(19)中華人民共和國國家知識產權局(12)發明專利說明書(10)申請公布號CN102809903A

(43)申請公布日2012.12.05(21)申請號CN201110145373.4(22)申請日2011.05.31(71)申請人上海微電子裝備有限公司地址201203上海市浦東新區張東路1525號(72)發明人鄭教增宋平徐偉(74)專利代理機構上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)代理人屈蘅(51)Int.CI 權利要求說明書說明書幅圖(54)發明名稱 二次預對準裝置及對準方法(57)摘要 一種二次預對準裝置，設于運動臺和主基板之間，用于對放置在運動臺上的晶圓進行二次預對準，包括三個面陣CCD、三組光路系統和一個圖像處理器，三組光路系統分別將晶圓的三處邊緣圖像投影到對應的面陣CCD，三組光路系統所需的光源設置在運動臺的外側，三個面陣CCD和圖像處理器連接，圖像處理器處理來自三個面陣CCD的晶圓邊緣圖像信息后計算晶圓殘余偏心偏向。采用直射式原理，將光源和面陣CCD分處于晶圓的兩側，不但精度更高，且不易受安裝角度的影響，而且設計光路簡單，光能量耗散小。另外，光源遠離投影物鏡設置、物鏡、主基板和運動臺等對熱源敏感的關鍵部件設置，提高本二次預對準裝置的性能穩定性，進一步提高對準精度。法律狀態法律狀態公告日法律狀態信息法律狀態

權利要求說明書1.一種二次預對準裝置，設于運動臺和主基板之間，用于對放置在所述運動 臺上的晶圓進行二次預對準，其特征在于，包括三個面陣CCD、三組光 路系統和一個圖像處理器，所述三組光路系統分別將晶圓的三處邊緣圖像 投影到對應的面陣CCD，所述三組光路系統所需的光源設置在所述運動 臺的外側，所述三個面陣CCD和所述圖像處理器連接，所述圖像處理器 處理來自所述三個面陣CCD的晶圓邊緣圖像信息后計算所述晶圓的殘余 偏心偏向。

2.根據權利要求1所述二次預對準裝置，其特征在于，每組光路系統包括接 收來自所述光源的光束的第一反射鏡，所述第一反射鏡和所述面陣CCD 對應設于所述晶圓一處邊緣的上下兩側，所述光束經第一反射鏡后將所述 晶圓的邊緣圖像投影到對應的面陣CCD。

3.根據權利要求2所述二次預對準裝置，其特征在于，所述第一反射鏡呈三 角形分布于所述運動臺的內部，所述面陣CCD對應各自的第一反射鏡設 于所述主基板的下方。

4.根據權利要求1所述二次預對準裝置，其特征在于，每組光路系統包括接 收來自所述光源的光束的第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡和第 二反射鏡對應設于所述晶圓一處邊緣的上下兩側，所述光束依次經過第一 反射鏡和第二反射鏡后將晶圓的邊緣圖像投影到對應的面陣CCD。

5.根據權利要求4所述二次預對準裝置，其特征在于，所述第一反射鏡呈三 角形分布于所述運動臺的內部，所述第二反射鏡對應各第一反射鏡設于所 述主基板的下方，所述面陣CCD分別設于所述第二反射鏡的側方。

6.根據權利要求5所述二次預對準裝置，其特征在于，所述面陣CCD分別 設于面陣安裝板上，所述面陣安裝板固設于所述主基板一端的下方使得所 述面陣CCD與所述第二反射鏡相對。

7.根據權利要求2或4所述的二次預對準裝置，其特征在于，每組光路系統 還分別包括所述光源及一光路準直機構，所述光束是由所述光源發出并經 所述光路準直機構處理后獲得。

8.根據權利要求2或4所述的二次預對準裝置，其特征在于，所述三組光路 系統共用所述光源及一光路對準機構。

9.根據權利要求8所述的二次預對準裝置，其特征在于，所述三組光路系統 是第一組光路系統、第二組光路系統和第三組光路系統，其中，第一組光 路系統還包括2/3透光率的反射鏡、第二組光路系統還包括1/2透光率的 反射鏡，第三組光路系統還包括第三反射鏡；所述光源發出的光束經所述 光路準直機構變成平行光束后射到2/3透光率的三角反射鏡，所述2/3透 光率的三角反射鏡將其中1/3光束進行發射作為所述第一組光路系統所需 的光束并將2/3光束透射到1/2透光率的反射鏡，所述1/2透光率的反射 鏡將收到的一半光束進行反射作為所述第二組光路系統所需的光束，并另 一半透射到所述第三反射鏡作為所述第三組光路系統所需的光束。

