1、半導體工廠排氣系統簡介一、Exhaust功能：由于半導體廠生產流程中會用到各種各樣的化學品（液態、氣態），所以從機臺排氣端把有異味的酸、堿、有機物等有害的氣（或水氣混合物）通過負壓抽至主系統中，然后處理至達標是exhaust系統的主要功能，同時也需要把配合真空系統將chamber/gasbox中可能泄露的有毒有害特氣抽至主系統中，再經過凈化或回收處理達到排放標準后排至大氣。當涉及exhausthookup安裝施工部分時，一般指從POU至1Jtake-offpoint部分，因工藝設備movein時間與主系統施工并非同時進行，故一般不涉及主系統的排氣系統，設備定位后，開始hookup部分施工。按排

2、氣性質差別，一般分為如下幾類：GEX:generalexhaust（主要是機臺的發熱等產生的一般的空氣，也包含bulkgas的gas-box的排氣）SCX:scrubberexhaust（主要指酸氣及其水氣混合氣，也包含大多數的特氣的gas-box的排氣以及備品柜的排氣）AEX:ammoniaexhaust（主要指氨水的排氣，也包含DEV的排氣）VEX:volatileorganiccompoundexhaust（主要指有機物異味排氣）二、Exhaustsystem參數：真空度：10700Pa(150-200pa)使用值/流量：200-500Pa/10100,000LPM;尺寸：1/4:3/8

3、:1/2“，2”12”；材質：PFA,PVDF,SUS304,SUS304+coating,Galvanized:帆布軟管，鋁薄軟管，PVC。控制部件：damper風壓表；風速測量口；主要的連接形式：法蘭式，絲接式(union,flare,NPT)Clamp,喉箍式(推拔)，承插式三、風管安裝前注意事項：1 .風管安裝的空間管理。2 .測試口的位置。3 .風壓計的位置。4 .風速測試記錄，計算風量。5 .調節風量平衡。6 .因為暫時無法進行現場的測試，所以必須特別注意管子連接時的密封材料的情況，以及實際密封的現狀。四、Exhaustsystem部分使用材料：EPDM:全稱乙烯丙烯橡膠特點：具有

4、良好的耐氧化性，耐臭氧性。不適合油和脂，有機酸。最高允許溫度：恒溫-90C150C。允許壓力：3090KG/CM2PE:全稱聚乙烯，英文名為Polyethylene,密度為0.95g/cm3。特點：質地軟，耐腐蝕，無毒可用于飲用水輸送，最高工作溫度為60C,材料拉伸彈性較好，但受熱變形較大。應用領域：地板采暖、壓縮空氣、二次污染物、牛奶、食品、器具制作、氣體和水分配系統不推薦用于：氧化性酸類和鹵素高溫應用(>60C)VITON氟橡膠(viton)FX系列低壓縮永久變形氟橡膠可滿足長期在-40-250C,短期300C空氣或-40-180C石油基燃油、潤滑油、雙酯類合成滑油和硅酸酯類合成潤滑

5、油系統中長期使用。FX-16氟橡膠膠料，-20-200C下長期使用，250-300C短期。是集低摩擦系數(<0.2)、高導熱、自潤滑性和對金屬材料高的粘接性能于一身的高品級的氟橡膠材料。它是作為高性能動密封和油封橡膠件的理想材料。五、Exhaustsystem管件要求：5.1 彎頭：布置管道時，應盡量取直線，減少彎頭。圓形風管彎頭的曲率半徑一般應大于(12)倍管徑應盡量避免彎頭與彎頭直接（流向相反的）連接，其中間要有定長度的直管。馬蹄口的使用一般為GEX系統，僅為散熱之用。其他系統特別是SCX系統使用馬蹄的情況要謹慎使用。5.2 三通三通內流速不同的兩股氣流匯合時的碰撞，以及流速改變時形

