收集效率可以達到 99%以上，廢氣處理效率可達 80%。5）有機廢氣處理系統本項目有機廢氣主要來源于各工序使用有機溶劑清洗、 感光膠涂敷等工序，主要成份為PGME(單甲基醚丙二醇 ) 、PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯 ) 、NMPN-甲基環丙酰酮）、EL（乳酸乙酯）等有機物。本項目產生的有機廢氣采用“沸石濃縮轉輪 +RTO”處理系統處理，處理系統由沸石轉輪濃縮裝置、排風管、排風機、蓄熱式焚化爐等組成。共設置8 套“沸石轉輪 +氧化

45、爐”處理系統， TVOC收集效率可以達到99%以上，處理效率可達 90%。6）鍋爐廢氣處理系統鍋爐廢氣主要來源于熱水鍋爐和蒸汽鍋爐燃燒天然氣產生， 主要污染物為氮氧化物、二氧化和煙塵。鍋爐煙氣通過動力廠房( 熱水鍋爐房 )1 根煙囪和 G棟( 蒸汽鍋爐房 )1 根煙囪排放。7）排氣筒管理狀況廠區共有 33 只排氣筒，均按照要求設置檢測平臺，張貼環保標志牌。2）廢水處理1）根據生產廢水的種類，采取分質處理，即將無機廢水（含氟廢水和含磷廢水）、有機廢水、酸堿廢水等分流后進入各自預處理系統進行處理。2）含氟廢水在采用石灰沉淀法的同時，使用高分子絮凝劑，能加速25Classify:AUOClassif

46、y:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告凝聚沉淀，起到了良好的除氟作用。（3）含磷廢水采用化學沉淀法處理后接入有機廢水處理系統進一步處理。4）酸堿廢水經中和處理后直接排入城市污水管網，進入蓬朗污水處理廠進一步處理。5）生活污水經化糞池和隔油池預處理后，經生活污水排放口排入開發區污水管網，接入蓬朗片區污水處理廠。6）為了確保各廢水預處理系統正常運行，污水處理系統設有中央控制室和傳感器系統、 pH 計等，以監視污水處理的情況和控制各種藥物的投放量并設置超限報警； 整個廢水處理系統均由微機自動控制。 pH、投加藥劑以及廢水流量自動控制和監測

47、，以確保處理后的廢水達標排放。廠區生活污水、工業廢水均按照要求設置環保標志牌。3）固廢處理本項目固體廢棄物包括危險固廢物和一般固廢。1）一般工業固廢處理本項目生產過程中產生的一般工業固體廢物主要有廢包裝材料、廢手套、鞋套、廢鐵質材料、基板切割產生的玻璃邊角料、辦公垃圾及生化污泥等，收集后暫存于廠區的 S 棟倉庫，由廢品回收商收購處理，處置周期約 3 天，處置場所可以滿足儲存要求。棟倉庫位于廠區西北角，用于貯存一般工業固體廢物。（2）危險固廢處理本項目產生的刻蝕廢液、薄化酸廢液、光刻膠廢液、 OK-73 廢液、剝離廢液、 PI 剝離劑、 MCA 剝離廢液、 KOH 廢液、乳酸乙酯廢液、 IPA

48、廢液、NMP 廢液、 POU 焚燒粉塵和含氟污泥等均屬危險廢物。采用將廢液分類收集貯存，并交給具有資質的單位統一處置。本項目在主廠房 （a 棟、f 棟和 b 棟）均設置了危險廢物貯存場所，本項26Classify:AUOClassify:AUO-General友達光電 ( 昆山 ) 有限公司第一階段建設項目環保“三同時”執行情況報告目在廠區內設有2140m2 危險廢物臨時貯存房用于儲存危險固廢，生產工序產生的廢液暫存在車間地下臨時暫存區域定期外運。4）噪聲處理噪聲源主要有冷凍機組、空壓機、真空泵、風機以及水泵等輔助設備，所有產生噪聲的設備均設置在室內，重點區域進行人員管制且配有耳塞等防護裝備。三、環境管理情況（一）環境管理機構情況。1）機構設置成立友達光電（昆山）有限公司環境與安全部，負責環境管理事務，主要職責為負責環保各項申報，配合環保主管機關檢查及內部環保稽核管理等，下設廠務空調部、廠務水務部。（2）機構職責環境與安全部的具體組成和人員職責見表 3-1 。表 3-1友達光電（昆山）有限公司環境管理部門設置序序崗位設置崗位職責號1環境與衛生環保事項主導部門，負責環保各項申報，配合環保主管機關檢查及內部環保稽核管理。廢棄物處理及相關文件1安全部的維護管理。2廢氣處理主導部門，負責廢氣處理設備、管路、煙囪等2廠務空調課附屬設備及其