10.一種二次預對準方法，其特征在于，包括如下步驟：

第一步，晶圓在預對準后到達二次預對準位置；

第二步，采用如上1-9中任意一項所述的二次預對準裝置，使得面陣CCD 分別采集晶圓的三處邊緣圖像信息，并將邊緣圖像信息傳輸到所述圖像 處理器；

第三步，所述圖像處理器處理來自所述面陣CCD的所述邊緣圖像信息后 獲取晶圓的實際圓心位置，并將晶圓的實際圓心位置與預先設置在圖像 處理器中的晶圓的標準圓心位置進行對比，獲得晶圓的殘余偏心偏向；

第四步，微動臺根據殘余偏心偏向進行微動補償；

第五步，將晶圓傳輸到微動臺上，準備曝光。

11.根據權利要求10所述的二次預對準方法，其特征在于，第三步中，所述 獲取晶圓的實際圓心位置通過如下步驟實現：所述圖像處理器通過如下的 方程分別計算得到每個面陣CCD采集的實際邊緣圖像信息，然后通過處 理三個面陣CCD采集的三處實際邊緣圖像信息獲得晶圓的實際圓心位 置，所述方程如下：

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其中，offsetx0、offsety0是指CCD坐標系的原點在SPCS坐標系中 的投影的位置，其中，Rx0、Ry0、Rz0分別代表CCD坐標系在SPCS坐 標系中分別關于X、Y、Z的旋轉角度；CCD視場內的晶圓上一處邊緣在 CCD坐標系的投影坐標為(x₀，y₀)，所述SPCS坐標系是晶圓的偏心偏向為 0的位置的基準坐標系。

12.根據權利要求10所述的二次預對準方法，其特征在于，第二步中，二次 預對準裝置通過三個面陣CCD采集晶圓的三處邊緣圖像信息，其中一個 面陣CCD同時采集晶圓的缺口信息。

說明書<p>技術領域

本發明涉及半導體光刻領域，尤其涉及一種晶圓二次對準裝置及其對 準方法。

背景技術

目前，隨著光刻機關鍵尺寸的不斷縮小，對光刻機內部世界的要 求也不斷提高，將晶圓預對準裝置放置在外部世界，通過傳輸機械手 將晶圓放入內部世界，通過二次預對準測量裝置測量晶圓到達內部世 界的殘余偏心偏向，讓運動臺進行補償的方式成為了一種發展趨勢。 晶圓從片盒傳輸到運動臺過程中，經過預對準之后偏心大約在10μm、 偏向大約在150μrad，晶圓的邊緣由絕大部分的圓弧和起定向作用的 缺口或者平邊組成，完成定心定向后，再傳輸至運動臺上方的交接位， 與運動臺上的交接片機械手的交接會損失一部分定位精度，而且，預 對準處于外部世界，運動臺處于內部世界，引入了內外部世界偏移， 導致偏心偏向變大，為彌補這些損失并進一步提高定位精度，晶圓在 交接位還要進行二次預對準。通過二次預對準，獲取晶圓的殘余偏心 和偏向，再由運動臺對殘余偏心和偏向進行補償。

隨著光刻機精度的提高，光刻機各部件對環境的要求也越來越 高，典型的，投影物鏡對周圍的溫度場就很靈敏，運動臺上的方鏡， 干涉儀的光路，運動臺上的晶圓變形都受周圍溫度場的影響。因此， 如果將熱源布置在主基板上，靠近投影物鏡和其他分系統的傳感器， 會對周圍溫度場造成很大的影響。同樣如果將熱源布置在運動臺上， 會對運動臺的溫度場造成很大的影響。

因此，如何提供一種可以降低熱源對光刻機內部世界的影響的二 次預對準裝置及對準方法是本領域技術人員亟待解決的一個技術問 題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種二次預對準裝置及其對準方法，通過 將熱源遠離熱源敏感的關鍵部件來降低熱源對光刻機內部世界的影 響。

