ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標準

GB/T32218—2015

真空技術真空系統漏率測試方法

Vacuumtechnology—Testmethodsforleakratesofvacuumsystem

2015-12-10發布2017-01-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T32218—2015

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

測試原理

4…………………1

氦質譜法真空系統漏率測試原理

4.1…………………1

靜態升壓法真空系統漏率測試原理

4.2………………2

儀器與設備

5………………2

檢漏儀和檢漏系統

5.1…………………2

標準漏孔

5.2……………2

真空計

5.3………………2

氦罩

5.4…………………2

累積閥

5.5………………2

測試閥

5.6………………2

測試條件

6…………………2

測試場地的環境要求

6.1………………2

氦氣

6.2…………………3

氮氣

6.3…………………3

測試程序

7…………………3

測試前準備

7.1…………………………3

氦質譜法真空系統漏率測試

7.2………………………3

靜態升壓法真空系統漏率測試

7.3……………………10

漏率測試中斷處理

8………………………11

氦質譜漏率測試的中斷處理

8.1………………………11

靜態升壓法漏率測試的中斷處理

8.2…………………11

測試記錄與報告

9…………………………11

測試記錄

9.1……………11

測試報告

9.2……………12

參考文獻

……………………13

Ⅰ

GB/T32218—2015

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國機械工業聯合會提出

。

本標準由全國真空技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC18)。

本標準負責起草單位中國空間技術研究院蘭州空間技術物理研究所

:。

本標準參加起草單位北京衛星環境工程研究所湖南維格磁流體股份有限公司安徽皖儀科技股

:、、

份有限公司寧波愛發科真空技術有限公司成都南光機器有限公司臺州環球真空設備制造有限公司

、、、、

上海惠豐石油化工有限公司沈陽真空技術研究所

、。

本標準主要起草人李得天肖祥正陳光奇王榮宗陳聯孫立臣閆榮鑫言繼春黃文平劉磊

:、、、、、、、、、、

王國東何小波范林東趙計春趙偉勝惠澤民王玲玲

、、、、、、。

Ⅲ

GB/T32218—2015

真空技術真空系統漏率測試方法

1范圍

本標準規定了利用氦質譜法和升壓法對真空系統的漏率進行測試的測試原理儀器與設備測試條

、、

件測試程序漏率測試中斷處理測試記錄與測試報告

、、、。

本標準適用于真空系統以下簡稱被檢件的漏率測試

()。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

真空技術術語

GB/T3163

工業氮

GB/T3864—2008

純氦高純氦和超純氦

GB/T4844—2011、

真空技術質譜檢漏儀校準

GB/T18193

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T3163。

31

.

有效最小可檢漏率effectiveminimumdetectableleakrate

被檢件與檢漏系統連接后檢漏儀和檢漏系統在具體的工作條件下檢漏儀所能檢出的最小漏孔

,,

漏率

。

注單位為帕立方米每秒3

:(Pa·m/s)。

32

.

累積檢漏accumulationleaktest

將被檢件抽空后關閉累積閥與抽氣系統隔離當被檢件外部施加一定濃度的氦氣后如果被檢件

,。,

上有漏孔在規定的累積時間內由被檢件上的漏孔漏出的氦氣就會累積在被檢件內使被檢件內的氦分

,