6、成的渦流都可能造成局部阻力，而兩股氣流在匯合中的能量損失各不相同。為減少三通的局部阻力，其支管和干管的連接，應減小其夾角，所有支管應于變徑接頭大端處以不超過45o角接入主風管（30o為最佳），但是實際工程中多使用的為90o的正三通。支風管只能從主風管的上方或側方引入，且兩風管不可在同一斷面的相對方向接入主風管，兩接入點必須錯開一定的距離。在空間比較有限的情況下，可以用正三同代替90o彎頭。除一般排氣外，Exhaustsystem系統嚴禁現場做挖眼三通，需采用成品三通，此外，Exhaustsystem安裝過程需配合氣體GDS施工。六、部分工藝設備排氣特性6.1 含酸類清洗機：使用溫度比較高（80

7、C）的酸的水溶液，極易形成酸霧被吸入SCX風管，遇冷（22.5C）的風管就會形成酸液在低位積聚。而當此風管密封比較差時，漏酸的概率將非常高，處理措施：使用全片式的風管法蘭密封墊（viton牌）。（2）在風管的最低點設置排酸的IWWdrain管路，讓酸液以重力流的形式排放到IWW管路中。6.2 排氣含反應結晶物機臺：此類機臺由于結構的原因，其風管在排風時公用，有酸氣（主要是H2SO4水汽）排出，同時也有堿氣（主要是NH3-H2O水汽）排出。所以很容易形成結晶而堵塞管路。處理措施：定期觀察風壓的變化，建議清洗頻率：1次/2年；對于可能由于機臺的原因而引起的排氣管路出現結晶而導致排氣不暢的情況，機臺

8、可能出現alarm,甚至宕機。強烈建議應在機臺投入使用后2年內進行停機檢查，清除管路中的結晶物。6.3 高溫有機廢氣機臺對于有機排氣而言，由于有些機臺在制程中會產生大量的熱量以至最后的排氣溫度較高，所以這類排氣還得經過冷凝器（Condenser）降溫后，冷凝出有機廢液后才能排出，以達到環保的要求。此類機臺使用有機物如NMP/EKC270T等物質，VOC濃度高，而且其排氣溫度比較高，需接入冷凍水，設置VOC冷凝器。對因抽熱的水氣而容易引起遇溫度底而出現冷凝的SCX氣體管路，要及時和設備工程師溝通，在此類管路上的低標高位置設置排液口（一般為1"），連接至IWW管路中。同時此類管路必須使用

9、全片式EPDM/VITON墊片。對于車間POU點，要優先考慮排氣管路的空間管理，盡可能考慮到后續機臺是安裝需要，必要時要完成后續機臺是使用點和空間位置的預留，以防其他管路占居其空間位置。所有的damper/blindflange的開啟必須緩慢，特別是10“以上的開啟嚴禁無經驗的人員進行操作，完成后需要進行風量平衡調節。七、Exhaustsystem常見問題：SCX/VEX系統管路的法蘭處出現漏液；PH機臺GEX風量較大波動，機臺報警；Damper出現限位螺絲失靈，自動關閉；SCX風管內結晶，風量嚴重不足，無法生產；風速/風量測試口的位置、施工有誤；空間管理混亂，后續機臺的空間施工難以進行；SC

10、X出現漏風，風管外的法蘭出現腐蝕變黑、長毛的現象；挖眼三通的眼的尺寸比實際需要小許多，導致挖眼三通與主管之間的連接有縫隙，漏風，因其拉鐘釘/自攻螺絲施工往往會有問題。風管拆除法蘭時，其螺絲銹死/短絲，無法拆除等等；八、Pumping-Exhaust系統Pumping-exhaust:frompumptoscrubber。作用：從pump到scrubber的一個通道，一般使用2“的AP無縫管或有縫管（亮面/非亮面）。由于可能有臟物附著在內管壁，所以必要時要清洗或加熱保溫，故其管段長度不能太長，以方便拆卸。也因此，一般有backup管路。一般管路以不超過2米為宜。連接pump的一端有測試口、吹掃口。要和vendor聯系，保證其附屬的氣動閥（含法蘭）/電動閥的位置安裝正確。保證一次完成P-E管上的scrubber的反饋氣管的開孔一次完成，有時P-E管也包