為了達到上述的目的，本發明采用如下技術方案：

一種二次預對準裝置，設于運動臺和主基板之間，用于對放置在 運動臺上的晶圓進行二次預對準，包括三個面陣CCD、三組光路系 統和一個圖像處理器，所述三組光路系統分別將晶圓的三處邊緣圖像 投影到對應的面陣CCD，三組光路系統所需的光源設置在運動臺的 外側，所述三個面陣CCD和所述圖像處理器連接，所述圖像處理器 處理來自所述三個面陣CCD的晶圓邊緣圖像信息后獲取晶圓的殘余 偏心偏向。

優選，每組光路系統包括接收來自光源的光束的第一反射鏡，所 述第一反射鏡和所述面陣CCD對應設于所述晶圓一處邊緣的上下兩 側，所述光束經第一反射鏡后將晶圓的邊緣圖像投影到對應的面陣 CCD。所述第一反射鏡呈三角形分布于所述運動臺的內部，所述面陣 CCD對應各自的第一反射鏡設于所述主基板的下方。

優選，每組光路系統包括接收來自光源的光束的第一反射鏡和第 二反射鏡，所述第一反射鏡和第二反射鏡對應設于所述晶圓一處邊緣 的上下兩側，所述光束依次經過第一反射鏡和第二反射鏡后將晶圓的 邊緣圖像投影到對應的面陣CCD。所述第一反射鏡呈三角形分布于 所述運動臺的內部，所述第二反射鏡對應各第一反射鏡設于所述主基 板的下方，所述面陣CCD分別設于所述第二反射鏡的側方。所述面 陣CCD分別設于面陣安裝板上，所述面陣安裝板固設于所述主基板 一端的下方使得所述面陣CCD與所述第二反射鏡相對。

優選，每組光路系統還分別包括所述光源和光路準直機構，所述 光束是由光源發出并經光路準直機構處理后獲得。

優選，三組光路系統共用一個光源和一個光路準直機構，所述三 組光路系統是第一組光路系統、第二組光路系統和第三組光路系統， 且第一組光路系統還包括2/3透光率的三角反射鏡、第二組光路系統 還包括1/2透光率的三角反射鏡，第三組光路系統還包括第三反射鏡； 所述光源發出的光束經光路準直機構變成平行光束后射到2/3透光率 的三角反射鏡，所述2/3透光率的三角反射鏡將其中1/3光束進行發 射作為第一組光路系統所需的光束并將2/3光束透射到1/2透光率的 三角反射鏡，所述1/2透光率的三角反射鏡將收到的一半光束進行反 射作為第二組光路系統所需的光束，并另一半透射到第三反射鏡作為 第三組光路系統所需的光束。

本發明還公開了一種二次預對準方法，包括如下步驟：

第一步，晶圓在預對準后到達二次預對準位置；

第二步，采用如上所述的二次預對準裝置，使得面陣CCD分別 采集晶圓的三處邊緣圖像信息，并將邊緣圖像信息傳輸到所述圖像處 理器；

第三步，所述圖像處理器處理來自所述面陣CCD的所述邊緣圖 像信息后獲取晶圓的實際圓心位置，并將晶圓的實際圓心位置與預先 設置在圖像處理器中的晶圓的標準圓心位置進行對比，獲得晶圓的殘 余偏心偏向；

第四步，微動臺根據殘余偏心偏向進行微動補償；

第五步，將晶圓傳輸到微動臺上，準備曝光。

優選，第三步中，所述獲取晶圓的實際圓心位置通過如下步驟實 現：所述圖像處理器通過如下的方程分別計算得到每個面陣CCD采 集的實際邊緣圖像信息，然后通過處理三個面陣CCD采集的三處實 際邊緣圖像信息獲得晶圓的實際圓心位置，所述方程如下：

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其中，offsetx0、offsety0是指CCD坐標系的原點在SPCS坐標 系中的投影的位置，其中，Rx0、Ry0、Rz0分別代表CCD坐標系在 SPCS坐標系中分別關于X、Y、Z的旋轉角度；CCD視場內的晶圓 上一處邊緣在CCD坐標系的投影坐標為(x′₀，y′₀)，所述SPCS坐標系是 晶圓的偏心偏向為0的位置的基準坐標系。

