1、C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved. 質質量流量控制器量流量控制器簡簡介介上海堀上海堀場貿場貿易有限公司易有限公司C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.質量流量控制器主要是由傳感器、電路板和驅動閥三大部分組成。是能夠對氣體流量做精密測量和控制的一種儀器。主要使用在半導體工業和平面顯示器制造和太陽能電子方面。質量流量：質量流量控制器感測的是通過的氣體的分子量，工作時不受外界的溫度和壓力的影響。CONTROLELECTRONICS(P-I-D)SIGNALPROCESSING電

2、電源源: :+/- +/- 15VDC15VDC設設定信號定信號: 05V: 05V輸輸出信號出信號: 05V: 05V進進氣端氣端出氣端出氣端 什么是什么是質質量流量控制器量流量控制器C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.閥驅動傳感器控制閥側流管 MFC MFC 的內部的內部結結構構圖圖C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved. 傳傳感器的感器的結結構構熱傳感器TuTuTdTdT.根據傳感器的結構，當沒有氣體流入時，傳感器兩邊的溫度呈拋物線狀均勻分布。 當有氣體流過時，上流端的

3、自加熱電阻產生的熱量被帶走，從而兩端形成一定的溫度差，使傳感器兩邊的溫度曲線分布不再平衡。C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.傳傳感器感器側側流管流管傳傳感器在不同感器在不同壓壓力下的特征力下的特征必必須須使使側側流管流管設計為層設計為層流流結結構，構，這樣這樣才能流才能流出相出相對穩對穩定和精準的流量定和精準的流量 。 。（実用新案第號）（実用新案第號）側側流管在不同流管在不同壓壓力下的特征力下的特征C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.壓電壓電陶瓷陶瓷驅動驅動器器陶瓷的

4、堆棧結構外殼構造干燥的氮氣連接端口陶瓷陶瓷驅動驅動器的內部器的內部結結構構MFC MFC 的的閥結閥結構構C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.陶瓷陶瓷閥閥的工作效果的工作效果圖圖_+_+提供高的直流提供高的直流電壓電壓壓電元件移動方向壓電壓電元件的伸元件的伸長長MFC MFC 的的閥結閥結構構C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.5V0F l o w R a t e (sccm/slm)100 96 104 零點零點對實際對實際流量的影響流量的影響+200mv -200mv

5、200mV200mV 5000mV(5V) 5000mV(5V) 0.04(40.04(4）100SCCM100SCCM4 44SCCM4SCCM5V0F l o w R a t e (sccm/slm)100 4V3V2V1V80 60 40 20 C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.SCCM 標準立方厘米每分鐘SLM 標準立方升每分鐘1000sccm = 1slmSCCM和SLM是指在標準條件下的體積單位。標準條件指溫度為零攝氏度，一個標準大氣壓的條件。 在美國，標準條件被廣泛接受和認同。 .然而，在其它不同的國家通常使用的流量

6、單位除了SCCM和SLM外還有CCM/ LM (日本) 溫度為 25C, 一個標準大氣壓NCCM/ NLM (日本) 溫度為20C, 一個標準大氣壓 CCM作流量單位和SCCM作流量單位的MFC之間的流量相差大約為9.1%。什么是什么是SCCM /SLM SCCM /SLM 及區別及區別C 2005 HORIBASTEC, Co., Ltd. All rights reserved.氣體 AN2真實流量需要流量QA = C.F.A * QN2QA : 氣體 A的流量C.F.A: 氣體A 到N2的轉換因數QN2: N2的流量v轉換因數是一個平均值。但是實際的轉換因數可能會因為流量的范圍和外界的壓力和溫度的影響而稍有不同。 v轉換因數是使用氮氣進行轉換，如果是用其它氣體作為測量氣體，那么測出的氣體流量值則會偏差很大。 N2什么是什么是MFCMFC的的轉換轉換因數因數