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文檔簡介
1、TFC膜系設計實例教程TFC膜系實例設計步驟（首先以AR膜三層為例介紹）1 首選鍍膜材料：AL2O3 ZRO2 MGF2 2 AR膜技術要求：400-700 R13 運行TFC軟件(如圖1)，選擇“取消”按鈕，如要打開已設計好的膜系文件，可按“打開”來調用文件。圖14 在File菜單中選擇New Coating選項（如圖2）。圖25 進入環境編輯界面（Edit Environment）如圖3圖36.在環境編輯界面中，第一項為監控波長（Reference wavelength）,默認設制為550（圖3）。如果設計400-700波段的AR的話，就可以用這個設制。如要設計紅外波段的話，那就要改大點。
2、設好后，點擊Analysis Parameters.項，進入下一個波段的設制界面（Set Analysis Parameters）。（如圖4）圖46 在Set Analysis Parameters界面中選Wavelengths and Angles設計波段范圍，在第一個輸入框里輸入起始波段400，第二輸入框里輸入結束波段700，第三個輸入框里的為步長，可以不改，其它的不動（如圖4）。輸入完成后，按“OK”鍵確認，返回到如圖3的界面，再按“OK”鍵，進入設計界面（如圖5）圖57.在Modify菜單中選LayersFront(如圖6)，然后進入添加膜層。（如圖7）圖6圖77 選擇Options
3、Front Layers.,添加層數，如圖7，在彈出的輸入框的第一個中輸入3代表3層，如圖8圖88 然后點“OK”，進入，出現如圖9的畫面。圖99 現在把Material(材料)項中的，改成你所要的材料AL2O3 ZRO2 MGF2，把Optimize?(優化否)項中的NO，全部改為YES（如圖10）圖1010.選擇Modify菜單中的Targetscontinuous項來設定優化目標（如圖11）圖1111 選擇Options中的Add Continuous targets.(如圖12)，點擊進入，如果是創建一個優化目標的話就不用改，如果要創建幾個優化目標的話，就在第一個輸入框中輸入幾。如圖13圖12圖1312 如圖14，在Wavelength(begin)(起始波長)處輸入400，在Wavelength(end)（結束波長）處輸入700其它不要動。圖1413完成后，選Run菜單的Optimize Design選項進行優化，如圖15圖1514優化界面如圖16圖1615優化完成后，點擊Analyze查看優化后的曲線，如圖17圖1716好了，這個AR的膜系已設計完成了，要查看每層的物理厚度，可以打開菜單Modify中選Layers
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