優選，第二步中，二次預對準裝置通過三個面陣CCD采集晶圓 的三處邊緣圖像信息，其中一個面陣CCD同時采集晶圓的缺口信息。

本發明的有益效果如下：

本發明的二次預對準裝置及其對準方法，通過將三組光路系統所 需的光源設置在運動臺的外側，使得作為熱源的光源遠離投影物鏡設 置、物鏡、主基板和運動臺等對熱源敏感的關鍵部件，避免光源對投 影物鏡和其他分系統的傳感器的周圍溫度場造成很大的影響，提高本 二次預對準裝置的性能穩定性，進一步提高對準精度。另外，通過三 組光路系統分別將晶圓的三處邊緣圖像投影到對應的面陣CCD，采 用了直射式原理，將光源和CCD分處于晶圓的兩側，不但精度更高， 且不易受安裝角度的影響，而且設計光路簡單，光能量耗散小。

附圖說明

本發明的二次預對準裝置由以下的實施例及附圖給出。

圖1是實施例1的結構示意圖；

圖2實施例1的其中一路光路系統路徑示意圖；

圖3是實施例1的運動臺的剖視示意圖；

圖4是實施例1的運動平臺的一個直角圓孔的結構示意圖；

圖5是實施例1的運動臺和光源支撐架的俯視示意圖；

圖6是實施例1的三個面陣CCD和圖像處理器的原理圖；

圖7二次預對準坐標系和三個面陣CCD的坐標系的位置關系；

圖8是實施例2的結構示意圖；

圖9是實施例2的其中一組光路系統路徑示意圖；

圖10是實施例3中運動臺和光源支撐架的俯視示意圖；

圖11是實施例4的結構示意圖；

圖12是實施例4中運動臺和光源支撐架的俯視示意圖；

圖13是實施例4的其中一組光路系統路徑示意圖；

具體實施方式

以下將對本發明的二次預對準裝置作進一步的詳細描述。

下面將參照附圖對本發明進行更詳細的描述，其中表示了本發明 的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本發明 而仍然實現本發明的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本 領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本發明的限制。

為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳 細描述公知的功能和結構，因為它們會使本發明由于不必要的細節而 混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須作出大量實施細節 以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由 一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能 是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工 作。

另外，本發明的下述實施例中涉及的第一、第二、第三反射鏡是 以45度三角反射鏡為例進行圖示說明，但并非以此限制本發明，但 凡具有于45度三角反射鏡具有相同反射功能且可將入射光束反射之 對應CCD面陣上的反射鏡均屬于本發明所涵蓋的范圍。

為使本發明的目的、特征更明顯易懂，下面結合附圖對本發明的 具體實施方式作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的 形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實 施例的目的。

實施例1

請參閱圖1-圖7，這種二次預對準裝置，設于運動臺101和主基 板102之間，用于對放置在運動臺101上的晶圓103進行二次預對準， 所述晶圓103放置在運動臺101上。主基板102上設有投影物鏡117， 且投影物鏡117的上方設有掩模臺118。所述運動臺101設置在大理 石板119上。

該二次預對準裝置包括三個面陣CCD104(包括CCD1、CCD2 和CCD3)、三組光路系統(包括第一組光路系統、第二組光路系統 和第三組光路系統)和一個圖像處理器105。所述面陣CCD104全稱 是指Charge-coupled

device，指電荷耦合器件。所述三組光路系統分 別將晶圓的三處不同的邊緣圖像投影到對應的面陣CCD104。也就是 說，將光源和面陣CCD分處于晶圓的兩側的對應的光路系統中，采 用了直射式原理，不但精度更高，而且不易受安裝角度的影響，而且 設計光路簡單，光能量耗散小。

所述三個面陣CCD104分別和所述圖像處理器105連接，所述圖 像處理器105處理來自所述三個面陣CCD104的三處晶圓邊緣圖像信 息后獲取晶圓103的實際位置及晶圓的殘余偏心偏向。

優選，每組光路系統包括接收來自光源的光束的第一45度三角 反射鏡106，所述第一45度三角反射鏡106和所述面陣CCD104對 應設于所述晶圓103一處邊緣的上下兩側，所述光束經第一45度三 角反射鏡106后將晶圓103的邊緣圖像信息投影到對應的面陣 CCD104。所述第一45度三角反射鏡106呈三角形分布于所述運動臺 的內部，所述面陣CCD對應各自的第一45度三角反射鏡106設于所 述主基板102的下方。

所述三組光路系統所需的光源間隔設置在運動臺的外側。通過將 三組光路系統所需的光源設置在運動臺的外側，使得作為熱源的光源 遠離投影物鏡設置、物鏡、主基板和運動臺等對熱源敏感的關鍵部件， 避免光源對投影物鏡和其他分系統的傳感器的圍溫度場造成很大的 影響，提高本二次預對準裝置的性能穩定性，進一步提高對準精度。

