1、射線熒光光譜儀的維護SID Elemental 2007.9 馮鶴昆 射線熒光光譜儀的維護處理方法：檢查水管的布置是否有所不妥。更換或清潔外循環水的過濾器。適當調大外循環水的壓力（但最好不要超出0.3Mpa）微調外循環水流量傳感器關閉X光管。打開儀器右邊下面板（循環水和油泵側）DY 2,3,1,3 (儀器面板顯示PW flow : OFF)PW 1啟動外循環水，觀察流量浮珠必需上升到頂端，如達不到，調節外循環水，讓浮珠上升到頂端（注意不要頂住上端）。注：如流量浮珠不能上升到頂部或需要非常大的壓力時，需要現檢查其他原因（上述描述中提及的），然后再調節。此時儀器面板顯示PW flow : ON放松

2、外循環水流量傳感器，向上平移傳感器，觀察儀器面板，直到顯示PW flow : OFF，做一記號。然后向下平移傳感器，觀察儀器面板，直到顯示PW flow : OFF，再做一記號。將傳感器固定在兩個記號的中間位置。射線熒光光譜儀的維護TS1接線柱流量傳感器初級水流量測量內循環水流量測量射線熒光光譜儀的維護 內循環水故障檢查8195- F XPS secondary water error觀察儀器面板OFF微調節流量傳感器啟動X光管，如報警仍然存在，聯系Service。OnDY 2,3,2,5射線熒光光譜儀的維護將水泵電源插到外部220VAC是不是正常檢查水路，也許有什么東西堵住了水路或流量浮珠碎

3、裂了用外水路測試水泵是否正常工作 水泵不正常更換水泵（也有可能是水泵的啟動電容損壞-4uF）B內循環水流量浮珠是否上升？射線熒光光譜儀的維護 更換/添加真空泵油 油位加到白色標簽的中間射線熒光光譜儀的維護分子泵加油分子泵一般在運行一萬小時后，儀器會出現報警831-W-mocular pump working time too high ，此時就要給分子泵加油 注意：在操作過程中不要拔去分子泵的電源連接插頭，如果在拔去插頭的情況下起動分子泵，將損壞分子泵驅動電路！將光譜室”放”為大氣打開儀器前面板,斷開分子泵和油泵的連接管將分子泵底部的圓形塞取下將油加入相應的孔中運行相應的程序修改運行時間,消除

4、報警.分子泵加油將油加入相應的孔中分子泵加油再將分子泵和油泵的連接管接上，同時關閉光譜室手動放氣閥。再使分子泵按規定程序在真空狀態下工作 分子泵加油用軟件完成上述過程,同樣在UtilitiesCommunicationTerminal mode Script內，按下列語句建立另一個叫MDP-VAC.MIO文件,然后運行.tx “p1 1”.delay 30 .tx “p1 2”.delay 180.tx “p1 1”. delay 30.tx “p1 2”.delay 180.tx “p1 1”.delay 45.tx “p1 2”.delay 180.tx “p2 1” .delay 5.t

5、x “v1 1” .delay 30.tx “p1 1” .delay 15.tx “p1 2” .delay 150.tx “p1 1”.delay 15.tx “p1 2”.delay 150.tx “p1 1”.delay 45.tx “p1 2”.delay 270.tx “p1 1”.delay 45.tx “p1 2”.tx“se 1”分子泵更換如更換新的分子泵，除了注意管道連接(不能漏氣)，還必須在大氣下運行5到10分鐘,才能在真空下工作。將光譜室”放”為大氣關閉儀器打開儀器前面板,斷開分子泵和油泵的連接管拆下舊分子泵,更換新泵,插上電源連接儀器通電,連機.在大氣下運轉分子泵5到10分鐘再將分子泵和油泵的連接管接上，同時關閉光譜室手動放氣閥按正常方法抽真空.分析結果異常時的檢查分析結果出現異常時可以按下列步驟檢查:用一個已經確認的樣品（如控制樣品，最好是金屬樣），與儀器正常時的分析值比較是否變化。作漂移校正。與原始強度和上一次強度比較，是否有突變現象。漂移校正后，分析結果是否正常了。作能譜掃描。觀察峰值位置是否正確。順便看一下計數率和能量分辨率與調試時數