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文檔簡介

1、透射電鏡成像原理及透射電鏡成像原理及H-800H-800操作操作透射電鏡的構造1.電子光學系統電子光學系統w照明系統照明系統電子槍電子槍 雙聚光鏡雙聚光鏡: 第一級聚光鏡是短焦距強磁透鏡,以縮小后焦面上的光斑;第二級聚光鏡減少照明孔徑角,以得到接近平行光軸的電子束,提高分辨率w成像系統成像系統物鏡物鏡: 電鏡的”心臟”中間鏡中間鏡: 改變放大倍數;選擇成像或衍射模式投影鏡投影鏡: 接力放大圖像;因孔徑角小使景深大 , 焦深長w觀察和照相系統觀察和照相系統2真空和供電系統真空和供電系統燈絲 柵極 陽級 槍傾斜 槍平移 一級聚光鏡 二級聚光鏡 聚光鏡光欄 光傾斜 光平移 試樣架 物鏡 物鏡光欄 選

2、區光欄 中間鏡 投影鏡 熒光屏透射電鏡的合軸與工作方式透射電鏡的合軸與工作方式w操作之一(合軸)合軸的目的 合軸是一種操作,即通過機械和電參數的調整,使電子光學系統中的電子槍,各組透鏡,熒光屏的中心在同一軸線上.合軸的操作要領查明各類不合軸現象采取針對性的合軸操作序號不合軸的類型合軸操作1電子槍傾斜未合軸集中光斑，燈絲欠飽和，顯示燈絲像；調槍傾斜鈕，使燈絲像對稱；恢復燈絲電流的飽和狀態 2聚光鏡光欄不對中用聚光鏡鈕收縮光斑，用光平移將光斑移到熒光屏中心；用聚光鏡鈕放大光斑，調光欄位置，使光斑對中；反復上述操作，使兩者同心變化為止。 3電子槍平移未合軸現象選用小尺寸光斑，用聚光鏡鈕收縮光斑，用光

3、平移將光斑移到熒光屏中心；選用大尺寸光斑，用聚光鏡鈕收縮光斑，調槍平移鈕，使光斑再對中；反復上述操作，使兩者同心變化為止。4光平移不對中現象用光平移將光斑移到熒光屏中心5電壓中心不對中現象開啟電壓中心調節鈕，像開始抖動；調正光傾斜鈕，使抖動中心移向熒光屏中心；關閉電壓中心調節鈕操作之二(明場像BF)w操作之二(明場像BF)電子束平行于電鏡中軸,垂直射入試樣電子束在物鏡后焦面上w操作之三(暗場像DF)移動光欄暗場像中心暗場像(CDF)弱束暗場像(WBDF)移動光欄暗場像移動光欄暗場像移動光欄暗場像像的特征像的特征:光不在軸中心光不在軸中心, 成像質量差成像質量差應用應用: 識別復合衍射譜識別復合衍射譜實例3 (孿晶)可確認為:BCC結構112孿晶中心暗場像中心暗場像(CDF)CDF像的特征: 光在軸中心,成像質量好CDF 操作: 產生選區衍射傾轉試樣使有興趣的斑點變亮使束進行傾斜,使有興趣的衍射在熒光屏中心套住中心衍射斑成像弱束暗場像(WBDF)wWB

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