本實施例中，每組光路系統還分別包括光源107和光路準直機構 108，所述光束是由光源107發出并經光路準直機構108處理后獲得。 所述光源107設置通過光源安裝支架109安裝在運動臺101的外側。

也就是說，每組光路系統分別包括光源107、光路準直機構108、 第一45度三角反射鏡106，由光源107發出并經光路準直機構108 處理后，經過所述第一45度三角反射鏡反射后將晶圓103的邊緣圖 像信息投射到對應的面陣CCD104。

所述光源107分別安裝在光源安裝支撐架109上。光源107的光 束的波長要求為光刻膠非敏感光，不影響曝光，比如610nm～650nm 的LED光源，光源強度可調。所述光源107和光源安裝支架109的 安裝接口分別一致，可以實現Rz、Rx方向的調整，以保證三個光源 107的光束在一個水平面上射出。光源安裝支撐架109安裝在外部框 架上。三個光源的功率總和應小于10W。

所述光路準直機構108實現從光源107射出的光經過準直機構處 理后，射出平行光。所述光路準直機構108射出的平行光的均勻性小 于＜5％，光斑直徑大于5mm，保證內外部世界漂移時，光斑的移動 不會影響測量。

所述運動臺101能夠承載著晶圓103在交接位和曝光位之間運 動。運動臺101由實現運動臺大行程運動的粗動臺111、實現小行程 高精密微動的微動臺112以及裝載在粗動臺111上的交接片機械手 113組成。晶圓103在預對準裝置預對準完成后，運動臺101運動到 交接位，由傳輸機械手114將晶圓103移動到運動臺101交接位上方， 運動臺101的交接片機械手113可以升起和傳輸機械手114交接晶圓 103，交接完成后，交接片機械手113升到最高位上，準備進行二次 預對準拍照。

本實施例中，所述第一45度三角反射鏡106呈三角形分布于所 述運動臺101的內部。具體結構如下：運動臺101上有至少三個直角 圓孔，每個直角圓孔由粗動臺111的水平圓孔115和微動臺112的垂 直圓孔116組成，直角處安裝有第一45度三角反射鏡106。光束從 粗動臺111的水平圓孔115進入，經第一45度三角反射鏡106反射， 從微動臺112的垂直圓孔116射出；所述直角圓孔的直徑不小于5mm， 第一45度三角反射鏡106固定安裝在粗動臺111上，要求安裝水平 度要保證高于晶圓103在裝載到粗動臺111上的交接片機械手113上 由于自重所引起的下垂度。當運動臺101運動到交接位時，光從光源 107射出，通過光路準直機構108，射出平行光束，進入粗動臺111 的水平圓孔115的光束，射入到安裝在運動臺101的第一45度三角 反射鏡106，經過反射后，光束經過微動臺112的垂直圓孔16，部分 光束被運動臺101上的交接片機械手113交吸附的晶圓3遮擋住，另 一部分光束射到對應的一個面陣CCD104上，在面陣CCD104上形成 了明暗分明的晶圓邊緣圖案。機械傳輸手114將晶圓3從外部世界交 接到運動臺101的交接片機械手113上，晶圓103的方向標志至少要 放置到其中一個面陣CCD104的視場內。

而所述面陣CCD104對應各自的第一45度三角反射鏡106設于 所述主基板102的下方。所述面陣CCD104的視場為4mm*4mm，像 素分辨率為4um，數據輸出為8/10/12bit的輸出格式。三個面陣 CCD104呈三角分布安裝在主基板3下部，三個面陣CCD104安裝的 傾斜要保證晶圓邊緣的信息能正確成像在面陣CCD104的視場內，光 束從運動臺101的直角圓孔射出后，部分被晶圓103的邊緣遮擋，分 別在三個面陣CCD上形成帶有對應的晶圓邊緣圖像信息的圖片，面 陣CCD將該晶圓邊緣圖像信息發送給圖像處理器105，圖像處理器 105收到來自三個面陣CCD104的邊緣圖像信息，其中一個圖片帶有 晶圓缺口信息和一晶圓邊緣圖像信息，第二個圖片帶有另一晶圓邊緣 圖像信息，第三個圖片帶有另一晶圓邊緣圖像信息。如圖6所示，三 個面陣CCD104采集晶圓邊緣圖像信息，識別出三處晶圓邊緣圖像信 息并就將該晶圓邊緣圖像信息傳輸到該圖像處理器105，所述圖像處 理器105根據三個晶圓邊緣圖像信息，計算出晶圓的圓心的實際位置 及晶圓103的殘余偏心偏向。

采用上述二次預對準裝置的二次預對準方法，包括如下步驟：

第一步，晶圓103在預對準后到達二次預對準位置。具體過程如 下：晶圓103在預對準裝置上完成預對準后，經過傳輸機械手114將 晶圓103移動到運動臺101上方，同時運動臺101運動到交接位，交 接片機械手113運動到準備交接的高度，交接片機械手113從傳輸機 械手114上進行晶圓103交接，交接片機械手113帶著晶圓103升到 最高位，傳輸機械手114從交接位退出。

第二步，采用如上所述的二次預對準裝置，使得面陣CCD104 分別采集晶圓的邊緣圖像信息(三處不同邊緣圓弧圖像)，并將邊緣 圖像信息傳輸到所述圖像處理器105。優選，在第二步中，二次預對 準裝置通過三個面陣CCD104采集晶圓的邊緣圖像信息，其中一個面 陣CCD104同時采集晶圓的缺口信息。

第三步，所述圖像處理器105處理來自所述面陣CCD104的所述邊緣 圖像信息后獲取晶圓103的實際圓心位置，并將晶圓103的實際圓心 位置與預先設置在圖像處理器105中的晶圓103的標準圓心位置進行 對比，獲得晶圓103的殘余偏心偏向。具體地，在第三步中，所述獲 取晶圓的實際圓心位置是通過如下方法實現：首先，所述圖像處理器 105通過如下的方程計算得到每個面陣CCD104采集的實際邊緣圖像 信息；然后，通過通過處理三個面陣CCD104采集的三處實際邊緣圖像 信息獲得晶圓103的實際圓心位置。因為圓周上的三點可以很方便地 確定其圓心，為常規技術手段，在此不再贅述。所述方程如下：

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其中，offsetx0、offsety0是指CCD坐標系的原點在SPCS坐標 系中的投影的位置，其中，Rx0、Ry0、Rz0分別代表CCD坐標系在 SPCS坐標系中分別關于X、Y、Z的旋轉角度；CCD視場內的晶圓 上一處邊緣在CCD坐標系的投影坐標為(x′₀，y′₀)，所述SPCS坐標系是 晶圓的偏心偏向為0的位置的基準坐標系。

上述方程式的推導過程如下：由于安裝時總是存在著各種各樣的 安裝誤差，比如光源安裝支撐架109存在一定傾斜和旋轉；運動臺1 的三個第一45度三角反射鏡106安裝不是完全水平的，主基板102 上的三個面陣CCD104的安裝位置不是完全和設計相重合，而且存在 著一定的傾斜，這些誤差會影響偏心偏向的值。每次機械硬件維護 時，需要保證這些安裝誤差的重復性，因此必須建立二次預對準模型 來校正測量得到的晶圓3邊緣圖像信息的數據。建立以交接片機械手 113頂著晶圓3處于最高位，且認為此時晶圓3偏心偏向為0的位置 為基準坐標系，即二次預對準坐標系(SPCS)。

CCD1視場內的晶圓3上的一處邊緣(是指一個點)在CCD1坐 標系的投影坐標為(x′₀，y′₀)，CCD2視場內的晶圓3上的另一處邊緣在 CCD2坐標系的投影坐標為(x′₁，y′₁)，CCD3視場內的晶圓3上的另一處 邊緣在CCD3坐標系的投影坐標為(x′₂，y′₂)。而這三點在SPCS坐標系 下對應得點為(x₀，y₀)，(x₁，y₁)，(x₂，y₂)。根據坐標系轉換模型：

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其中：為SPCS和CCD坐標系 的旋轉轉換矩陣，其中RX、Ry、Rz分別為CCD坐標系在SPCS坐 標系中分別關于X軸，Y軸，Z軸的旋轉角度；PSPCS為晶圓3上的邊 緣上的一個點在SPCS坐標系下的坐標，P_CCDCS為晶圓3上這一點在 CCD坐標系下投影的坐標值，為CCD坐標系的原點在SPCS坐 標系投影的位置。

因此，可建立從每個面陣CCD上的位置到實際晶圓3的邊緣圖 像信息(數據)的方程。

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第四步，